叉指状电极的制作方法

文档序号:6945803阅读:789来源:国知局
专利名称:叉指状电极的制作方法
技术领域
本发明涉及一种叉指状电极,特别是应用于压电材料上的叉指状电极。
背景技术
压电材料是一种能够将机械能和电能相互转换的材料。若对材料施加一定的应力 会使其产生变形,从而引起材料表面带电;反之,若对材料施加电场,材料也将产生机械变 形。压电材料包括压电陶瓷、压电单晶、压电高分子材料以及压电材料与树脂形成的复合材 料等。在许多压电材料尤其是压电纤维复合材料中采用了叉指状电极。叉指状电极为很好 的利用压电材料的d33性能提供了途径。如图1所示,目前的叉指状电极由柔性基板和制 备在柔性基板上的正极指部和负极指部交错排列的电极(通常为铜)组成。当需要对压电 材料的主体不同区域的变形进行控制或者接收其不同区域的变形信号时,需将一定数量的 叉指状电极排列在一起分别通电进行控制或者分别接收变形信号。柔性基板对电极材料起 支撑和绝缘作用,因此在叉指状电极的电极的周边都会留出柔性基板的区域。在这些区域 无电极存在,因此会造成控制的不连续或者不能连续接收变形信号。

发明内容
本发明的目的是提供一种可以在纵向实现对压电材料连续控制或者接收其变形 信号的叉指状电极。为达到上述目的,本发明包括柔性基板和电极,电极材料制备在柔性基板上,电极 包含正极和负极,并且正极指部和负极指部交错排列,所述电极由至少两个正极纵向排列 而成。作为本发明的改进,所述电极材料的正极的根部互相平行且接线端设于柔性基板 的纵向端部。所述柔性基板为聚酰亚胺薄膜材料或者聚酯薄膜材料。由于本发明的叉指状电极是在一块柔性基板上纵向排列了至少两个正极,这样相 当于将至少两个叉指状电极纵向排列,然而却没有相邻两个电极间的柔性基板区域。从而 可实现对压电材料的纵向连续控制或者接收其变形信号,大大提高应用压电材料的精度。 此外,本发明还具有结构简单,制作成本低廉,环保节能和使用方便的有益效果。


图1是现有技术的叉指状电极的示意图;图2是本发明的叉指状电极一种具体实施方式
的示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的叉指状电极作进一步说明。图1是现有技术的叉指状电极的示意图,叉指状电极由柔性基板1和电极构成,电极材料制备在柔性基板1上,电极包含正极和负极,并且正极指部2和负极指部3交错排 列。在叉指状电极的电极的周边都会留出柔性基板1的区域。在这些区域由于无电极材料, 因此叉指状电极与压电材料之间并不产生实际的作用。当需将一定数量的叉指状电极排列 在一起分别通电控制压电材料的变形或者分别接收压电材料的变形信号时,相邻两个叉指 状电极之间的柔性基板1会造成控制的不连续或者不能接收变形信号。如图2所示,本发明的叉指状电极包括柔性基板11和电极,电极制备在柔性基板 11上,电极包含正极和负极,并且正极指部12和负极指部13交错排列,电极由四个正极纵 向排列而成,每个正极分别控制。由于本发明的叉指状电极是在一块柔性基板上纵向排列 了四个正极,这样相当于将四个现有技术的叉指状电极纵向排列,然而却没有相邻两个电 极间的柔性基板区域。从而可实现对压电材料的纵向四个区域连续控制或者接收其变形信 号,大大提高应用压电材料的精度。所述电极材料的正极的根部14相互平行且接线端15 设于柔性基板的纵向端部,可使得本发明的叉指状电极接线方便,易于对每对正负极分别 控制或者接收压电材料的变形信号。此外,还具有结构简单,制作成本低廉,环保节能和使 用方便的有益效果。本发明的柔性基板可采用聚酰亚胺薄膜材料或者聚酯薄膜材料,电极 材料采用铜。本发明不限于附图2中所示的有四个纵向排列的正极的叉指状电极,只要是在同 一块柔性基板上纵向排列两个或者两个以上正极的叉指状电极,都在本发明保护范围之 内。
权利要求
一种叉指状电极,包括柔性基板和电极,电极制备在柔性基板上,电极包含正极和负极,并且正极指部和负极指部交错排列,其特征在于,所述电极由至少两个正极纵向排列而成。
2.根据权利要求1的叉指状电极,其特征在于,所述电极的正极的根部互相平行且接 线端设于柔性基板的纵向端部。
3.根据权利要求1或者2的叉指状电极,其特征在于,所述柔性基板为聚酰亚胺薄膜材 料或者聚酯薄膜材料。
全文摘要
本发明公开了一种叉指状电极,包括柔性基板和电极材料,电极材料制备在柔性基板中,电极材料包含正极和负极,并且正极指部和负极指部交错排列,所述电极材料由至少两个正极纵向排列而成。可实现对压电材料的纵向连续控制或者接收其变形信号,大大提高应用压电材料的精度。此外,本发明还具有结构简单,制作成本低廉,环保节能和使用方便的有益效果。
文档编号H01L41/047GK101867013SQ201010187088
公开日2010年10月20日 申请日期2010年5月31日 优先权日2010年5月31日
发明者危安, 周科朝, 张斗, 张晓泳, 林秀娟 申请人:中南大学
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