专利名称：狭缝喷嘴的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种以规定的宽度在玻璃基板或半导体晶片等被处理物的表面涂敷光致抗蚀剂液或形成滤色片的涂敷液的狭缝喷嘴。
背景技术：
如专利文献1所示，狭缝喷嘴一般通过接合左右的半体而构成。具体来讲，如图5所示，在左右的半体101、102上在宽度方向形成有通孔103，通过在该通孔103中穿插并紧固螺栓104来组装狭缝喷嘴。在此状态下，在左右的半体101、102之间，形成有涂敷液的储存部105和狭缝状排出部106。
此外，在专利文献2和专利文献3中也公开了相同结构的狭缝喷嘴。其结构也均为通过用螺栓紧固左右的半体来组装狭缝喷嘴。
专利文献1JP特开平11-274071号公报专利文献2JP特开平11-57533号公报专利文献3JP特开2000-33312号公报但是，对于上述结构的狭缝喷嘴而言，在用螺栓紧固左右的半体时，由于从螺栓向靠近螺栓的部分，即螺栓穿插用通孔周边直接传递应力，所以与其它部分相比，通孔周边被更牢地紧固，从而狭缝状排出口的宽度在局部有所不同，出现涂敷分布不均的问题。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种可降低由螺栓直接传递来的应力所导致的对涂敷分布的影响的狭缝喷嘴。
本发明的狭缝喷嘴是以规定宽度在被处理物表面涂敷涂敷液的喷嘴，其构成为在左右的半体上在宽度方向形成有螺栓穿插用通孔，此外，在左右的半体中的至少一个半体的对接面上，在长度方向连续地形成了其上形成螺栓穿插用通孔的开口的沟槽。
根据本发明的狭缝喷嘴，由于在左右的半体上在宽度方向形成有螺栓穿插用通孔，并在左右的半体中的至少一个半体的对接面上，在长度方向连续地形成了其上形成螺栓穿插用通孔的开口的沟槽，所以在紧固螺栓时，应力均匀分散而不会集中在通孔周边，因此，狭缝状排出口的宽度不会在局部有所不同，涂敷分布均匀。
此外，由螺栓紧固的部位为上下两段时，其上形成各段的螺栓穿插用通孔的开口的沟槽也形成为上下两段。并且，上下各段分别设置多个螺栓穿插用通孔，且这些多个螺栓穿插用通孔在一条沟槽上形成开口。
根据本发明的狭缝喷嘴，可分散螺栓直接传递来的应力，降低对涂敷分布的影响。
因而，可实现一种针对涂敷的具有高可靠性和高精度的狭缝喷嘴。
图1是表示本发明的狭缝喷嘴的一个实施方式的侧视剖视图。
图2是图1的A-A方向的向视图。
图3中的(a)～(c)是表示其它实施方式的与图1相同的图。
图4是表示以膜厚为基准来判断以往实施例与本发明在效果上的差异的结果的曲线图。
图5是以往的狭缝喷嘴的侧视剖视图。
附图符号说明1、2构成狭缝喷嘴的左右的半体，11、12、21、22通孔，13凹部，14狭缝状排出口，15平坦面，16、17、18、40、41、42沟槽，31螺栓具体实施方式
以下基于附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是表示本发明的狭缝喷嘴的一个实施方式的侧视剖视图，图2是图1的A-A方向的向视图。
本实施方式的狭缝喷嘴由左右的半体1、2构成。
在宽度方向形成有通孔11、12、21、22，使得在左右的半体1、2上分别形成上下两段。这些通孔11、12、21、22在上下的各段，在长度方向空开间隔地形成有多个，且对应的通孔11和通孔21，以及通孔12和通孔22的轴线是一致的。并且，在各段的通孔11和通孔21、通孔12和通孔22中穿插并紧固有共同的螺栓31……，由此构成狭缝喷嘴。
此外，在半体1和半体2的相对面(抵接面)上，形成有成为涂敷液的储存部的凹部13、以及在与右侧的半体2之间形成狭缝状排出口14的平坦面15。
并且，在本实施方式中，特别是如图2所示，在半体1与半体2的相对面上，在半体1的对接面上在长度方向连续地形成有其上形成螺栓穿插用的通孔11、12的开口的沟槽16、17。
具体而言，在上段的沟槽16上形成有上段的通孔11的开口，在下段的沟槽17上形成有下段的通孔12的开口。
这样，不会使穿插螺栓31的通孔11、12的端部直接接触到对面的半体2的相对面，通过在沿长度方向延伸的沟槽16、17上形成开口，由螺栓所导致的紧固力不会集中在通孔11、12的开口周缘，而是均匀地分散于喷嘴的长度方向。其结果，狭缝状排出口14的宽度也变得均匀。
下面，采用图3(a)～(c)所示的剖视图对本发明的狭缝喷嘴的其它实施方式进行说明。
图3(a)所示的实施方式，是将形成通孔11、12的端部开口的沟槽18设为一条的情况，即，不像图1和图2所示的实施方式那样，针对两根螺栓31分别形成沟槽16、17，而是针对两根螺栓31形成一条沟槽18的情况。
图3(b)所示的另一其它实施方式，为在半体2上形成与沟槽16、17相对的沟槽40、41，在这些沟槽40、41上形成通孔21、22的开口的情况。
即、不像图1和图2所示的实施方式那样，仅在一个半体1上形成沟槽16、17，而是在两个半体1、2上形成沟槽16、17、40、41的情况。
在图3(c)所示的又一其它实施方式中，在半体2上形成有与半体1的沟槽18相对的沟槽42，在沟槽18上形成有通孔11、12的端部开口，在沟槽42上形成有通孔21、22的端部开口。
即，不像图3(a)所示的实施方式那样，在一个半体1上针对两根螺栓31形成一条沟槽18，而是在两个半体1、2上针对两根螺栓31各形成一条沟槽的情况。
即使是在图3(a)～(c)所示的各实施方式中，在用螺栓31紧固左右的半体1、2时，也不会使应力集中在通孔11、12、21、22的开口部周缘，而能以均匀的力来紧固。
图4是表示以膜厚为基准判断以往实施例与本发明在效果上的差异的结果的曲线图。
从该曲线图可知，通过采用本发明的狭缝喷嘴，可使涂膜的厚度变得比以往更均匀。
另外，在上述的各实施方式中，举例说明了在一个半体1或两个半体1、2上形成图2所示的连续沟槽的情况。然而，根据情况，也可以在各螺栓位置形成沟槽，而不是形成连续的沟槽。但是，连续沟槽便于加工。
此外，在上述的各实施方式中，举例说明了螺栓31为上下两段的情况。然而，螺栓31的段数不限于此，可考虑各种方式。
此外，本发明不限于上述的实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内，可采用其它各种结构。
权利要求
1.一种狭缝喷嘴，以规定宽度在被处理物表面涂敷涂敷液，该狭缝喷嘴的特征在于，上述狭缝喷嘴在左右的半体上，在宽度方向形成有螺栓穿插用通孔，在上述左右的半体中的至少一个半体的对接面上，在长度方向连续地形成有其上形成上述螺栓穿插用通孔的开口的沟槽。
2.如权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，上述螺栓穿插用通孔形成为上下两段，其上形成各段的螺栓穿插用通孔的开口的沟槽，也形成为上下两段。
全文摘要
本发明提供一种排出口的宽度在长度方向均匀的狭缝喷嘴。该狭缝喷嘴可降低由螺栓直接传递来的应力所导致的对涂敷分布的影响。在沿长度方向延伸的沟槽(16、17)上形成穿插螺栓(31)的通孔(11、12)的端部开口，而不是使之与对面的半体(2)的相对面直接接触，由此，螺栓(31)的紧固力不会集中在通孔(11、12)的开口周缘，而是在喷嘴的长度方向均匀地分散。其结果，狭缝状排出口(14)的宽度也变得均匀。
文档编号H01L21/02GK1954924SQ20061014998
公开日2007年5月2日 申请日期2006年10月25日 优先权日2005年10月27日
发明者高濑真治, 升芳明 申请人:东京应化工业株式会社