输送装置、位置示教方法以及传感器夹具的制作方法

专利名称：输送装置、位置示教方法以及传感器夹具的制作方法
专利说明本发明第一方面的输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先 设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向 成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方 向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角 的方向为X方向，且具备透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在 具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的 两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述 所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够 对所述光轴进行遮光；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件使 所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针 对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算 出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，所述透 射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，在没有设置所 述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部设置所述目标部件。由此，能够通过输送装置的通常的输送动作，S卩，不进行用于示教作业的回避动作 的情况下，获取输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的位置 信息，算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下算出示 教信息。即，能够以容易的方法算出示教信息，并且，能够缩短算出时间。在此，臂是指将多个部件中其前端部分和基端部分加以连结而长条状一体化，并 能够在驱动源的作用下伸缩运动的部件。臂的前端部为输送物输送部，具备将输送物定位 在臂的前端部上的一定位置的公知的夹紧机构。另外，目标部件可以是已经设置在输送部的前端部或目标位置的附近部的部件， 也可以是安装在设于输送部的前端部或目标位置的附近部的遮光夹具上的部件，优选为圆 柱(销)状。另外，透射光式传感器是安装在设于输送部的前端部或目标位置的附近部的传感 器夹具上的传感器。另外，以铅垂方向为Z方向，以相对于铅垂方向成直角的平面上的设计上的直线 移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向。因此，X方向、Y方向 及Z方向表示设计上的方向。另外，R方向为输送部(臂的前端部)的直行方向。另外，输 送部的旋转中心轴为θ轴。本发明第二方面的输送装置的特征在于，本发明第一方面的输送装置的所述目标 部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所 成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。由此，能够获取精度更高的示教信息。即，使通过至少两个目标部件的方向与规定 的已知方向一致，从而能够获取针对准确的输送位置的示教信息。本发明第三方面的输送装置以本发明第二方面的输送装置为基础，其特征在于， 通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。由此，能够通过更简单的计算获取精度更高的示教信息。本发明第四方面的输送装置以本发明第一至第三方面中任一方面的输送装置为基础，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述示教信息算出机构包括Z轴补 正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由 该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位 置补正的所述示教信息；θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直 至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于 该目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的 偏移角度进行补正的所述示教信息；X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况 下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光 轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示 教信息；Y轴补正信息算出部，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向 相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴 分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴不交叉的情况下至少一个所述光轴遮光 时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。输送装置通过Z轴补正信息算出机构算出Z轴方向相对于输送位置的位置补正 值，通过θ轴补正信息算出部算出使输送部的直行方向(R方向)与Y方向一致的(以下 称为θ轴补正)、即使输送部的直行方向为Y方向的补正值，通过X轴补正信息算出机构算 出X轴方向相对于输送位置的位置补正值，通过Y轴补正信息算出部算出Y轴方向相对于 输送位置的位置补正值。由此，能够通过重复进行通常的输送动作来算出用于进行输送装置相对于输送位 置的Z轴方向位置补正、θ轴补正、X轴方向位置补正及Y方向位置补正的示教信息。本发明第五方面的输送装置以本发明第四方面的输送装置为基础，其特征在于， 具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第 一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述示教信息算 出机构具有S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且 所述S轴为Y方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一 目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光 时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两 个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，该S轴补正信息 算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目 标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的 偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且 所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光 轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个 所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y 方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。输送装置通过S轴补正信息算出机构算出例如使成为设置上的Y方向的通过目标 位置的中心轴(S轴)与输送部的直行方向(R方向)一致的补正值。即，由于通过θ轴补 正信息算出部进行补正而使R方向与Y方向一致，因此，利用S轴补正信息算出机构算出使 S轴与Y方向一致的补正。或者，例如算出使成为设置上的X方向的通过目标位置的中心轴(S轴)与设计上的X方向一致的补正值。即，通过S轴补正信息算出机构算出使S轴与X 方向一致的补正。由此，能够通过重复进行通常的输送动作算出用于进行输送位置的Y方向的中心 轴补正的示教信息、或用于进行输送位置的X方向的中心轴补正的示教信息。本发明第六方面的输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预 先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方 向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z 方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直 角的方向为X方向，且具备透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴， 在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所 需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与 所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其 能够对所述光轴进行遮光；一个以上的临时补正目标部件，其相对于能够对所述光轴进行 遮蔽的所述目标部件的相对位置为已知；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获 取所述目标部件及所述临时补正目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投 光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信 息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信 息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述 目标位置的附近部的任一方，所述目标部件及所述临时补正目标部件设置在没有设置所述 透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，且所述临时补正目标部 件设置在所述透射光式传感器与所述目标部件之间。由此，能够通过输送装置的通常的输送动作，S卩，不进行用于示教作业的回避动作 的情况下，获取输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的位置 信息，算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下算出示 教信息。即，能够以容易的方法算出示教信息，并且，能够缩短算出时间。另外，当目标位置周围的空间区域窄，为了获取针对目标位置的示教信息而使输 送装置动作时，在可能会引起目标位置周围的设备等部件与输送部碰撞的情况下，例如通 过在目标位置设置目标部件，并将其设置在不引起目标位置周围的设备等部件和输送部的 接触的目标位置与输送部之间，从而，能够防止目标位置周围的设备等部件与输送部的接 触，同时获取针对目标位置的示教信息。本发明第七方面的输送装置的特征在于，本发明第六方面的输送装置的所述目标 部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所 成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。由此，能够获取精度更高的示教信息。即，使通过至少两个目标部件的方向与规定 的已知方向一致，从而能够获取针对准确的输送位置的示教信息。本发明第八方面的输送装置以本发明第七方面的输送装置为基础，其特征在于， 通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。由此，能够通过更简单的计算获取精度更高的示教信息。本发明第九方面的输送装置以本发明第六至第八方面中任一方面的输送装置为基础，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述示教信息算出机构包括Z轴补 正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、 而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进 行Z方向的位置补正的所述示教信息；θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对 地平行移动直至由所述临时补正目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光 轴向X方向相对于该临时补正目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信 息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；一次X轴补正信息算出机 构，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于所述临时补正目标 部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标 位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；Y轴补正信息算出部，在具有两个所述光轴的 情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个 所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴不 交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向 的所述示教信息。输送装置通过Z轴补正信息算出机构算出Z轴方向相对于输送位置的位置补正 值，通过θ轴补正信息算出部算出使输送部的直行方向(R方向)与Y方向一致的(以下 称为θ轴补正)、即使输送部的直行方向为Y方向的补正值，通过一次X轴补正信息算出机 构算出X轴方向相对于输送位置的位置补正值，通过Y轴补正信息算出部算出Y轴方向相 对于输送位置的位置补正值。由此，能够通过重复通常的输送动作算出用于进行输送装置相对于输送位置的Z 轴方向位置补正、θ轴补正、X轴方向位置补正以及Y轴方向位置补正的示教信息。本发明第十方面的输送装置以本发明第九方面的输送装置为基础，其特征在于， 具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第 一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述示教信息算 出机构包括S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴 且所述S轴为Y方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第 一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮 光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有 两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，该S轴补正信 息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二 目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向 的偏移角度进行补正的所述示教信息；二次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴 的情况下，该二次X轴补正信息算出机构根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部 件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位 置进行X方向的位置补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述 光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，该二次X轴补正信息算出机构根据使一 方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行 移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与 设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。
输送装置通过S轴补正信息算出机构算出例如使成为设置上的Y方向的通过目标 位置的中心轴(S轴)与输送部的直行方向(R方向)一致的补正值。即，由于通过θ轴补 正信息算出部进行补正而使R方向与Y方向一致，因此，通过S轴补正信息算出机构算出使 S轴与Y方向一致的补正。或者，算出例如使成为设置上的X方向的通过目标位置的中心轴 (S轴)与设计上的X方向一致的补正值。即，通过S轴补正信息算出机构算出使S轴与X 方向一致的补正。另外，通过二次X轴补正信息算出机构算出X轴方向相对于输送位置的准确的位 置补正值。由此，能够通过重复通常的输送动作算出用于进行输送位置的Y方向的中心轴补 正或输送位置的X方向的中心轴补正以及X轴方向位置补正的示教信息。本发明第一方面的位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置， 所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹上 进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进 行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，以铅垂方向为ζ方向，以设计上的 直线移动方向为Y方向，以相对于位于所述平面上的Y方向及Z方向成直角的方向为X方 向，所述位置示教方法包括如下工序(a)通过使透射光式传感器相对于设置在没有设置 所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的一个以上的目标 部件相对地移动，而获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光 时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述 透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一 个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方 向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中 的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光 部。
由此，获得与上述本发明第一方面的输送装置等同的效果。本发明第二方面的位置示教方法的特征在于，本发明第一方面的位置示教方法的 所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或 X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。由此，能够获得与上述本发明第二方面的输送装置等同的效果。本发明第三方面的位置示教方法以本发明第二方面的位置示教方法为基础，通过 至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。由此，能够获得与上述本发明第三方面的输送装置等同的效果。本发明第四方面的位置示教方法以本发明第一至第三方面中任一方面的位置示 教方法为基础，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述工序(a)包括下述四 个工序中的至少一个工序(b)根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地 移动、而由该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z 方向的位置补正的所述示教信息；(C)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所 述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件 相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(d)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对 于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算 出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；(e)在具有两个所述光轴的 情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所 述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，或在两个所述光轴没有 交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向 的所述示教信息。由此，能够获得与上述本发明第四方面的输送装置等同的效果。本发明第五方面的位置示教方法以本发明第一至第四方面中任一方面的位置示 教方法为基础，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件 中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二 目标部件，所述工序(a)包括下述工序(f)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述 光轴且所述S轴为Y方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向 R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信 息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上 彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一 目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光 时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两 个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根 据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对 地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y 方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(g)在具有两个所述光轴的 情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述 光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述 示教信息。由此，能够获得与上述本发明第五方面的输送装置等同的效果。本发明第六方面的位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置， 所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹上 进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进 行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述 平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方 向，且包括如下工序(al)通过使透射光式传感器相对于一个以上的目标部件以及一个以 上的临时补正目标部件相对地移动，而获取所述目标部件及所述临时补正目标部件使所述 光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算 出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或 所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所 述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构 成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个 方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部，一个以上的所述目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，一个以上的所述临 时目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置 的附近部并设置在所述透射光式传感器与所述目标部件之间，且相对于所述目标部件的相 对位置为已知。
由此，能够获得与上述本发明第六方面的输送装置等同的效果。本发明第七方面的位置示教方法的特征在于，本发明第六方面的位置示教方法的 所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或 X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。由此，能够获得与本发明第七方面的输送装置等同的效果。本发明第八方面的位置示教方法以本发明第七方面的位置示教方法为基础，通过 至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。由此，能够获得与上述本发明第八方面的输送装置等同的效果。本发明第九方面的位置示教方法以本发明第六至第八方面中任一方面的位置示 教方法为基础，以所述输送部的直行方向为R方向，所述工序(al)包括下述四个工序中的 至少一个工序(bl)根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、 而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进 行Z方向的位置补正的所述示教信息；(Cl)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由 所述临时补正目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于 该临时补正目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与 Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(dl)在具有两个所述光轴的情况下，根据使 所述光轴向R方向相对于所述临时补正目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮 光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息； (el)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相 对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信 息、或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出 针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。由此，获得与上述本发明第九方面的输送装置等同的效果。本发明第十方面的位置示教方法以本发明第六至第九方面中任一方面的位置示 教方法为基础，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所 述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件， 所述工序(al)包括下述两个工序中的至少一个工序(fl)在具有两个在所述投影面上彼 此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目 标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时 的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个 在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述 光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两 个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示 教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向 不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置 上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(gl)在具 有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行 移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向 的位置补正的所述示教信息。由此，获得与上述本发明第十方面的输送装置等同的效果。本发明第一方面的传感器夹具通过与目标部件相对地平行移动而检测所述目标 部件，其特征在于，至少具有一个从透射光式传感器的投光部向受光部的光轴，在具有多个 所述光轴的情况下，以使所述光轴在同一投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少 一个所述光轴相对于投影到所述投影面上的向所述目标部件的相对的移动方向及与所述 移动方向成直角的方向不平行的方式配置所述投光部和所述受光部。通过设于将被输送物在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置的输送部的 前端部、或所述输送轨迹上的规定的目标位置的附近部，而获得与上述本发明第一方面至 第十方面中任一方面的输送装置等同的效果。本发明第十一方面的输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预 先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方 向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，具备本发明第一 方面的传感器夹具，根据利用所述传感器夹具的所述透射光式传感器获取的、所述目标部 件使所述光轴从投光成为遮光时或从遮光成为投光时的位置信息，算出针对所述输送轨迹 上的规定的目标位置的示教信息。由此，获得与上述本发明第一方面至第十方面中任一方面所述的输送装置等同的 效果。根据本发明，能够通过输送装置通常的输送动作，S卩，不进行用于示教作业的回避 动作的情况下，获得输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的 位置信息，而算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下 算出示教信息。即，能够容易地进行示教信息的算出，并且，能够缩短算出时间。另外，当输送位置周围的空间区域窄，为了获取针对输送位置的示教信息而使输 送装置动作时，在可能会引起输送位置周围的设备等部件与输送部碰撞的情况下，例如通 过在目标位置设置目标部件，并将其设置在不引起目标位置周围的设备等部件和输送部的 接触的目标位置与输送部之间，从而，能够防止目标位置周围的设备等部件与输送部的接 触，同时获取针对目标位置的示教信息。


图1是用于说明本发明一实施方式的输送装置的图。图2是用于说明输送机械手12的图。图3是表示传感器夹具的一例的图。图4是用于说明传感器夹具的安装状态的图。图5是表示遮光夹具的一例的图。图6是表示晶片输送装置10中的自动示教的控制机构的一例的块图。
图7是表示自动示教的示意处理步骤的一例的流程图。图8是表示其他遮光夹具的一例的图。图9是表示Z轴补正处(SlOl)的处理步骤的一例的流程图。图10是用于说明输送机械手12的初始位置的一例的图。图11是表示θ轴补正处理(S102)的处理步骤的一例的流程图。图12是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。图13是用于说明θ轴补正的示教信息的算出方法的图。图14是表示X轴补正处(S103)的处理步骤的一例的流程图。图15是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。图16是用于说明X轴补正的示教信息的算出方法的图。图17是表示S轴补正处理(S104)的处理步骤的一例的流程图。图18是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。图19是用于说明S轴补正的示教信息的算出方法的图。图20是表示二次X轴补正处理610 的处理步骤的一例的流程图。图21是表示Y轴补正处(S106)的处理步骤的一例的流程图。图22是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。图23是表示其他的传感器夹具的一例的图。图M是表示又一传感器夹具的一例的图。符号说明10晶片输送装置150晶片收纳容器12输送机械手(主体部)11 装载口13X轴工作台21支柱部22 第一臂23 第二臂24晶片输送部25回旋部30传感器夹具32透射光式传感器41、42 光轴50遮光夹具51、52 遮光销60示教信息算出部61Z轴补正信息算出部62 θ轴补正信息算出部63Χ轴补正信息算出部64Υ轴补正信息算出部18
65S轴补正信息算出部70控制部75驱动部76无线信号发射机77 电池
具体实施例方式参照附图对本发明一实施方式进行说明。此外，以下说明的实施方式只用于说明， 并不限定本发明的范围。因而，本领域技术人员可以采用以与所述各要素或全部要素等同 的要素进行置换的实施方式，但这些实施方式均包含在本发明的范围中。针对实施向沿预先设定的输送轨迹输送被输送物的输送装置自动地示教(自动 示教)该输送轨迹上的规定的输送位置(目标位置)的输送装置进行说明。图1是用于说明本发明一实施方式的输送装置的图，图1(a)是示意俯视图，图 1(b)是示意侧视图。以下，还举例说明了执行收纳有半导体晶片的晶片收纳容器(FOUP) 和晶片处理装置之间的半导体晶片的输送的晶片输送装置(EFEM=Equipment Front End Module)作为输送装置。如图1所示，晶片输送装置10执行晶片收纳容器150与晶片处理装置100之间的 半导体晶片的输送。晶片输送装置10把持半导体晶片且具备主体部(输送机械手)12、装 载口 11、X轴工作台13。装载口 11是如下所述的装置搭载晶片收纳容器150，打开晶片收 纳容器150的门(未图示)，由此输送机械手12移动至能够输送晶片收纳容器150中的半 导体晶片的位置。另外，X轴工作台13为通过设置输送机械手12而使输送机械手12沿相 对于铅垂方向(Z方向)成直角的图中的X轴方向(X方向)平行移动的装置。此外，以相对于Z方向及X方向成直角的方向为Y方向。另外，在此将X方向、Y方 向及Z方向作为晶片输送装置10设计上的方向，将X轴方向、Y轴方向及Z轴方向作为与 晶片输送装置10设置上的X方向、Y方向及Z方向对应的方向。其次，参照图2说明输送机械手12。图2是用于说明输送机械手12的图，图2 (a) 是输送机械手12的示意侧视图，图2(b)是输送机械手12的示意俯视图。如图2所示，输送机械手12具备能够沿Z轴方向上下移动的圆筒状的支柱部21、 以支柱部21的中心轴沈为中心在相对于Z轴方向成直角的平面(回旋面)上回旋的回旋 部25。回旋部25具备第一臂22、第二臂23、晶片输送部M。第一臂22安装于支柱部21 且安装为能够以支柱部21的中心轴沈为中心在回旋面上回旋。另外，第二臂23在与回旋 面平行的平面上回旋自如，且按与第一臂22固定的速度比安装于第一臂22的前端。另外， 晶片输送部M在与回旋面平行的平面上回旋自如，且按与第二臂23固定的速度比安装在 第二臂23的前端。回旋部25将以第一臂22的中心轴沈为中心的回旋运动按固定的速度比向第二 臂23及晶片输送部M传递，且将回旋运动变化为向通过晶片输送部M的中心轴沈且与 中心轴26成直角的方向(R方向)的伸缩运动。需要说明的是，晶片输送装置10以输送机 械手12的R方向为Y方向的方式安装于X轴工作台13。从而，R方向为Y轴方向。从而，如图1及图2所示，输送机械手12具有以下三个自由度，即，使回旋部25绕中心轴沈回旋的移动(回旋移动)、使回旋部25向Y轴方向伸缩的Y轴移动(直线移动)、 及使回旋部25向Z轴方向上下移动的Z轴移动(铅垂方向的上下移动)。另外，X轴工作 台13具有使输送机械手12向X轴方向移动的X轴移动(平行移动)的一个自由度，因此， 晶片输送装置10具有四个自由度。其次，参照图3、图4及图5对安装于晶片输送装置10的、用于获取针对输送位置 (目标位置)的示教信息的传感器夹具及遮光夹具进行说明。图3是表示传感器夹具的一例的图，图3(a)是传感器夹具的示意立体图，图3 (b) 是传感器夹具的示意俯视图。另外，图4用于说明传感器夹具的安装状态的图，图4(a)是 表示传感器夹具的安装状态的示意立体图，图4(b)是表示传感器夹具的安装状态的示意 俯视图。另外，图5是表示遮光夹具的一例的图，图5 (a)是遮光夹具的示意立体图，图5(b) 是遮光销沿Y方向排列时的遮光夹具的示意俯视图，图5(c)是遮光销沿X方向排列时的遮 光夹具的示意俯视图，图5(d)是遮光销沿与Y方向成角度δ的线上排列时的遮光夹具的 示意俯视图。如图3所示，在传感器夹具30设有透射光式传感器32。另外，透射光式传感器32 具备投光部3 及32b和受光部32c及32d，将从未图示的透射光式传感器32的控制部经 由连接器34传递的电信号通过放大器33转换成光信号而向投光部3 及32b引导。另外， 来自受光部32c及32d的光信号通过放大器33转换成电信号，经由连接器34向透射光式 传感器32的控制部传递。透射光式传感器32的控制部与后述的图6所示的示教信息算出 部60连接，上述各电信号在透射光式传感器32的控制部与示教信息算出部60之间传递。另外，如图4所示，传感器夹具30以透射光式传感器32成为晶片输送部M的前 端部的方式把持设置于晶片输送部对。晶片输送部M构成为，在两个最前端部固定有输 送物止挡件(,- 7止力)J6b，且在基端侧设有能够沿Y方向前后移动的夹紧件27a、 27b，夹紧件27a、27b通过按压载置了的半导体晶片而能够一直对其进行定位。即，代替半 导体晶片，载置传感器夹具30、或遮光夹具50而在晶片输送部M上定位。另外，传感器夹具30具有与晶片输送部M的X方向的宽度大致相同的X方向的 宽度，形成有与晶片输送部M的前端的开口部大致相同的开口部35。另外，传感器夹具30 形成为能够使晶片输送部M与半导体晶片同样地把持传感器夹具30的形状。另外，透射光式传感器32的投光部3 及3 和受光部32c及32d以如下方式 配置于传感器夹具30，即，从投光部32a向受光部32c的光轴41和从投光部32b向受光部 32d的光轴42向与X-Y平面平行的面(以下称为投影面)投影的投影线段相互交叉，且光 轴41的投影线段与光轴42的投影线段均不是X轴方向及Y轴方向。另外，投光部3 及 32b和受光部32c及32d以如下方式配置于传感器夹具30，即，光轴41和光轴42向通过晶 片输送装置10的中心轴沈的￥轴方向的直线(Y轴)上的投影面投影的投影线段在Y轴 上交叉，光轴41的投影线段与光轴42的投影线段相对于该Y轴相互线对称。在此，对透射 光式传感器32的光轴41与光轴42在Y轴上交叉、且光轴41的投影线段和光轴42的投影 线段相对于该Y轴相互线对称的情况进行说明。需要说明的是，在此，投影面为X-Y平面，但也可以是X-Z平面，也可以是X-Z平 另外，上述晶片输送部M为利用输送物止挡件^a、26b及夹紧件27a、27b机械地20固定半导体晶片的机构，但可以为吸附半导体晶片而固定的机构，也可以为通过在该晶片 输送部M设置销或台阶而进行固定的机构等各种机构。即，利用晶片输送部M的对应的 半导体晶片的固定机构，代替半导体晶片，载置传感器夹具30、或遮光夹具50而在晶片输 送部对上定位。其次，对遮光夹具进行说明。如图5(a)所示，遮光夹具50具备两个圆柱状的遮光 销(目标部件)51及52。例如，作为输送位置，在设定有图1所示的装载口 11的情况下，遮 光夹具50设置于装载口 11。因此，对遮光夹具50的背面实施与晶片收纳容器150的背面同样的定位用的加 工，从而能够将遮光夹具50设置于装载口 11。此外，遮光销51及52相对于遮光夹具50的 基准位置的相对的位置、以及形状尺寸为已知。因此，通过遮光销51及52的中心的中心轴 (S轴)的方向为已知。即，如图5(d)所示，将遮光夹具50配置于输送位置(装载口 11) 时，通过遮光销51及52的中心的中心轴(S轴)与Y方向所成的角度δ为已知，遮光销51 及52相对于遮光夹具50的基准位置的位置以及遮光销51及52的形状尺寸为已知。此外，遮光夹具50配置成下述等情况时能够以更简单的计算执行补正处理，所述 情况例如图5 (b)所示，将遮光夹具50配置于输送位置(装载口 11)时，以通过遮光销51及 52的中心的中心轴(S轴)与晶片输送装置10的Y方向平行的方式配置遮光销51及52， 或如图5 (c)所示，以S轴与晶片输送装置10的X方向平行的方式配置遮光销51及52。因此，以下举例说明下述情况当将遮光夹具50配置于输送位置(装载口 11)时， 遮光夹具50以通过遮光销51及52中心的中心轴(S轴)与晶片输送装置10的Y方向大 致平行的方式配置。其次，参照图6说明实施自动示教的晶片输送装置10的控制机构。图6表示晶片 输送装置10的自动示教的控制机构的一例的块图。设于传感器夹具30的透射光式传感器 32经由未图示的控制部与示教信息算出部60连接。透射光式传感器32的控制部向图3所 示的放大器33供给电源，并且，从放大器33接收通过放大器33转换了的透射光式传感器 32的透射/遮光引起的接通/断开信号，将该接收信号发送到示教信息算出部60。S卩，透 射光式传感器32的控制部进行示教信息算出部60与透射光式传感器32之间的信号传送 的中继，具有CC-Link(注册商标)和UNI-WIRE(注册商标)所代表的传送系统中的I/O终 端的作用。作为示教信息算出部60与透射光式传感器32之间的信号传送之外的机构，例如 如图M所示，也可以构成为在传感器夹具30上搭载将通过放大器33转换了的电信号转换 为蓝牙等无线信号发射的无线信号发射机76、向放大器33及无线信号发射机76进行电源 供给的电池77。该情况下，在示教信息算出部60连接规定的接收机，由示教信息算出部60 接收从无线信号发射机76发射出的信号。通过这种结构，无需采用图3所示的连接器34 及透射光式传感器32的控制部。其结果是，在开始位置示教作业前，不必费时费力地将连 接器34连接到与示教信息算出部60连接的透射光式传感器32的控制部，从而仅通过将传 感器夹具30载置于晶片输送部M上就能够开始位置示教作业。如图6所示，示教信息算出部60将用于获取针对输送位置的示教信息的输送动作 信息向控制部70发送。控制部70根据接收到的输送动作信息来控制晶片输送装置10的 驱动部75，使晶片输送装置10移动，并且使设于晶片输送部M的传感器夹具30移动。21
示教信息算出部60根据通过该传感器夹具30的移动动作，由透射光式传感器32 获取的设于输送位置的遮光夹具50所进行的光轴41和光轴42的遮光及投光的时刻信息； 由控制部70获取的遮光及投光的时刻信息时的晶片输送装置10的X轴方向、Y轴方向、Z 轴方向的驱动信息，算出针对输送位置的示教信息。另外，控制部70根据通过示教信息算 出部60算出的示教信息控制半导体晶片的输送位置。另外，示教信息算出部60算出针对 以下补正的示教信息。(1)对晶片输送装置10的Z轴移动的补正(Z轴补正)针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的Z轴补正信息算出部61执 行。根据使输送机械手12向-Z轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中任一方的光轴相 对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Z轴方向的驱动信息算出遮光销51 的Z方向上端的中心位置，算出以使输送位置的Z方向的位置信息与晶片输送装置10的Z 轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息。需要说明的是，输送机械手12的动作 及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图9及图10的说明)。(2)对晶片输送装置10的θ轴移动的补正(θ轴补正)针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的θ轴补正信息算出部62 执行。根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中的任一方的光 轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，以及使输 送机械手12向X轴方向移动的同时，遮光了的光轴41或光轴42中的任一方的光轴相对于 遮光销51的投光开始时刻的晶片输送装置10的X轴方向的驱动信息，算出晶片输送装置 10的Y轴方向与Y方向的偏移角度。即，算出以使晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向 一致的方式进行补正的示教信息。在此，将晶片输送部M的旋转中心轴称为θ轴。需要 说明的是，针对输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图 11、图12及图13的说明)。(3)对晶片输送装置10的X轴移动的补正(X轴补正)针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的X轴补正信息算出部63执 行。根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的 遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出输送位置的X方向的位置信 息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量。即，算出以使输送位置的X方向的 位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息。需要 说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图14、 图15、图16、及图20的说明)。(4)对晶片输送装置10的Y轴移动的补正(Y轴补正)针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的Y轴补正信息算出部64执 行。根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的 遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出以使输送位置的Y方向的位 置信息与晶片输送装置10的Y轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息。需要 说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图21 及图22的说明)。(5)遮光夹具50的Y方向补正或X方向补正(S轴补正)
针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的S轴补正信息算出部65执 行。S轴为Y方向时，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同 时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的 驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度。即，算出以 使遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息。另外，S轴为X方向时，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+X轴方 向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的 X轴方向的驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的X方向的偏移角度。 即，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的X方向一致的方式进行补正的示教 fn息ο另外，S轴与Y方向及X方向不同时，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位 置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输 送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出根据设置上的遮光夹具50的S轴算出的Y方向与 输送位置的设计上的Y方向的偏移角度。即，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置的设 计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息。在此，如图5所示，由于以使S轴成为Y方向的方式设置遮光夹具，因此，算出以使 遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息。需要 说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图17、 图18及图19的说明)。其次，参照图7说明自动示教的示意处理步骤，参照图9至图21说明自动示教的 详细处理步骤。图7表示自动示教的示意处理步骤的一例的流程图。如图7所示，首先，在装载口 11设置遮光夹具50，在输送机械手12的晶片输送部 M设置传感器夹具30 (S100)。其次，根据使输送机械手12向-Z轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中任一方 的光轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Z轴方向的驱动信息，算出 遮光销51的Z方向上端的中心位置(SlOl)。其次，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中任一方 的光轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，以及 使输送机械手12向X轴方向移动的同时，遮光了的光轴41或光轴42中任一方的光轴相对 于遮光销51的投光开始时刻的晶片输送装置10的X轴方向的驱动信息，算出晶片输送装 置10的Y轴方向与Y方向的偏移角度(S102)。通过对算出的偏移角度进行补正，使晶片输 送装置10的Y轴方向与Y方向一致。其次，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮 光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出输送位置的X方 向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量(S103)。通过对算出的 X轴方向的偏移量进行补正，使输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方 向的位置信息一致。其次，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信 息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度(S104)。通过对算出 的偏移角度进行补正，使遮光夹具50的S轴与输送位置在设计上的Y方向一致。此外，如图5所示，由于以S轴为Y方向的方式设置遮光夹具，因此，算出以使遮光 夹具50的S轴与输送位置设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息，但在以S轴为 X方向的方式设置遮光夹具的情况下，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+X 轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10 的X轴方向的驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的X方向的偏移角度。 另外，以S轴与Y方向及X方向不同的方式设置遮光夹具的情况下，根据使输送机械手12 从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮 光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出根据设置上的遮光夹具50的 S轴算出的Y方向与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度。其次，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮 光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，与步骤S103相同地算 出由步骤S104的补正生成的输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向 的位置信息的偏移量(Sl(^)。通过对算出的X轴方向的偏移量进行补正，使输送位置的X 方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息一致。最后，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮 光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出以使输送位置的Y 方向的位置信息与晶片输送装置10的Y轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信 息(S106)。其次，参照图9及图10说明图7的Z轴补正处理(SlOl)的详细情况。图9表示Z 轴补正处理(SlOl)的处理步骤的一例的流程图。图10是用于说明输送机械手12的初始 位置的一例的图，图10(a)是示意俯视图，图10(b)是示意侧视图。如图9所示，首先，使输送机械手12移动至预先设定的初始位置(S201)。如图10 所示，X轴方向及Z轴方向的初始位置是使输送机械手12向+Y轴方向移动时，利用遮光销 51对光轴41及光轴42进行遮光的预想的位置。进而，是遮光销51以外的遮光夹具50或 周边部件与输送机械手12以及传感器夹具30不接触的位置。其次，使输送机械手12从初始位置向+Y轴方向移动直至光轴41通过遮光销 51(S202)。其次，在步骤S202的移动中，根据光轴41相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶 片输送装置10的Y轴方向的驱动信息和遮光销51的形状尺寸，算出遮光销51的Y轴方向 的中心位置(位置A) (S203)。其次，以光轴41通过位置A的方式，使输送机械手12向-Y轴方向移动(S204)，进 而，使输送机械手12向+Z轴方向移动直至光轴41成为投光状态(S205)。其次，在步骤S205中，向-Z轴方向移动向+Z轴方向移动的距离(S206)，根据光 轴41相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Z轴方向的驱动信息和遮光 销51的形状尺寸，算出遮光销51的Z轴方向的上端位置(位置B)，算出以使输送位置的Z 方向的位置信息与晶片输送装置10的Z轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息(S207)。其次，参照图11至图13详细说明图7的θ轴补正处理(S102)。图11是表示θ 轴补正处理(S102)的处理步骤的一例的流程图。图12是用于说明输送机械手12的动作 的一例的图。另外，图13是用于说明θ轴补正的示教信息的算出方法的图。如图11所示，首先，使输送机械手12从位置B向-Z轴方向移动，直至根据图9的 步骤S207的位置B算出的、遮光销51能够对光轴41进行遮光的Z轴方向的位置(S301)。 此时，确认遮光销51对光轴41进行遮光。其次，使输送机械手12向-Y轴方向移动直至光轴41投光的位置(S302)，其次， 使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置 C) (S303)。S卩，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图12中(状态1)的位置C。其次，使输送机械手12从位置C向+X轴方向移动直至光轴41的投光开始的位置 (位置D)(S304)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图12中(状态2)的位置D。其次，根据位置C和位置D，算出晶片输送装置10的Y轴方向与晶片输送装置10 的设计上的Y方向的偏移角度β (S305)。以下，说明偏移角度β的算出方法。如图13(a)所示，将与晶片输送装置10的Y 轴方向成直角且通过光轴41与光轴42的交点0的线段、即X轴方向的线段设为线段60，将 通过交点0的Y轴方向的线段设为线段61。将光轴41和光轴42分别与线段60所成的角 称为光轴角度，在此，设为α。如图13(b)所示，以位置C处的光轴41为光轴41c，以位置D处的光轴41为光轴 41d。另外，以位置C处的光轴42为光轴42c，以位置D处的光轴42为光轴42d。另外，以 位置C处的线段60为线段60c，以位置D处的线段60为线段60d。另外，以位置C处的线 段61为线段61c，以位置D处的线段61为线段61d。另外，晶片输送装置10的Y轴方向与 Y方向的偏移角度为β。如图13(b)及图13(c)所示，从位置C向位置D移动晶片输送装置10时所成的三 角形63满足下述关系式(1)。sin(a + β ) = d/a.....(1)在此，a是从位置C向位置D的向X轴方向的移动量，d是遮光销51的直径。根据关系式(1)，由下述关系式(2)表示偏移角度β。β = sirT1 (d/a)-α.....(2)使用关系式O)，在上述步骤S305，算出晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向的 偏移角度β。其次，参照图14至图16详细说明图7的一次X轴补正处理(S103)。图14是表示 一次X轴补正处理(Sl(XB)的处理步骤的一例的流程图。图15是用于说明输送机械手12 的动作的一例的图。另外，图16是用于说明X轴补正的示教信息的算出方法的图。如图14所示，首先，使根据θ轴补正处理的结果补正后的输送机械手12从位置B 向-Z轴方向移动直至根据图9的步骤S207的位置B算出的、遮光销51能够对光轴41进 行遮光的Z轴方向的位置(S401)。此时，确认遮光销51对光轴41进行遮光。其次，使输送机械手12向-Y轴方向移动直至光轴41投光的位置(S402)，其次， 使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置C)(S403)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动至图15中(状态1)的位置C。其次，使输送机械手12从位置C向+Y轴方向移动至光轴42相对于遮光销51的 遮光开始的位置(位置E) (S404)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图15中(状 态2)的位置E。其次，根据位置C和位置E，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10 的X轴方向的位置信息的偏移量X(S405)。以下，说明X方向的偏移量χ的算出方法。如图16(a)所示，以相对于晶片输送装 置10的Y轴方向成直角且通过光轴41与光轴42的交点0的线段、即X轴方向的线段为线 段60，以通过交点0的Y轴方向的线段为线段61。将光轴41与光轴42分别与线段60所 成的角度称为光轴角度，在此设为α。如图16(b)所示，以位置C处的光轴41为光轴41c，以位置E处的光轴41为光轴 41e。另外，以位置C处的光轴42为光轴42c，以位置E处的光轴42为光轴42e。另外，以 位置C处的线段60为线段60c，以位置E处的线段60为线段60e。另外，以位置C处的线 段61为线段61c，以位置E处的线段61为线段61e。在此，线段61c与线段61e—致。另 外，将晶片输送装置10的Y轴方向与输送位置的Y方向在设计上的角度设为Θ。此外，在 本实施例中，θ =O0另外，输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向 的位置信息的偏移量为X。如图16(b)及图16(c)所示，从位置C向位置E移动晶片输送装置10时所成的三 角形64满足下述关系式(3)及关系式(4)。tana = (y/2)/x'.....(3)cos θ = χ' /χ.....(4)在此，y是从位置C向位置E的向Y轴方向的移动量。根据关系式(3)及关系式，偏移量χ由下述关系式(5)表示。χ = y/(2tana · cos θ ).....(5)使用关系式(5)，在上述步骤S405中，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输 送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量X。此外，在本实施例中，由于Θ =0，因此，使 用下述关系式(5')，在上述步骤S405，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置 10的X轴方向的位置信息的偏移量X。χ = y/(2tana ).....(5')其次，参照图17至图19，详细说明图7的S轴补正处理(S104)。图17是表示S 轴补正处理(S104)的处理步骤的一例的流程图。图18是用于说明输送机械手12的动作 的一例的图。另外，图19用于说明S轴补正的示教信息的算出方法的图。如图17所示，首先，通过根据θ轴补正处理及一次X轴补正处理的结果补正后的 输送机械手12以光轴41及光轴42的交点0成为遮光销51的中心位置的方式移动(S501)。其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销52的遮光开 始的位置(位置F)(S502)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图18中(状态1) 的位置F。其次，使输送机械手12从位置F向+Y轴方向移动直至光轴42相对于遮光销52 的遮光开始的位置(位置G) (S503)。S卩，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图18中(状态2)的位置G。其次，根据位置F和位置G，算出遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置 的设计上的Y方向的偏移角度Y (S504)。以下，说明偏移角度Y的算出方法。如图19(a)所示，以与晶片输送装置10的Y 轴方向成直角且通过光轴41与光轴42的交点0的线段、即X轴方向的线段为线段60，以通 过交点0的Y轴方向的线段为线段61。将光轴41与光轴42分别与线段60所成的角度称 为光轴角度，在此设为α。如图19(b)所示，以位置F处的光轴41为光轴41f，以位置G处的光轴41为光轴 41g。另外，以位置F处的光轴42为光轴42f，以位置G处的光轴42为光轴42g。另外，以 位置F处的线段60为线段60f，以位置G处的线段60为线段60g。另外，以位置F处的线 段61为线段61f，以位置G处的线段61为线段61g。在此，线段61f与线段61g—致。另 外，将晶片输送装置10的Y轴方向与输送位置的Y方向在设计上的角度设为Θ。此外，在 本实施例中，θ =O0另外，将遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置的设计上的 Y方向的偏移角度设为Y。如图19(b)及图19(c)所示，从位置F向位置G移动晶片输送装置10时所成的三 角形65满足下述关系式(6)。siny = x" /b.....(6)在此，b为遮光销51的中心与遮光销52的中心之间的距离。另外，根据关系式(5)，用下述关系式(7)表示χ"。χ" = y' /(2tana · cos θ ).....(7)在此，y'为从位置F向位置G的向Y轴方向的移动量。从而，根据关系式(6)及关系式(7)，偏移角度、由下述关系式(8)表示。y = singly' / (2b · tan a · cos θ )}.....(8)使用关系式(8)，在上述步骤S504中，算出遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与 输送位置的设计上的Y方向的偏移角度Y。此外，本实施例中，由于θ =0，因此，使用下 述关系式(8')，在上述步骤S504，算出遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置的 设计上的Y方向的偏移角度Y。y = singly' / (2b · tan a )}.....(8')其次，参照图20详细说明图7的二次X轴补正处理(S105)。图20是表示二次X 轴补正处理610 的处理步骤的一例的流程图。此外，二次X轴补正处理610 与一次X 轴补正处理(S103)相同。一次X轴补正处理中，根据光轴41及光轴42被遮光销51遮光 的位置算出偏移量，在二次X轴补正处理中，根据光轴41及光轴42被遮光销52遮光的位置算出偏移量。如图20所示，首先，使根据θ轴补正处理、一次X轴补正处理及S轴补正处理的 结果补正后的输送机械手12从图17的步骤S502的位置F向-Y轴方向移动(S601)，其次， 使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销52的遮光开始的位置(位置 H)(S602)。其次，使输送机械手12从位置H向+Y轴方向移动直至光轴42相对于遮光销52 的遮光开始的位置(位置I) (S603)。
其次，根据位置H和位置I，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10 的X轴方向的位置信息的偏移量(S604)。其次，参照图21及图22详细说明图7的Y轴补正处理(S106)。图21是表示Y轴 补正处理(S106)的处理步骤的一例的流程图。图22是表示用于说明输送机械手12的动 作的一例的图。如图21所示，首先，使根据θ轴补正处理、一次X轴补正处理、S轴补正处理及二 次X轴补正处理的结果补正后的输送机械手12从图17的步骤S502的位置F向-Y轴方向 移动(S701)。即，使输送机械手12从位置F向-Y轴方向移动直至图22中(状态1)的位置。其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销51的遮光开 始的位置(位置J) 670 。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图22中(状态2) 的位置J。其次，使输送机械手12从位置J向+Y轴方向移动直至光轴42相对于遮光销51 的遮光开始的位置(位置K) (S703)。在此，设于输送机械手12的传感器夹具30如图3所 示，在投影面上光轴41的投影线段与光轴42的投影线段相对于Y轴线对称，并且，对输送 机械手12实施了基于θ轴补正处理、一次X轴补正处理、S轴补正处理及二次X轴补正处 理的补正，因此，位置J与位置K大致相同，位置J与位置K的差成为误差。其次，为了考虑位置J与位置K所引起的透射光式传感器32的误差，将位置J与 位置K的中间位置作为Y轴方向位置算出，算出以使输送位置的Y方向的位置信息与晶片 输送装置10的Y轴的位置信息一致的方式进行补正的示教信息(S704)。在如上述的晶片输送装置10设置传感器夹具30，在输送位置设置遮光夹具50，通 过进行通常的输送动作，即在不进行用于示教作业的回避动作的情况下，能够获取输送位 置的示教信息。从而，能够在不考虑晶片输送装置10的各轴间隙的情况下算出示教信息。 即，能够容易地进行示教信息的算出，并且，能够缩短算出时间。在上述的晶片输送装置10及位置示教方法中，考虑了设于输送位置的遮光夹具 50的S轴与Y方向的偏移角度Y，但遮光夹具50的设置所引起的偏移角度γ小的情况下， 可以构成为不设置S轴补正信息算出部65的、不执行S轴补正处理S104的结构。另外，此 时，设于遮光夹具50的遮光销也可以为一个。另外，在上述晶片输送装置10及位置示教方法中，在晶片输送装置10设置传感器 夹具30，在输送位置设置遮光夹具50，但可以在晶片输送装置10设置遮光夹具50，在输送 位置设置传感器夹具30。另外，传感器夹具30的透射光式传感器32的光轴41的投影线段与光轴42的投 影线段在通过晶片输送装置10的中心轴沈的投影面上的Y方向的直线(Y轴)上交叉，光 轴41的投影线段与光轴42的投影线段相对于该Y轴相互线对称，在传感器夹具30配置投 光部3 及32b和受光部32c及32d，但如图23 (a)所示，也可以为光轴41的投影线段与光 轴42的投影线段在投影面上相互交叉，光轴41的投影线段与Y轴成直角且光轴42与Y轴 不平行的情况。另外，如图23 (b)所示，也可以为光轴41的投影线段与光轴42的投影线段在投影 面上相互交叉，光轴42的投影线段相对于Y轴成直角，且光轴41的投影线段与Y轴不平行28的情况。另外，如图23(c)及图23(d)所示，也可以为光轴41的投影线段的延长线与光轴 42的投影线段的延长线在投影面上相互交叉，光轴41的投影线段与Y轴成直角且光轴42 的投影线段与Y轴不平行的情况。另外，如图23(e)所示，也可以为透射光式传感器32的 投光部3 及32b与受光部32c中，从投光部32a向受光部32c的光轴41与从投光部32b 向受光部32c的光轴42位于投影面上的情况。另外，传感器夹具30的透射光式传感器32 为具有两个光轴的情况，但如图23(f)所示，也可以为通过透射光式传感器32的投光部32a 和受光部32c，仅具有从投光部32a向受光部32c的光轴41的情况。另外，在上述位置示教方法中，将遮光夹具50配置在输送位置，但也可以代替遮 光夹具50，为在输送位置的附近已经存在的、与输送位置的基准位置的相对位置及形状尺 寸已知的部件。另外，执行示教作业时，输送位置周围的移动区间区域窄，在晶片输送装置10以 及传感器夹具30可能与输送位置周围的设备或部件接触的环境下，可以如图8所示，使用 遮光夹具阳代替遮光夹具50。遮光夹具55具有与遮光夹具50 —体化的向与传感器夹具30对置的方向(_Y方 向)突出的形状的凸部56，具备圆柱状的临时遮光销(临时目标部件)57及58。此外，临时 遮光销57及58相对于遮光夹具50的基准位置的相对的位置、及形状尺寸为已知。另外， 凸部56在Y方向上的长度形成为使得临时遮光销57及58配置在晶片输送装置10以及传 感器夹具30与输送位置周围的设备和部件不接触的位置上。在上述的晶片输送装置10及位置示教方法使用遮光夹具55的情况下，在Z轴补 正处理、θ轴补正处理及一次X轴补正处理中，使用临时遮光销57及58代替遮光销51及 52算出示教信息。另外，在S轴补正处理、二次X轴补正处理及Y轴补正处理中，与使用遮 光夹具50时相同地使用遮光销51及52算出示教信息。通过如上所述的在晶片输送装置10设置传感器夹具30，在输送位置设置遮光夹 具55，进行通常的输送动作，使得当输送位置周围的空间区域窄，为了获取针对输送位置的 示教信息而使晶片输送装置10动作时，在可能会引起输送位置周围的设备或部件与晶片 输送装置10或传感器夹具30接触的情况下，能够防止输送位置周围的设备或部件与晶片 输送装置10或传感器夹具30接触，同时获取针对输送位置的示教信息。
权利要求
1.一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，所述输送装置具备透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部设置所述目标部件。
2.根据权利要求l所述的输送装置，其特征在于，所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
4.根据权利要求l一3中任一项所述的输送装置，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述示教信息算出机构包括Z轴补正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；O轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；Y轴补正信息算出部，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴不交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的 所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
5.根据权利要求4所述的输送装置，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件 为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述示教信息算出机构具有S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此 不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的 所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、 而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所 述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情 况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方 向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息， 算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼 此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，该S轴补正信息算出机 构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件 相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算 出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。
6.一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨 迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面 上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于 Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，所述输送装置具备透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的 情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影 面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行 的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；一个以上的临时补正目标部件，其相对于能够对所述光轴进行遮蔽的所述目标部件的 相对位置为已知；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件及所述临时补正目标 部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息 算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信 息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，所 述目标部件及所述临时补正目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部 的前端部或所述目标位置的附近部，且所述临时补正目标部件设置在所述透射光式传感器 与所述目标部件之间。
7.根据权利要求6所述的输送装置，其特征在于，所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方 向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
8.根据权利要求7所述的输送装置，其特征在于，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
9.根据权利要求6 8中任一项所述的输送装置，其特征在于， 以所述输送部的直行方向为R方向，所述示教信息算出机构包括Z轴补正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相 对地移动、而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述 目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由所述临时补正目 标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该临时补正目标 部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角 度进行补正的所述示教信息；一次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方 向相对于所述临时补正目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位 置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；Y轴补正信息算出部，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对 于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别 遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴不交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的 所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
10.根据权利要求9所述的输送装置，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件 为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件， 所述示教信息算出机构包括S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S 轴为Y方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部 件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各 所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所 述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，该S轴补正信息算出机 构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件 相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角 度进行补正的所述示教信息；二次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况下，该二次X轴补正信息算出 机构根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴 分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教 信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不 同的情况下，该二次X轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述 位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正 的所述示教信息。
11.一种位置示教方法，该位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位 置，所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹 上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上 进行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于 Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，所述位置示教方法包括如下工序(a)通过使透射光式传感器相对于设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部 的前端部或所述目标位置的附近部的一个以上的目标部件相对地移动，而获取所述目标部 件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位 置信息算出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的 前端部或所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具 有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两 个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所 需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部。
12.根据权利要求11所述的位置示教方法，其特征在于，所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方 向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
13.根据权利要求12所述的位置示教方法，其特征在于，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
14.根据权利要求11 13中任一项所述的位置示教方法，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述工序(a)包括下述四个工序中的至少一个工序(b)根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由该目标部件 对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所 述示教信息；(c)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮 光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件相对地平行移动直至该光轴投 光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(d)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部 件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位 置进行X方向的位置补正的所述示教信息；(e)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部 件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位 置信息，或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息， 算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
15.根据权利要求11 14中任一项所述的位置示教方法，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件 为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述下序(a)包括下述两个工序中的至少一个工序(f)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下， 根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相 对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度 进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴 为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所 述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴 与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的 所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一 目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光 时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角 度进行补正的所述示教信息；(g)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部 件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位 置进行X方向的位置补正的所述示教信息。
16.一种位置示教方法，该位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位 置，所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹 上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上 进行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于 Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，所述位置示教方法包括如下工序(al)通过使透射光式传感器相对于一个以上的目标部件以及一个以上的临时补正目 标部件相对地移动，而获取所述目标部件及所述临时补正目标部件使所述光轴从投光状态 遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算出针对所述目标 位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的 附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下， 以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼 此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式 配置所述投光部和所述受光部，一个以上的所述目标部件设置在没有设置所述透射光式传 感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，一个以上的所述临时目标部件设置 在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部并设置 在所述透射光式传感器与所述目标部件之间，且相对于所述目标部件的相对位置为已知。
17.根据权利要求16所述的位置示教方法，其特征在于，所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方 向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
18.根据权利要求17所述的位置示教方法，其特征在于，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
19.根据权利要求16 18中任一项所述的位置示教方法，其特征在于， 以所述输送部的直行方向为R方向，所述工序(al)包括下述四个工序中的至少一个工序(bl)根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、而由该临时 补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的 位置补正的所述示教信息；(cl)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由所述临时补正目标部件对一个所述 光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该临时补正目标部件相对地平行移 动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述 示教信息；(dl)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于所述临时补正目 标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目 标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；(el)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部 件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位 置信息、或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息， 算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
20.根据权利要求16 19中任一项所述的位置示教方法，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件 为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件， 所述工序(al)包括下述两个工序中的至少一个工序(Π)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况 下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件 相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移 角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述 S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对 于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S 轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行 的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第 一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮 光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移 角度进行补正的所述示教信息；(gl)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部 件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位 置进行X方向的位置补正的所述示教信息。
21.—种传感器夹具，其通过与目标部件相对地平行移动而检测所述目标部件，所述传 感器夹具的特征在于，至少具有一个从透射光式传感器的投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情 况下，以使所述光轴在同一投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴 相对于投影到所述投影面上的向所述目标部件的相对的移动方向及与所述移动方向成直 角的方向不平行的方式配置所述投光部和所述受光部。
22. 一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送 轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平 面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，具备权利要求21所述的传感器夹具，根据利用所述传感器夹具的所述透射光式传感 器获取的、所述目标部件使所述光轴从投光成为遮光时或从遮光成为投光时的位置信息， 算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息。
全文摘要
本发明提供一种通过进行通常的输送动作而能够获取输送位置的示教信息的、通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。在传感器夹具(30)将透射光式传感器(32)设置为使光轴(41)和光轴(42)向投影面投影的投影线段相互交叉，且光轴(41)的投影线段与光轴(42)的投影线段均不沿X方向及Y方向。在位置示教时，将该传感器夹具(30)把持设置在晶片输送部(24)而检测目标部件(51、52)。
文档编号H01L21/677GK102046338SQ20098011909
公开日2011年5月4日 申请日期2009年5月19日 优先权日2008年5月27日
发明者广田健二 申请人:日商乐华股份有限公司