专利名称：制造铁电体电容器装置的方法
技术领域：
本发明涉及到制造具有至少两个不同矫顽磁力电压的铁电体电容器装置的方法。
半导体技术目前规定的目标是开发用铁电体物质作为电容器材料的非易失的存储器，所谓的FeRaM(铁电体的随机存取存储器)。铁电体物质有一个磁滞，有可能当没有加电压时对应于出现的两个极化状态连续地存储信息。
为了将极化和因此也将信息从一种状态转换为另一种状态，必须将某个最小电压，所谓的矫顽磁力电压Vc加在电容器上。
在后面的代表现有技术的德国专利申请DE19830569A1中已知一种FeRAM装置，在其中将多个具有不同矫顽磁力电压的电容器连接在选择晶体管上。这个FeRAM装置由于电容器的不同矫顽磁力电压有能力存储多个比特。为了实现对应于铁电体薄层的不同矫顽磁力电压建议改变材料厚度或者层厚度。
缺点是，必须将这样的具有不同矫顽磁力电压的铁电体薄层在不同工序中用各个不同的工作参数涂上。
本发明的任务是在于，给出用很少费用可实施的制造具有两个或多个不同矫顽磁力电压的铁电体电容器的方法。
此任务是通过按照权利要求1特征的方法解决的。
因此本发明的基本思路在于，安排了具有至少两个不同高度等级的第一个电极结构的拓扑，以便造成铁电体物质层的厚度变化。在其中利用了，为了使铁电体物质层沉积使用的离心式涂层方法显示了平整作用，也就是说在第一个电极结构的突起区域比第一个电极结构的凹下区域产生比较小的层厚。
通过按照本发明的方法将具有改变层厚的铁电体物质层便宜地在唯一的工序中沉积上。
可以用不同的方式和方法制造第一个电极结构的不同高度等级。
第一个有利的方法变型的特征是，用直接的途径通过在第一个电极结构上腐蚀出一个台阶产生两个高度等级。在这种处理方法中第一个电极结构必须有足够的层厚。
在第二个有利的方法变型中当产生第一个电极结构之前将一个台阶构成在阻挡层内。在沉积电极结构时将阻挡层台阶转移到电极结构上。
第三个有利的方法变型的特征是，在产生第一个电极结构之前在安排在基层上面的辅助层上或者在基层本身为了造成两个不同的高度等级形成一个台阶。
电容器装置可以由唯一的电容器具有不同矫顽磁力电压的铁电体物质层的一部分实现。于是这样的电容器有多个接通点(也就是说多于两个存储状态)。另外的可能性是在电容器装置中构成两个或者多个电容器。这是这样发生的，将第一个电极结构或者第二个电极结构或者也可以将两个电极结构在适当的处理时间点上进行分割。
下面借助于三个实施变型在附图基础上详细叙述本发明。在附图上表示了附
图1具有开关晶体管的FeRAM存储器单元的和由一个电容器构成的铁电体电容器装置的截面简图用于叙述按照本发明的第一个实施变型；附图2电容器装置的层系列截面简图用于叙述第二个实施变型；附图3电容器装置的层系列截面简图用于叙述第三个实施变型；在示范性的p掺杂的Si半导体基层(晶片)1上借助于普通的平面化技术(层沉积，使用平板印刷术和用腐蚀技术的层结构化，层掺杂)建立MOS晶体管的N通道。n+掺杂的排流区2是与n+掺杂的资源区3经过位于中间通道4的基层材料分开的。门电路氧化层5位于通道4的上面。在门电路氧化层5上安排了门电路电极6，将这个构成为存储器单元的字导线。
在MOS晶体管2、3、4、5、6上沉积了覆盖氧化层7。在覆盖氧化层7中引进一个接触孔8。接触孔8是由电的连接结构9(所谓的“插头”)构成的例如由掺杂的聚合硅或者由一种金属填充的。
代替这里表示的MOS晶体管2、3、4、5、6也可以配备另外的整体半导体功能元件。
在覆盖氧化层7的上边用按照本发明的方法构成一个铁电体的电容器装置10。
电容器装置10有一个下边的电极结构11(底部电极)，一个上边的电极结构12(顶部电极)和位于其间的铁电体电容器材料13。如果要求时，阻挡层是位于下边的电极结构11和连接结构9之间，其任务是避免使穿过电极结构11扩散的氧在连接结构9上建立高欧姆的阻挡层。
两个电极结构是由一种惰性材料例如Pt、Ir或者Ru构成的。在铁电物质13中例如可以涉及到SrBi2Ta2O9[SBT]、SrBi2Ta2-xNbxO9[SBTN]或者也可以涉及到其他的铁电物质如Pb(Zr,Ti)O[PZT]、BiTiO[BTO],PLZT、BZTO等。阻挡层14可以例如由IrO2构成。
铁电物质13有至少具有不同层厚的两部分13A、13B。不同层厚的作用是，电容器装置10有不同的矫顽磁力电压Vc1、Vc2。在具有比较小层厚的一部分13A上的矫顽磁力电压Vc1小于具有比较大层厚的一部分13B上的矫顽磁力电压Vc2，也就是说在一部分13A上比一部分13B上“比较早”地发生两个极性状态的转换。
在附图1上表示的电容器装置10可以理解为将具有不同矫顽磁力电压的两个电容器并联在一起。但是电容器装置也可以(没有表示)由具有不同矫顽磁力电压的两个单独可控制的电容器构成。在这种情况下下边的电极结构11和/或上边的电极结构12在比较小层厚的13A和比较大层厚的13B的过渡台阶11’上是电分开的。
制造铁电体电容器装置10可以按照以下步骤进行。
在已经叙述过制造晶体管2、3、4、5、6和电的连接结构9之后将一个凹槽腐蚀到电连接结构中。将凹槽用阻挡层14充满。然后可以进行平面化步骤。
在下个步骤中将下边的电极结构11沉积在覆盖氧化层7和阻挡层14上。为此可以使用溅射方法。被沉积的电极结构11的层厚度为D1。
在后面的步骤中将下面的电极结构11部分地腐蚀掉直到层厚度为D2。其作用是构成在下边的电极结构11上的台阶11’(台阶高度=D1-D2)。此时台阶高度D1-D2必须大于两个部分13A和13B之间所希望的厚度差。
在另外的可选择的步骤中将电容器装置10下面的电极结构11例如在台阶11’的根部电分开。在这种情况下将电容器装置实现为由(至少)两个电容器装置构成的，其中在层的一部分13B的下面产生的电容器电极但是通过适当的措施(例如另外的电连接结构)同样必须是可电接触的。
选择借助于离心式涂层方法(“旋转”方法)将铁电物质涂在下边的电极结构11上。其中将在一种溶剂中溶解的铁电物质滴在基层1上然后用转盘装置将基层处于回转状态(典型的是2000转每分钟)。通过离心力将具有铁电物质的溶剂径向向外抛出直到一个薄层。在下边的电极结构11的突起的部分上出现一个液体膜，这个液体膜比下边的电极结构11的凹下的部分上的液体膜薄。在旋转期间部分地遗留下的铁电体物质层的溶剂已经汽化。
在多个后面的温度处理步骤中将溶剂达到完全汽化和其作用是所希望的铁电体连接的晶体化。其后果是使上述的层的厚度减小非常大和结果是完成附图1表示的铁电体物质层13。
一般来说通过上述离心式涂层方法的作用是，在突起的表面部分上比在凹下的表面部分上形成比较薄的铁电体物质层。通过高度差D1-D2则可以调整铁电体物质层13厚度变化的程度。当然这个原理也可以扩展到多于两个高度台阶和因此扩展到铁电体物质层13多于两个层厚。
当高度差为D1-D2=220nm时铁电体物质层(SBT)13的一部分13A的层厚大约为35nm和铁电体物质层13的一部分13B的层厚大约为60nm。
为了完成电容器装置10将上边的电极结构12沉积在铁电体物质层的上面和，如果希望的话，同样被分开。
被涂上的层11、12、13(外部的)的结构为了在基层上实现单个的电容器装置然后可以将所有三层11、12、13通过共同的腐蚀进行。
借助于附图2和3叙述其他的实施变型用于产生下边的电极结构11的适合的表面拓扑。相互对应的零件采用同样的参考符号。
在第一个实施变型中(见附图2)在制造晶体管2、3、4、5、6和电的连接结构9之后将阻挡层14沉积在覆盖氧化层7上。
然后将阻挡层14区域性地去除，其中将阻挡层台阶14’保留。
在下一个步骤中将下边的电极结构11沉积上。其中将阻挡层台阶14’转移到下边的电极结构11的表面轮廓上。
将下边的电极结构11有选择的内部结构化(分割)之后使用已经叙述过的离心式涂层方法产生铁电体物质层13。最后涂上上边的电极结构12和同样适当地分割开。
按照第三个实施变型(附图3)在制造晶体管2、3、4、5、6和电的连接结构9之后如同在第一个实施变型中一样首先在电的连接结构9中腐蚀出一个凹槽。
然后通过将阻挡层材料和其他的适当的措施(例如平面化)将凹槽用阻挡层14填充。
在随后的步骤中将台阶7’腐蚀在覆盖氧化层7上。
一旦将下边的电极结构11沉积在具有台阶7’的覆盖氧化层7上时，其中如同在第二个处理变型一样将台阶7’转移到下边的电极结构11的表面拓扑上。
随后的处理步骤(用变化的层厚产生铁电体物质层13，产生上边的电极结构12)于是可以如同第一个或者第二个处理步骤一样进行。
所有的处理变型在功能上是可比的和在具有多个不同高度等级的基体上在一个工序内连续地产生铁电体物质层13的厚度变化成为可能。
权利要求
1．制造具有至少两个矫顽磁力电压(Vc1,Vc2)的铁电体电容器装置(10)的方法，用以下步骤-产生第一个电极结构(11)；-在第一个电极结构(11)上产生改变厚度的铁电体物质层(13)；-在铁电体物质层(13)上产生第二个电极结构(12)；其特征为，-将第一个电极结构(11)的表面至少构成为两个不同的高度等级；和-为了产生铁电体物质层(13)使用了离心式涂层方法。
2．按照权利要求1的方法，其特征为，-通过腐蚀一个台阶(11’)在第一个电极结构(11)上产生两个高度等级。
3．按照权利要求1或2的方法，其特征为，-在产生第一个电极结构(11)之前为了造成两个高度等级在阻挡层(14)内构成一个台阶(14’)。
4．按照上述权利要求之一的方法，其特征为，-在产生第一个电极结构(11)之前为了形成两个高度等级将一个台阶(7’)安排在基层(1)上面的辅助层(7)上或者在基层(1)本身。
5．按照上述权利要求之一的方法，其特征为，-为了构成至少两个电容器将第一个电极结构(11)进行分割。
6．按照上述权利要求之一的方法，其特征为，-为了构成至少两个电容器将第二个电极结构(12)进行分割。
全文摘要
在制造具有至少两个不同矫顽磁力电压的铁电体电容器方法中在基层上首先产生由至少两个高度等级构成的表面的第一个电极结构(11)。借助于离心式涂层将改变厚度(13A,13B)的铁电体物质层(13)涂在这个表面上面。然后在铁电体物质层(13)上构成第二个电极结构(12)。
文档编号H01L21/02GK1310470SQ0110494
公开日2001年8月29日 申请日期2001年2月23日 优先权日2000年2月25日
发明者W·哈特纳, G·欣德勒, V·维恩里希, I·卡斯科 申请人:因芬尼昂技术股份公司