专利名称：半导体加工机床检测的自动化管理系统及方法
技术领域：
本发明提供一种用于半导体加工机床检测的管理系统与方法，尤其涉及一种半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，以避免人员作业疏忽所造成的检测异常。
背景技术：
随着工业社会的急速发展，各式各样的机器设备不断地被开发出来，以适应工业上大量生产的需要。以半导体电子元件为例，在其制作过程中便需要应用到薄膜机床、黄光机床、刻蚀机床、离子布植机床、快速高温处理机床、化学机械研磨机床等多种不同的加工机床来逐步定义元件的图案。为了使元件特性合于产品规格，相关业者除了对于作业环境制订了高度洁净度标准，对于加工机床的可靠度检测更制定了严苛的规格要求，无论新进机床或是已在运转中的加工机床都必须依照一定的检测频率，针对特定的检测项目来检测该加工机床是否符合检测规格，以有效维护加工机床的使用寿命，同时确保产品的合格率。
参考图1，图1为已知半导体加工机床检测的方法流程图。如图1所示，已知半导体加工机床检测的方法流程图1包含下列步骤步骤11定义新机床，针对机床的操作环境条件、参数等信息进行设定、建档；步骤12由加工工程师定义新机床适用的测试列表，包括新机床的测试项目与测试规格；步骤13由作业人员进行机床的测试，利用监控板(monitor wafer)在机床中进行相关加工反应；步骤14由作业人员取得机床的量测值，并进行人工运算与人工判定；步骤15由作业人员将运算后的数据输入数据库；步骤16工程师通过数据库取得机床的测试数据；
步骤17工程师将取得的测试数据整理成报表，例如每周整理一次报表，利用EXCEL等工具软体将测试数据整理成趋势图；步骤18主管人员依报表的内容掌握机床状况；步骤19结束。
由于已知方法依照上述步骤来进行机床检测时，必须先由加工工程师人工定义机床测试列表，之后作业人员进行测试时需经过人工运算后才将测试数据输入数据库，且工程师需每周整理报表，主管人员对测试状况也仅能通过工程师被动通知，因此不仅造成工程师的工作负担，作业人员也可能因为用错测试列表或人工计算错误而影响测试数据的正确性，且主管人员也无从取得即时测试数据来掌握机床状况，因而使得机床检测的效果大打折扣。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，避免人员作业疏忽造成检测异常。
本发明的第二个目的是提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，以改善加工机床的检测效率。
本发明的又一目的是提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，可以提供即时的测试数据以及数据异常通知。
根据本发明的目的，该半导体加工机床检测的自动化管理系统包括数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及信息服务器，用于在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。
根据本发明的由一个目的，一种半导体加工机床检测的自动化管理方法包括在数据库中定义至少一个加工机床，以取得该加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；利用处理单元在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及利用信息服务器在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。
由于本发明的自动管理系统是根据数据库中的测试规格与计算公式来对作业人员输入的测试数据进行即时计算与结果判定，因此不仅可以有效提高检测效率，更可以有效避免人工运算错误，大幅度提高检测数据的可靠性。此外，本发明的自动管理系统包括异常数据管理功能，可以在测试结果判定异常时立刻以电子邮件方式通知相关人员，或是在机床未按照预定时间进行测试时也以电子邮件方式通知相关人员，因此相关人员可以随时掌握机床状况，有利于提高产品合格率。
图1为已知半导体加工机床检测的方法流程图。
图2为本发明半导体加工机床检测的自动化管理系统的功能方块图。
图3为本发明半导体加工机床检测的自动化管理方法的流程图。
图4为本发明的自动化管理系统在进行“加工机床导入”操作时的方法流程图。
图5为本发明的自动化管理系统在进行“加工机床导入”操作时的另一实施例的方法流程图。
图6为本发明的自动化管理系统在进行“测试数据输入”操作时的方法流程图。
图7为本发明的自动化管理系统在进行“测试数据输入”操作时的另一实施例的方法流程图。
图8为本发明的自动化管理系统在进行“测试数据查询”操作时的方法流程图。
图9为本发明的自动化管理系统在进行“测试数据修改/删除”操作时的方法流程图。
图10为本发明的自动化管理系统在进行“测试数据修改/删除”操作时的另一实施例的方法流程图。
图11为本发明的自动化管理系统在进行“异常数据查询”操作时的方法流程图。
图12为本发明的自动化管理系统在进行“测试数据绘图”操作时的方法流程图。
图13为本发明的自动化管理系统在进行“定期电子邮件通知”操作时的方法流程图。
图号说明1、3半导体加工机床检测方法流程图2自动化管理系统11～19已知半导体加工机床检测步骤21数据库22处理单元23信息服务器24用户端31～40本发明半导体加工机床检测步骤100～117“加工机床导入”操作步骤120～141“测试数据输入”操作步骤150～153“测试数据查询”操作步骤160～179“测试数据修改/删除”操作步骤190～185“异常数据查询”操作步骤190～194“测试数据绘图”操作步骤200～205“定期电子邮件通知”操作步骤211测试项目栏212测试规格栏213测试数据栏214用户数据栏221“用户登录”功能选项222“数据输入”功能选项223“数据查询”功能选项224“异常数据查询”功能选项225“绘图”功能选项226“定期检查”功能选项具体实施方式
参考图2。图2为本发明半导体加工机床检测的自动化管理系统2的功能方块图。自动化管理系统2适用于已知所有半导体加工机床，包含刻蚀机床，黄光机床，离子布植机床，以及薄膜机床等机床检测。如图2所示，自动化管理系统2包括数据库21，用于存储加工机床(包括新导入机床以及将要进行再次检测的已存在机床)的测试项目、测试规格以及测试频率等数据，处理单元22，用于在新增测试数据时进行即时计算与比对，以获得检测结果，以及信息服务器23，用于在检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。其中，自动化管理系统2是一种线上管理系统，因此其用户端24可通过互联网络来存取自动化管理系统2，并且收取信息服务器23所发出的测试相关信息。
数据库21包括测试项目栏211、测试规格栏212、测试数据栏213以及用户数据栏214。测试项目栏211是用于存储每一部加工机床必须进行的测试项目，通常是由系统开发者或其它具有权限的加工工程师来进行测试项目的设定、更新与维护。测试规格栏212是用于存储每个测试项目所对应的测试规格、测试规格启用日期以及测试频率等数据，通常是由加工工程师根据加工技术的开发与产品要求来进行测试规格、测试规格启用日期以及测试频率等数据的设定、更新与维护。测试数据栏213可用于存储每一部加工机床在进行测试时所取得的测试数据。用户数据栏214则可以用于存储处理单元22以及数据库21的所有用户端24的帐号、密码以及相对应的权限等数据。
处理单元22包括“用户登录”功能选项221、“数据输入”功能选项222、“数据查询”功能选项223、“异常数据查询”功能选项224、“绘图”功能选项225以及“定期检查”功能选项226等功能操作。“用户登录”功能选项221会根据用户端24输入的帐号、密码在用户数据栏214中搜寻相对应的权限数据，进而使用户端24可根据其权限使用处理单元22中的其它功能选项或存取数据库21中的各项数据栏。“数据输入”功能选项222是用于提供给从事加工机床测试工作的作业人员输入机床量测数据并将数据存储至测试数据栏213中，且此时处理单元22会自动在数据库21的测试规格栏212中选取相对应的测试规格以及计算公式等数据来对存储在测试数据栏213中的数据进行即时计算与比对，进而产生与这次机床检测相对应的检测结果。此外“数据输入”功能选项222也可以用于使用户端24根据其权限在数据库21的其它数据栏中新增/删除/修改数据。“数据查询”功能选项223是用于提供给用户端24设定查询条件并取得与该查询条件相对应的测试数据，“异常数据查询”功能选项224是用于提供给用户端24设定异常数据查询条件并取得与该异常数据查询条件相对应的测试数据，“绘图”功能选项225是用于提供给用户端24设定查询条件，取得与该查询条件相对应的测试数据，并将该测试数据绘成趋势图。至于“定期检查”功能选项226则是在预定周期根据数据库21中所存储的测试频率检查测试数据栏213中是否有相对应的测试数据，并在经检查，没有与该测试频率相对应的测试数据时利用信息服务器23传送不定时测试通知信息给相关工作人员。
参考图3，图3为本发明半导体加工机床检测的自动化管理方法的流程图。如图3所示，本发明半导体加工机床检测的自动化管理方法流程图3包含下列步骤步骤31在数据库中定义加工机床，针对机床的操作环境条件、参数等信息进行设定、建档或确认；步骤32系统开发者在数据库中定义加工机床的测试项目；步骤33加工工程师在数据库中定义各测试项目所对应的测试规格与测试频率；步骤34由作业人员进行机床的测试，利用监控板在机床中进行相关加工反应；步骤35作业人员取得机床的量测值并将数据输入数据库，系统自动取得测试规格与公式进行即时计算与结果判定并存入数据库，同时系统进行机床测试结果异常检查，如有异常立即利用信息服务器传送电子邮件通知相关工作人员；步骤36系统定期于每天04:00与16:00以电子邮件方式通知今日预定测试而尚未测试的机床；步骤37制造部人员使用异常数据查询功能，检查线上作业人员是否根据规定时间进行机床测试、数据库内数据是否符合数据正确性与数据完整性原则；步骤38相关部门工程师可以使用数据查询功能得知机床的测试历史记录，以有利于低合格率相关问题的分析；步骤39加工工程师与主管人员使用机床测试数据趋势图功能取得各机床的长期趋势图以有利于掌握机床状况；步骤40结束。
参考图4至图13，图4至图13为进一步说明本发明半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法在操作不同功能选项时的方法流程图。如图4所示，当用户端24将要在自动管理系统2上进行“加工机床导入”操作时，必须先经由处理单元22的“用户登录”功能选项221来确认权限，待通过权限认证后才能利用“数据输入”功能选项222在数据库21中定义机床数据，其步骤如下步骤100工程师在测试项目栏211中定义加工机床的测试项目，例如刻蚀机床的刻蚀率测试；步骤101工程师根据上述步骤所定义的测试项目在测试规格栏212中设定相对应的测试规格、测试规格启用日期以及测试频率等数据；步骤102数据写入数据库；步骤103结束。
为了提高自动管理系统的效率，图5是显示本发明的自动化管理系统2在进行“加工机床导入”操作时的另一实施例的方法流程图。在本实施例中，自动化管理系统2在进行“加工机床导入”操作时可以先判断导入的加工机床为新导入机床，或是与已存在机床具有相同测试项目的新导入加工机床，或是进行再次检测的已存在机床，进而可以依照导入的加工机床属性来对测试项目、测试规格与测试频率等数据定义步骤作适当的简化。此外，本实施例是以刻蚀加工机床导入的方法流程为例，然而本发明并不限于特定的加工机床导入，其它半导体加工机床导入也适用本发明的方法流程操作。如图5所示，用户端24在数据库21中定义机床数据的操作步骤如下步骤110检查数据库中有无相同测试项目的机床，若数据库中已有相同测试项目的机床数据，则进行步骤111，若数据库中没有相同测试项目的机床数据，则进行步骤112；步骤111由刻蚀加工工程师选取任一拥有相同测试项目的机床数据进行修改；步骤112由系统开发人员定义新导入机床的测试项目；步骤113在取得导入机床的测试项目后，由晶片制造部提供导入机床测试规格的启用日期以及测试频率；步骤114由刻蚀加工工程师提供导入机床的测试规格；步骤115由系统开发人员将机床测试规格、测试规格启用日期以及机床测试频率等数据输入数据库；步骤116在数据库中新增一批数据；步骤117结束。
如图6所示，当用户端24将要在自动管理系统2上进行“测试数据输入”操作时，其步骤如下步骤120作业人员使用“用户登录”功能选项22 1来登录系统；步骤121处理单元22根据作业人员输入的帐号、密码进行权限管理；步骤122作业人员通过认证后可以使用“数据输入”功能选项222将测试数据输入数据库；步骤123系统自动取得测试规格与公式并进行即时运算与判定，以产生检测结果；步骤124将上述步骤取得的检测结果存入数据库；步骤125检查检测结果是否异常，若有异常则进行步骤126，若无异常则进行步骤127；步骤126利用信息服务器23即时发送电子邮件通知相关人员；步骤127结束。
图7是显示本发明的自动化管理系统2在进行“测试数据输入”操作时的另一实施例的方法流程图，在本实施例中，作业人员使用的测试列表是由自动化管理系统2自动产生，因此可以有效避免测试列表版本不符所衍生的错误。如图7所示，用户端24于处理单元22中的操作步骤如下步骤130作业人员依照制造部排定时间进行加工机床的测试并使用“用户登录”功能选项221来登录系统；步骤131处理单元22根据作业人员输入的帐号、密码进行权限管理；步骤132作业人员通过认证后可以使用“数据输入”功能选项222来在数据库中选取测试机床、机床内舱(chamber)、机床测试项目；步骤133系统依所选取的测试机床、机床内舱、机床测试项目等取得与机床测试项目相对应的列表、机床测试规格；步骤134作业人员输入机床测试所得的数据，系统根据上一步骤取得的机床测试规格进行即时运算与判定，以产生检测结果；步骤135作业人员确认输入数据是否为有效数据，是则进行步骤136，否则进行步骤134；步骤136系统在中央主机进行权限认证；步骤137系统在中央主机进行数据是否为有效数据确认，是则进行步骤138，否则进行步骤134；步骤138在数据库中新增一批数据；步骤139检查检测结果是否异常，若有异常则进行步骤140，若无异常则进行步骤141；步骤140利用信息服务器23即时发送电子邮件通知相关人员；步骤141结束。
如图8所示，当用户端24将要在自动管理系统2上进行“测试数据查询”操作时，其在通过处理单元22的权限认证后即利用“数据查询”功能选项223执行下列步骤步骤150设定机床测试数据的查询范围与条件；步骤151根据所设定查询条件到中央主机取得相关数据；步骤152输出查询结果；步骤153结束。
如图9所示，当用户端24将要在自动管理系统2上进行“测试数据修改/删除”操作时，其在通过处理单元22的权限认证后即利用“数据查询”功能选项223执行下列步骤步骤160使用数据查询的功能，设定机床测试数据的查询范围与条件，并选择将要修改/删除的数据；步骤161用户修改测试数据，并由系统进行即时运算与结果判定，或用户删除所选取的测试数据；步骤162系统存储修改后的数据；步骤163结束。
图10是显示本发明的自动化管理系统2在进行“测试数据修改/删除”操作时的另一实施例的方法流程图，在本实施例中，用户在修改/删除测试数据时需先经由系统确认其操作权限，以有效管理数据库中的测试数据，避免数据被随意修改或删除。如图10所示，用户端24利用“数据查询”功能选项223执行下列步骤步骤170使用数据查询的功能，设定机床测试数据的查询范围与条件，以寻找将要修改/删除的机床测试数据；步骤171选择将要修改/删除的机床测试数据；步骤172系统进行权限确认；步骤173系统自动取得与所选择的机床测试数据相对应的测试规格，若用户将要修改数据则进行步骤174，若用户将要删除数据则进行步骤175；步骤174用户进行机床测试数据修改，系统根据上一步骤取得的机床测试规格进行即时运算与结果判定，然后进行步骤176；步骤175、176系统在中央主机进行权限确认；步骤177通过权限确认后，数据库中的此批测试数据即被删除；步骤178通过权限确认后，修改后的测试数据即被存储到数据库中；步骤179结束。
如图11所示，当用户端24将要在自动管理系统2上进行“异常数据查询”操作时，其在通过处理单元22的权限认证后即利用“异常数据查询”功能选项224执行下列步骤步骤180设定异常数据的查询范围与条件；步骤181根据设定的查询条件取得各机床、内舱的测试频率；步骤182根据上一步骤取得的各机床、内舱的测试频率计算出机床的测试日期，并根据计算出的测试日期到数据库中检查是否有相对应的机床测试数据，经检查，有相对应的数据则进行步骤183，经检查，没有相对应的数据则进行步骤184；步骤183对相对应的机床测试数据进行数据正确性与完整性检查；步骤184输出查询结果；步骤185结束。
如图12所示，当用户端24将要在自动管理系统2上进行“测试数据绘图”操作时，其在通过处理单元22的权限认证后即利用“绘图”功能选项225执行下列步骤步骤190设定数据的查询范围与条件；步骤191根据设定的查询条件取得各机床、内舱的机床测试数据；步骤192依取得的机床测试数据在中央主机端进行绘图并暂存在中央主机；步骤193将中央主机绘图结果输出至用户端24；步骤194结束。
如图13所示，利用“定期检查”功能选项226进行“定期电子邮件通知”操作的方法步骤如下步骤200由系统开发者设定异常数据的查询时间范围；步骤201根据设定的查询条件取得各机床、内舱的测试频率；步骤202根据上一步骤取得的各机床、内舱的测试频率计算出机床的测试日期，并根据计算出的测试日期到数据库中检查是否有相对应的机床测试数据，经检查，有相对应的数据则进行步骤205，经检查，没有相对应的数据则进行步骤203；步骤203输出查询结果并存储成网页格式；步骤204将文件以电子邮件方式传送相关人员；步骤205结束。
由于本发明的自动管理系统是根据数据库中的测试规格与计算公式来对作业人员输入的测试数据进行即时计算与结果判定，因此不仅可以有效提高检测效率，更可以有效避免人工运算错误，大幅度提高检测数据的可靠性。此外，本发明的自动管理系统包括异常数据管理功能，可以在测试结果判定异常时即立刻以电子邮件方式通知相关人员，或是在机床未按照预定时间进行测试时也以电子邮件方式通知相关人员，因此相关人员可以随时掌握机床状况，有利于提高产品合格率。
相比于已知的半导体加工机床检测方法，本发明的自动管理系统与方法具有下列优点(1)可以避免人工计算规格错误造成运营损失；(2)自动检查数据，确保线上作业，例如，暂时作业要领书(temporaryengineering change notice，TECN)，与系统版本一致；(3)机床测试计划与作业人员实际执行一致；(4)只要能使用因特网资源浏览器(IE)浏览系统就可以使用本系统；(5)系统根据内定公式进行测试数据运算，不容易出错；(6)系统根据计算结果与测试规格进行测试结果判定，不容易出错；(7)数据搜集完整；
(8)数据保存容易；(9)数据查询容易；(10)数据分析容易；以及(11)自动异常管理(real time mail)。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡根据本发明权利要求所做的同等变化与修改，都应属于本发明专利的覆盖范围。
权利要求
1.一种半导体加工机床检测的自动化管理系统包括数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及信息服务器，用于在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。
2.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该加工机床包含新导入机床及/或进行再次检测的已存在机床。
3.如权利要求2的自动化管理系统，其中，该数据库包含测试项目栏，用于提供给系统开发者设定并存储该加工机床的该测试项目。
4.如权利要求2的自动化管理系统，其中，该数据库包含测试规格栏，用于提供给加工工程师根据该测试项目设定并存储相对应的测试规格以及该测试频率。
5.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该数据库包含用户数据栏，用于存储至少一个用户的帐号、密码以及相对应的权限等数据。
6.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该数据库包含测试数据栏，用于存储该加工机床的该测试数据。
7.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该处理单元包含用户登录功能选项，该用户登录功能选项是根据用户输入的帐号、密码进行权限管理，以使该用户可根据其权限使用该处理单元或存取该数据库。
8.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该处理单元包含数据输入功能选项，用于提供给用户根据其权限在该数据库中更新数据。
9.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该处理单元包含数据查询功能选项，用于提供给用户设定查询条件并取得与该查询条件相对应的测试数据。
10.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该处理单元包含绘图功能选项，用于提供给用户设定查询条件，取得与该查询条件相对应的测试数据，并将该测试数据绘成趋势图。
11.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该处理单元包含异常数据查询功能选项，用于提供给用户设定异常数据查询条件并取得与该异常数据查询条件相对应的测试数据。
12.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该处理单元包含定期检查功能选项，用于在预定周期时根据该测试频率检查该数据库中是否有相对应的测试数据，并在经检查，没有与该测试频率相对应的测试数据时利用该信息服务器传送不定时测试通知信息给相关工作人员。
13.如权利要求1的自动化管理系统是一种线上管理系统，其用户可通过互联网络存取该自动化管理系统。
14.如权利要求1的自动化管理系统，其中，该加工机床为刻蚀机床、黄光机床，离子布植机床，或薄膜机床。
15.一种半导体加工机床检测的自动化管理方法包括在数据库中定义至少一个加工机床，以取得该加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；利用处理单元在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及利用信息服务器在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。
16.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该加工机床是新导入机床。
17.如权利要求16的自动化管理方法，其中，该方法在定义该新导入机床的该测试项目、该测试规格以及该测试频率时包括下列步骤由系统开发者在该数据库的测试项目栏中设定并存储该新导入机床的该测试项目；以及由加工工程师根据该测试项目在该数据库的测试规格栏中设定并存储相对应的测试规格以及该测试频率。
18.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该加工机床是进行再次检测的已存在机床。
19.如权利要求18的自动化管理方法，其中，该方法在定义该已存在机床时包括下列步骤由加工工程师在该数据库的测试项目栏中更新并存储该已存在机床的该测试项目；以及由该加工工程师或其它加工工程师根据该测试项目在该数据库的测试规格设定栏中更新并存储相对应的测试规格以及该测试频率。
20.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该方法在新增该加工机床的该测试数据之前，该处理单元会先在该数据库中选取相对应的测试项目、该测试规格以及该测试频率，以产生与该加工机床相对应的数据列表，以使用户可以有利于用该数据列表来新增该测试数据。
21.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该方法另包含利用用户登录功能选项来根据用户输入的帐号、密码进行权限管理，以使该用户可根据其权限使用该处理单元或存取该数据库。
22.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该方法包含利用数据输入功能选项来使用户可以根据其权限在该数据库中更新数据。
23.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该方法包含利用查询功能选项来使用户可以设定查询条件并取得与该查询条件相对应的测试数据。
24.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该方法包含利用绘图功能选项来使用户可以设定查询条件，取得与该查询条件相对应的测试数据，并利用该绘图系统将该测试数据绘成趋势图。
25.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该方法包含利用异常数据查询功能选项来使用户可以设定异常数据查询条件并取得与该异常数据查询条件相对应的测试数据。
26.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该测试数据是存储在该数据库的测试数据栏中，且该方法包含利用定期检查功能选项在预定周期根据该测试频率检查该数据库中是否有相对应的测试数据，并在经检查，没有与该测试频率相对应的测试数据时，利用该信息服务器传送不定时测试通知信息给相关工作人员。
27.如权利要求15的自动化管理方法，其中，用户可通过互联网络来存取该数据库，使用该处理单元或取得该测试异常通知信息。
28.如权利要求15的自动化管理方法，其中，该加工机床为刻蚀机床、黄光机床，离子布植机床，或薄膜机床。
全文摘要
本发明提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统，包括数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及信息服务器，用于在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。
文档编号H01L21/00GK1518057SQ0310164
公开日2004年8月4日 申请日期2003年1月13日 优先权日2003年1月13日
发明者林俊男, 刘鸣宇 申请人:力晶半导体股份有限公司