专利名称：输送设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及设有将具备被保持机构保持的被保持部的物品以其被保持部位于上述物品的前后方向的中央部的输送用姿势沿着输送路径输送的输送装置的输送设备。
背景技术：
该输送设备是用输送装置将物品沿着输送路径输送的设备，通过以被保持部位于物品的前后方向的中央部的输送用姿势输送物品，当将被输送的物品的被保持部用保持机构保持吋，能够将该物品以前后方向上的平衡良好的状态保持。并且，以往，作为输送将基板收纳多片而在エ厂内输送的FOUP(前开门标准夹、Front Opening Unified Pod)的物品， 有将该物品以其前后方向沿着输送方向的姿势用输送装置输送的结构(例如參照专利文献 1)。该专利文献1中记载的输送设备是用输送装置输送FOUP的设备，但有使这样的输送装置混合输送FOSB (前开门搬运盒、Front Opening Shipping Box)的情況。FOSB与 FOUP同样是收纳多片基板的，但并没有如FOUP那样通过规格而标准化，在FOSB中，输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度(即距离)比FOUP的该长度长的情况较多，作为被输送装置输送的F0SB，有仅使用输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度比FOUP的该长度长的结构的情況。并且，在将FOUP和FOSB用输送装置输送等、将输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品输送的情况下，需要判别由输送装置输送的多种物品的种类。S卩，例如在专利文献1中记载的输送装置中，通过位置检测机构检测被输送到停止准备位置的FOUP的前端部，在由该位置检测机构检测到FOUP的前端部之后马上使输送装置的动作停止，使FOUP停止在停止位置上。在使该输送装置输送FOSB的情况下，如果在由位置检测机构检测到FOSB的前端部之后马上使输送装置的动作停止，则FOSB的前端部停止在与FOUP的前端部相同的位置上。如果这样使FOSB停止以使其前端部为与FOUP的前端部相同的位置，则FOSB的被保持部的位置相对于FOUP的被保持部的位置向输送上游侧偏差输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度比FOUP长的量。即使想要将这样偏差的FOSB的被保持部用保持机构保持，也有可能不能用保持机构恰当地保持FOSB的被保持部。所以，在使FOSB停止的情况下，可以考虑在前端部被位置检测机构检测到起经过设定时间后使输送装置的动作停止、使FOSB的被保持部的位置停止在与FOUP 的被保持部相同的位置，但在这样的情况下，需要在使FOUP或FOSB停止之前判别被输送装置输送的物品是FOUP还是FOSB。并且，作为判别输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品的种类的装置，有以安装有盖的FOUP和拆下了盖的FOSB作为输送的多种物品、通过盖检测机构的检测信息、将安装有盖的物品判断是F0UP、将拆下了盖的物品判断是 FOSB这样判别多种物品的装置(例如參照专利文献2)。专利文献1 特开平06 — 156676号公报专利文献2 特开2005 — 347576号公报
在专利文献2中，记载有判別作为多种物品的FOUP和FOSB的装置，在专利文献2中记载的装置中，将安装有盖的FOUP和拆下了盖的FOSB用盖检测机构检测盖的存在与否，判別 FOUP和FOSB，在FOUP的情况下，将其盖用FOUP开启器拆下，在FOSB的情况下，由于通过手工作业事前拆下了盖，所以不通过FOUP开启器将盖拆下。但是，在用输送装置输送FOUP及 FOSB的情况下一般安装着盖，在这样在FOUP和FOSB的两者上安装有盖的情况下，通过专利文献2中记载的装置不能判別FOUP和F0SB。由此，在专利文献2中记载的装置中，在将输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品用输送装置输送的情况下，不能判別该多种物品的种类。顺便说一下，作为判别输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧端部的长度不同的多种物品的结构，也可以考虑将在上表面上具备当被顶棚输送车等悬挂支承时被把持的凸缘部的FOUP和不具备凸缘部的FOSB用输送装置输送、将具备凸缘部的物品判断是 FOUP、将不具备凸缘部的物品判断是FOSB这样判別FOUP和FOSB。但是，也存在具备凸缘部的F0SB，在使这样的具备凸缘部的FOSB与FOUP混合用输送装置输送的情况下，不能判別 FOUP 禾ロ FOSB。
发明内容
本发明是鉴于上述实际状况而做出的，其目的是提供ー种在将输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品用输送装置输送的情况下、能够判別该多种物品的种类的输送设备。有关本发明的输送设备，是设有将具备由保持机构保持的被保持部的物品以该被保持部位于上述物品的前后方向的中央部的输送用姿势沿着输送路径输送的输送装置的输送设备，上述输送装置构成为，输送上述输送用姿势下的从上述被保持部到上述前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品；设有物品检测机构，检测上述被保持部位于预先设定的被保持部用设定位置、位于物品用设定位置的上述物品；端部检测机构，检测由上述物品检测机构检测到的物品的上述前后方向的一侧的端部；判别机构，基于上述物品检测机构的检测信息和上述端部检测机构的检测信息，判別物品的种类。S卩，物品用设定位置以位于被保持部用设定位置的被保持部为基准決定，所以位于物品用设定位置的物品的被保持部不论物品的种类如何都位于相同的被保持部用位置。 此外，由于根据物品的种类而从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同，所以位于物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部的位置根据物品的种类而不同。由此，随着被输送装置输送到物品用设定位置的物品被物品检测机构检测到，通过由端部检测机构检测由该物品检测机构检测到的物品的前后方向的一侧的端部，判别机构能够根据端部检测机构的检测信息判別由物品检测机构检测到的物品的种类。因而，实现了能够提供一种在将输送用姿势下的从被保持部到前后方向的ー侧的端部的长度不同的多种物品用输送装置输送的情况下、能够判别该多种物品的种类的输送设备。在有关本发明的输送设备的实施方式中，优选的是，上述端部检测机构构成为，检测位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部的位置；上述判别机构构成为，基于上述物品检测机构的检测信息和上述端部检测机构的检测信息判別物品的种类，以基于位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部的位置判別物品的种类。S卩，构成为，将位于物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部的位置用端部检测机构检測，所以与例如构成为从物品用设定位置输送物品、将位于比物品用设定位置靠输送下游侧的物品的前后方向的ー侧的端部的位置用端部检测机构检测的情况相比， 能够早不需要从物品用设定位置向输送下游侧输送物品的量而由端部检测机构检测到物品的前后方向的一侧的端部，能够缩短从由物品检测机构检测物品到由判別机构判别物品的种类的时间。在有关本发明的输送设备的实施方式中，优选的是，上述输送装置构成为，作为上述多种物品，输送第1物品、和上述输送用姿势下的从上述被保持部到上述前后方向的一侧的端部的长度比上述第1物品的上述输送用姿势下的从上述被保持部到上述前后方向的一侧的端部的长度长的第2物品；上述端部检测机构构成为，检测是否位于上述物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部存在于比位于上述物品用设定位置的上述第1 物品的上述前后方向的ー侧的端部靠上述前后方向的ー侧；上述判别机构构成为，基于上述物品检测机构的检测信息和上述端部检测机构的检测信息，当位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部没有被上述端部检测机构检测到时将上述物品判別为第1物品，当位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部被上述端部检测机构检测到时将上述物品判别为第2物品。即，设有端部检测机构，以使其检测是否位于物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部存在于比位于物品用设定位置的第1物品的前后方向的一侧的端部靠前后方向的ー侧。由此，在位于物品用设定位置的物品是第1物品的情况下，没有由端部检测机构检测到物品的端部，所以判别机构当没有由端部检测机构检测到位于物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部时能够将该物品判别为第1物品。此外，在位于物品用设定位置的物品是第2物品的情况下，由端部检测机构检测到物品的端部，所以判别机构当位于物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部被端部检测机构检测到时能够将该物品判别为第2物品。由此，为了判別第1物品、和输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度比第1物品的该长度长的第2物品的两种物品的种类，作为端部检测机构，仅设置检测是否位于物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部存在于比位于物品用设定位置的第1物品的前后方向的一侧的端部靠前后方向的一侧的传感器就足够，并且，由于能够根据数量较少的传感器的检测信息以简单的逻辑判別物品的种类，所以能够使判別机构的结构也较简单，能够使输送设备的结构变得简单。在有关本发明的输送设备的实施方式中，优选的是，上述输送装置构成为，作为上述多种物品，输送收纳多片基板而在エ厂内输送的F0UP、和收纳多片基板而在エ厂间输送的FOSB ；在上述多种物品的各自上，作为上述被保持部，在下表面上具备用来在被上述保持机构载置支承的状态下卡合到上述保持机构所具备的卡合销上而将物品定位在规定的位置上的定位部；上述FOSB的从上述前后方向的一侧的端部到上述定位部的长度设定得比上述FOUP的从上述前后方向的一侧的端部到上述定位部的长度长。
S卩，将基板收纳多片而在エ厂内输送的FOUP和将基板收纳多片而在エ厂内输送的FOSB都是收纳有多片基板而输送的，形成为同样的形状，但FOUP通过规格而标准化，相对于此，FOSB没有通过规格标准化，由此，FOUP和FOSB没有形成为完全相同的形状。在FOSB 中，输送用姿势下的从作为被保持部的定位部到前后方向的一侧的端部的长度比FOUP的该长度长的情况较多，有作为由输送装置输送的FOSB仅使用输送用姿势下的从定位部到前后方向一侧的端部的长度比FOUP的该长度长的结构的情況。所以，着眼于该FOUP与FOSB的输送用姿势下的从定位部到前后方向的一侧的端部的长度的差异，通过随着物品位于物品用设定位置而由物品检测机构检测物品、由端部检测机构检测由该物品检测机构检测到的物品的前后方向的一侧的端部，判别机构能够将由物品检测机构检测到的物品根据端部检测机构的检测信息判别是FOUP还是F0SB。在有关本发明的输送设备的实施方式中，优选的是，在上述多种物品的各自上，形成有对应于上述被保持部而形成的沿上下方向贯通的贯通孔；上述物品检测机构构成为， 通过由受光部通过上述贯通孔受光由投光部投光的检测光，检测上述定位部位于上述被保持部用设定位置的上述物品。S卩，在多种物品的各自上，形成有对应于被保持部而形成的沿上下方向贯通的贯通孔，通过由受光部通过贯通孔受光由投光部投光的检测光，不论物品的种类如何，都能够由物品检测机构检测被保持部位于被保持部用设定位置而位于物品用设定位置的物品。
并且，在作为多种物品而将FOUP和FOSB用输送装置输送的情况下，在FOUP及 FOSB上，对应于定位部而预先形成有表示具备多个的定位部的中心的沿上下方向贯通的孔。通过将该孔作为用来由物品检测机构检测的检测孔使用，不需要在FOUP及FOSB上形成用来由物品检测机构检测的专用的检测孔，能够实现FOUP及FOSB的结构的简单化。在有关本发明的输送设备的实施方式中，优选的是，上述输送装置由以经由上述物品用设定位置和设定在比该物品用设定位置靠输送下游侧的停止准备位置的形态、将上述多种物品沿着输送路径在水平方向上载置输送的输送输送机构成；设有停止用检测机构，检测被输送到上述停止准备位置的物品的作为前后方向的一侧的端部的输送方向的一侧的端部；动作控制机构，基于上述判别机构的判別信息及上述停止用检测机构的检测信息控制上述输送输送机的动作，以将由上述停止用检测机构检测到的物品输送根据物品的种类而预先设定的设定移动量。即，通过在由停止用检测机构检测被输送到停止准备位置的物品的输送方向的一侧的端部后、将该物品输送根据物品的种类而预先设定的设定移动量，能够使多种物品停止以使被保持部在输送方向上成为相同的位置。具体而言，在作为多种物品而输送FOUP和 FOSB的情况下，由于FOSB的输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度比FOUP的该长度长，所以通过作为FOSB用的设定移动量而设定比FOUP用的设定移动量长的量，能够使FOUP和FOSB停止以使各自的被保持部在输送方向上成为相同的位置。并且， 由于不论物品的种类如何都能够使多种物品停止以使被保持部成为相同的位置，所以当将停止的物品的被保持部用保持机构保持时能够恰当地保持被保持部。
图1是输送装置的俯视图。
图2是表示物品用设定位置及减速位置的物品的俯视图。图3是表示物品用设定位置及减速位置的物品的侧视图。图4是表示停止准备位置及停止位置的物品的俯视图。图5是输送设备的控制框图。
具体实施例方式以下，基于
本发明的实施方式。如图1所示，在输送设备中，设有输送为了收纳多片半导体晶片等基板在エ厂内输送而使用的エ厂内输送用的FOUP (相当于第1物品)1、和为了收纳多片半导体晶片等基板在エ厂间输送而使用的エ厂间输送用的FOSB (相当于第2物品)2的多种物品的输送输送机(相当于输送装置)3。在本说明书中，将该输送输送机3的输送方向设为前方向，将沿着输送方向的方向设为前后方向，将与输送方向正交的水平方向设为横向。在FOUPl及F0SB2的各自中，在其下表面上，具备用来在载置支承在叉装置(相当于保持机构，參照图4)4上的状态下卡合到叉装置4中具备的卡合销如上而将物品1、2在叉装置4上定位在规定的位置上等的定位部(相当于被保持部)5。如图2所示，该定位部5 分别是沿着各自的长轴(用虚线表示)较长地延伸的凹部。在FOUPl及F0SB2的各自的下表面上，设有3个定位部5。这3个定位部5中的、设在距物品1、2的前端部7较近的位置上的两个定位部5在俯视图中具有在前方向上向横向倾斜的长轴，配置在比这些定位部5靠后方的ー个定位部5具有沿前后方向延伸的长轴。这3个定位部5的长轴在一点上交叉。 如以下说明，该交叉点为判断物品1、2的位置时的基准位置。此外，在FOUPl及F0SB2的各自上，在其上表面上具备当被顶棚输送车等悬挂支承时被把持的凸缘部6。此外，虽然图示省略，但在FOUPl及F0SB2的各自上，在其前端部7上形成有用来使基板出入的出入口，并且在前端部7上安装有将该出入口开闭自如的盖。此外，在FOUPl及F0SB2的各自上，对应于定位部5而预先形成有表示具备多个的定位部5的中心(上述交叉点)的沿上下方向贯通的贯通孔8。该贯通孔8在俯视图中形成为，使贯通孔8相对于FOUPl的定位部5的位置与贯通孔8相对于F0SB2的定位部5的位置为相同的位置关系。更具体地讲，如图2所示，贯通孔8在俯视图中，在通过3个定位部 5的长轴交叉的点(基准位置)、沿与沿着输送路径的方向正交的方向(横向)延伸的水平线上，配置在FOUPl及F0SB2的横向的两个端部区域中。因而，在本实施方式中，贯通孔8在俯视图中，与判断物品1、2的位置时的基准位置在前后方向处于相同的位置。但是，贯通孔 8也可以设在比该基准位置在前后方向(在哪种种类的物品中都相同)上离开设定距离的位置上。由此，在FOUPl的定位部5和F0SB2的定位部5在沿着输送路径的方向及与输送路径正交的方向上位于相同的部位的情况下，FOUPl的贯通孔8和F0SB2的贯通孔8都在沿着输送路径的方向及与输送路径正交的方向上位于相同的部位。并且，如图2所示，F0SB2在从前端部7到定位部5的长度(距离)Bl比FOUPl的从前端部7到定位部5的长度Pl长的部位上具备定位部5。S卩，在FOUPl和F0SB2中，从前端部7到定位部5的长度不同，FOUPl和F0SB2为不同种类的物品。在本实施方式中，如图2所示，从前端部7到定位部5的长度可以定义为从前端部7到设在距前方较近的位置上的两个定位部5的前端部分的距离，但其定义并不限定于此，也可以定义为从前端部7到相对于物品1、2的基准位置设定的(因而是相对于作为被保持部的定位部5设定的)特定位置的前后方向上的距离。该特定位置既可以为设在距前方较近的位置上的两个定位部5的前端部分，或者也可以为基准位置。如图1 图4所示，输送输送机3构成为，将如上述那样具备被叉装置4等保持的定位部5的多种物品1、2分別以作为前端部7朝向输送上游侧的姿势(即出入口朝向输送上游侧的姿势)、且定位部5位于物品1、2的前后中央部的姿势的输送用姿势输送。另外， 在图1 图3中，由箭头表示的方向为输送方向，物品1、2被沿着箭头方向从输送上游侧向输送下游侧输送。在输送设备中设有物品检测机构11，检测定位部5位于预先设定在输送路径的中途的被保持部用设定位置A的物品1、2位于物品用设定位置B ；端部检测机构12，随着由物品检测机构11检测到物品1、2，对由物品检测机构11检测到的物品1、2检测作用，检测该物品1、2的前端部7的位置；控制装置H，具备判别机构13，所述判别机构13基于物品检测机构11的检测信息和端部检测机构12的检测信息判別物品1、2的种类，以使其基于位于物品用设定位置B的物品1、2的前端部7的位置判別物品1、2的种类。这里，被保持部用设定位置A是当物品1、2位于物品用设定位置B时、该物品1、2的定位部5(在本实施方式中是设在距前方较近的位置上的两个定位部5)的位置。另外，在图2及图3中，将位于物品用设定位置B的物品1、2用实线表示，将位于后述的减速位置C的物品1、2用虚拟线
^/jN ο与FOUPl位于物品用设定位置B的情况下的FOUPl的前端部7相比，F0SB2位于物品用设定位置B的情况下的F0SB2的前端部7位于输送方向的下游侧。因而，如图2及图3所示，端部检测机构12构成为，检测是否在比位于物品用设定位置B的FOUPl的前端部7靠输送下游侧存在位于物品用设定位置B的物品1、2的前端部7。具体而言，端部检测机构12具备朝向与输送方向正交的水平方向投光检测光的端部检测用投光部12a、和受光从端部检测用投光部1 投光的检测光的端部检测用受光部12b而构成。并且，如图2所示，端部检测机构12配设为，使得在FOUPl位于物品用设定位置B的状态下检测光通过比 FOUPl的前端靠输送下游侧、并且在F0SB2位于物品用设定位置B的状态下检测光通过比 F0SB2的前端靠输送上游侧，构成为，通过是否由端部检测用受光部12b受光由端部检测用投光部1 投光的检测光，检测物品1、2的前端部7是位于比检测光通过的部位靠输送上游侧以使其不将检测光遮断、或者是物品1、2的前端部7位于检测光通过的部位以使其将检测光遮断的两种前端部7的位置。在本说明书中记载的各种控制机构、控制装置、或者其他具有控制功能的部件具有CPU、存储器、通信単元等，在存储器中存储有执行在本说明书中记载的功能的算法。在本实施方式中，判别机构13由该控制装置H的算法(程序)的一部分实施。如图3所示，物品检测机构11具备朝向铅直上方投光检测光的物品检测用投光部 (相当于投光部)11a、和受光从物品检测用投光部Ila投光的检测光的物品检测用受光部 (相当于受光部)lib而构成。并且，物品检测机构11配设为，使得在物品1、2位于物品用设定位置B的状态下检测光沿上下方向通过贯通孔8，构成为，通过将由物品检测用投光部 Ila投光的检测光通过贯通孔8由物品检测用受光部lib受光，检测位于物品用设定位置B 的物品1、2。
判别机构13构成为，基于物品检测机构11的检测信息和端部检测机构12的检测信息，当位于物品用设定位置B的物品1、2的前端部7没有被端部检测机构12检测到时将该物品判别为F0UP1、当位于物品用设定位置B的物品1、2的前端部7被端部检测机构12 检测到时将该物品判别为F0SB2，以使其基于位于物品用设定位置B的物品1、2的前端部7 的位置判別物品1、2的种类。具体而言，在通过物品1、2位于物品用设定位置B而物品检测用受光部lib受光了由物品检测用投光部Ila投光的检测光的状态下，在通过该物品1、2的前端部7位于比检测光通过的部位靠输送上游侧而端部检测用受光部12b受光了由端部检测用投光部1 投光的检测光的状态下，判别机构13判别该物品为F0UP1。此外，在通过物品1、2位于物品用设定位置B而物品检测用受光部lib受光由物品检测用投光部Ila投光的检测光的状态下，在通过该物品1、2的前端部7位于检测光通过的部位而端部检测用受光部12b没有受光由端部检测用投光部1 投光的检测光的状态下，判别机构13将该物品判别为F0SB2。此外，在输送设备中，设有检测位于比物品用设定位置B靠输送上游侧的减速位置C的物品1、2的前端部7的减速用检测机构15 (參照图2及图3)、和检测位于比物品用设定位置B靠输送下游侧的停止准备位置D的物品1、2的前端部7的停止用检测机构16 (參照图4)。如图3所示，减速用检测机构15是接触传感器，具有主体部、相对于主体部可摆动地设置的臂、设在臂的上端的沿水平方向延伸的轴、和能够绕该轴旋转的辊。如果辊接触在物品的前端部7上，则使臂摆动，检测到物品的前端部7。在图3中，用实线表示臂垂直地延伸的非检测状态，用虚线表示臂倾斜的检测状态。停止用检测机构16也具有同样的构造。在控制装置H中具备基于这些减速用检测机构15及停止用检测机构16的检测信息控制输送输送机3的动作的动作控制机构17。顺便说一下，由于物品用设定位置B以物品1、 2的定位部5为基准决定位置，所以关于位于物品用设定位置B的FOUPl和F0SB2两者，它们的定位部5在输送方向上位于相同的部位，但由于停止准备位置D及停止位置E以物品 1、2的前端部7为基准决定位置，所以关于位于停止准备位置D及停止位置E的FOUPl和 F0SB2，它们的定位部5相互在输送方向上位置错开。另外，在图4中，将位于停止位置E的物品1、2用实线表示，将位于后述的停止准备位置D的物品1、2用虚拟线表示。动作控制机构17基于减速用检测机构15的检测信息控制输送输送机3的动作， 以使其随着由减速用检测机构15检测到物品1、2，将输送输送机3的输送速度从物品输送用速度减速为比物品输送用速度低速的物品判別用速度，在从由减速用检测机构15检测到物品1、2起输送了减速用设定移动量后，将输送输送机3的输送速度增速为物品输送用速度。另外，減速用设定移动量设定为比从位于减速位置C的物品1、2的定位部5到位于被保持部用设定位置A的定位部5的长度长的量。S卩，如图2及图3所示那样构成为，如果物品1、2被输送到减速位置C、该物品1、 2被减速用检测机构15检测到，则将输送输送机3的输送速度从物品输送用速度减速到物品判別用速度，在将物品1、2输送到物品用设定位置B、物品1、2的前端部7被端部检测机构12检测到之后，输送输送机3的输送速度从物品判別用速度增速到物品输送用速度，在输送输送机3的输送速度较慢的状态下由端部检测机构12检测物品1、2的前端部7。此外，动作控制机构17基于判别机构13的判別信息及停止用检测机构16的检测信息控制输送输送机3的动作，以使其将由停止用检测机构16检测到的物品1、2输送根据物品1、2的种类而预先设定的设定移动量。S卩，如图4所示，作为FOUPl用的设定移动量而设定FOUP用移动量P2，作为F0SB2 用的设定移动量而设定FOSB用移动量B2，如果物品1、2被输送到停止准备位置D而由停止用检测机构16检测到该物品1、2，则如果该检测到的物品1、2是F0UP1，则从停止准备位置 D输送FOUP用移动量P2，将输送输送机3的动作停止，如果检测到的物品1、2是F0SB2，则从停止准备位置D输送FOSB用移动量B2，将输送输送机3的动作停止。并且，FOSB用移动量B2为比FOUP用移动量P2长F0SB2的从定位部5到前端部7 的长度Bl比FOUPl的从定位部5到前端部7的长度Pl长的部分的量，在停止的FOUPl的定位部5与F0SB2的定位部5为在输送方向上相同的位置的状态下停止。总之，在FOUPl和F0SB2的多种物品1、2经由物品用设定位置B、设定在比物品用设定位置B靠输送上游侧的减速位置C、和设定在比物品用设定位置B靠输送下游侧的停止准备位置D及停止位置E的形态中，由输送输送机3以输送用姿势沿着输送方向在水平方向上载置输送。并且，如果将物品1、2输送到减速位置C，则输送输送机3带来的输送速度被减速， 在物品用设定位置B由物品检测机构11检测物品1、2、并且由端部检测机构12检测物品 1、2的前端部7，基于这些物品检测机构11的检测信息及端部检测机构12的检测信息，由判断机构13判別物品1、2的种类是FOUPl还是F0SB2。然后，如果物品1、2被输送到停止准备位置D，则基于由判别机构13判别的种类，输送FOUP用设定量或FOSB用设定量，停止在停止位置E。将这样停止在停止位置E的物品1、2用叉装置4抄取，移载到图外的移载目的地。[其他实施方式]
(1)在上述实施方式中，将端部检测机构12构成为，使其检测位于物品用设定位置B的物品的前端部7是否位于比位于物品用设定位置B的第1物品(FOUPl)的前端部7靠输送下游侧，将判别机构13构成为，使其基于物品检测机构11的检测信息和端部检测机构12 的检测信息，当没有由端部检测机构12检测到位于物品用设定位置B的物品的前端部7时将该物品判别为第1物品(F0UP1)、当由端部检测机构12检测到位于物品用设定位置B的物品的前端部7时将该物品判别为第2物品(F0SB2)，但端部检测机构12及判别机构13的结构可以适当变更。具体而言，例如也可以是，将端部检测机构12在输送方向上排列设置多个投光器与受光器的组，将判别机构13构成为，使其基于多个投光器和受光器的受光状态判别物品的种类。此外，也可以是，将端部检测机构12构成为，使其检测被从物品用设定位置B输送到输送下游侧的物品的前端部7，将判别机构13构成为，使其基于从由物品检测机构11检测到位于物品用设定位置B的物品到由端部检测机构12检测到物品的前端部7的时间来判別物品的种类。顺便说一下，通过这样构成端部检测机构12及判别机构13，能够判别3 种以上的物品的种类。此外，作为端部检测机构12，代替投光器和受光器，可以使用通过接触在物品的前端部7或物品的其他部件上来检测前端部7的传感器、或属于以往技术的其他传感器。此外，也可以将减速用检测机构15及停止用检测机构16不是用接触传感器、而具备具有投光器和受光器的光学传感器来构成。
(2)在上述实施方式中，将输送装置用输送输送机3构成，构成为，由该输送输送机3将多种物品沿着输送方向在水平方向上输送，但也可以是，将输送装置用顶棚输送车构成，构成为，通过该顶棚输送车将多种物品沿着输送方向在铅直方向上输送。此外，在上述实施方式中，将输送装置用输送输送机3构成，用该输送输送机3以前端部7朝向输送下游侧的姿势输送物品，但也可以用输送输送机3以前端部7朝向输送上游侧的姿势输送。(3)在上述实施方式中，将保持机构用叉装置4构成，将用来卡合在该叉装置4具备的卡合销如上而将物品定位在规定的位置上的定位部5作为被保持部，但也可以是，将保持机构用顶棚输送车构成，将用来被装备在该顶棚输送车上的把持装置把持、将物品定位在规定的位置上的凸缘部6作为被保持部。(4)在上述实施方式中，使用预先形成在FOUPl及F0SB2等将基板收纳多片输送的容器上的孔作为使物品检测机构11的检测光通过的贯通孔8，但也可以与该预先形成的孔另外地、另外形成使物品检测机构11的检测光通过的贯通孔8。此外，物品检测机构11的结构除了如上述那样使检测光通过而检测贯通孔8以外，可以直接检测被保持部、或检测粘贴在FOUPl及F0SB2等物品上的反射板等、适当地变更。例如，通过在物品的对应于贯通孔8的位置上设置突起部等，可以使用通过接触在该突起部上而感知的接触传感器作为物品检测机构11。(5)在上述实施方式中，基于判别机构13的判別信息控制输送装置的动作，以输送根据物品的种类预先设定的设定移动量，但也可以基于判别机构13的判別信息控制输送装置的动作，以输送到根据物品的种类预先设定的输送目的地。即，例如也可以是，作为输送装置而将输送输送机3用载置输送FOUPl和F0SB2的混载输送机、载置输送FOUPl的 FOUPl用的专用输送机、载置输送F0SB2的F0SB2用的专用输送机、和混载输送机与专用输送机之间的分支输送机构成，基于判别机构13的判別信息控制分支输送机的动作，以使得如果从混载输送机输送给分支输送机的物品1、2是由判别机构13判别为FOUPl的物品则输送给FOUPl用的专用输送机、如果从混载输送机输送给分支输送机的物品是由判别机构 13判别为F0SB2的物品则输送给F0SB2用的专用输送机。(6)在将FOUPl和F0SB2作为多种物品输送的情况下，作为从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度比FOUPl的该长度长的F0SB2，也可以将从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多个类型的F0SB2由输送装置输送。在此情况下，既可以将多个类型的FOSB作为相同种类的物品输送，也可以将多个类型的F0SB2分別作为另外种类的物品输送。此外，在上述实施方式中，将具备凸缘部6的F0SB2用输送装置输送，但也可以将不具备凸缘部6的F0SB2用输送装置输送，也可以将具备凸缘部6的F0SB2和不具备凸缘部 6的F0SB2混合通过输送装置输送。附图标记说明
1FOUP (第1物品、物品)
2FOSB (第2物品、物品) 3输送输送机(输送装置) 4保持机构
5定位部(被保持部) 7端部8贯通孔 11物品检测机构 Ila投光部 lib受光部 12端部检测机构 13判别机构 16停止用检测机构 17动作控制机构 A被保持部用设定位置 B物品用设定位置 D停止准备位置。
权利要求
1.一种输送设备，是设有将具备由保持机构保持的被保持部的物品以该被保持部位于上述物品的前后方向的中央部的输送用姿势沿着输送路径输送的输送装置的输送设备，其特征在于，上述输送装置构成为，输送上述输送用姿势下的从上述被保持部到上述前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品；设有物品检测机构，检测上述被保持部位于预先设定的被保持部用设定位置、位于物品用设定位置的上述物品；端部检测机构，检测由上述物品检测机构检测到的物品的上述前后方向的一侧的端部；判别机构，基于上述物品检测机构的检测信息和上述端部检测机构的检测信息，判别物品的种类。
2.如权利要求1所述的输送设备，其特征在于，上述端部检测机构构成为，检测位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部的位置；上述判别机构构成为，基于上述物品检测机构的检测信息和上述端部检测机构的检测信息判别物品的种类，以基于位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部的位置判别物品的种类。
3.如权利要求2所述的输送设备，其特征在于，上述输送装置构成为，作为上述多种物品，输送第1物品、和上述输送用姿势下的从上述被保持部到上述前后方向的一侧的端部的长度比上述第1物品的上述输送用姿势下的从上述被保持部到上述前后方向的一侧的端部的长度长的第2物品；上述端部检测机构构成为，检测是否位于上述物品用设定位置的物品的前后方向的一侧的端部存在于比位于上述物品用设定位置的上述第1物品的上述前后方向的一侧的端部靠上述前后方向的一侧；上述判别机构构成为，基于上述物品检测机构的检测信息和上述端部检测机构的检测信息，当位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部没有被上述端部检测机构检测到时将上述物品判别为第1物品，当位于上述物品用设定位置的物品的上述前后方向的一侧的端部被上述端部检测机构检测到时将上述物品判别为第2物品。
4.如权利要求1 3中任一项所述的输送设备，其特征在于，上述输送装置构成为，作为上述多种物品，输送收纳多片基板而在工厂内输送的F0UP、 和收纳多片基板而在工厂间输送的FOSB ；在上述多种物品的各自上，作为上述被保持部，在下表面上具备用来在被上述保持机构载置支承的状态下卡合到上述保持机构所具备的卡合销上而将物品定位在规定的位置上的定位部；上述FOSB的从上述前后方向的一侧的端部到上述定位部的长度设定得比上述FOUP的从上述前后方向的一侧的端部到上述定位部的长度长。
5.如权利要求1 3中任一项所述的输送设备，其特征在于，在上述多种物品的各自上，形成有对应于上述被保持部而形成的沿上下方向贯通的贯通孔；上述物品检测机构构成为，通过由受光部通过上述贯通孔受光由投光部投光的检测光，检测上述定位部位于上述被保持部用设定位置的上述物品。
6.如权利要求1 3中任一项所述的输送设备，其特征在于，上述输送装置由以经由上述物品用设定位置和设定在比该物品用设定位置靠输送下游侧的停止准备位置的形态、将上述多种物品沿着输送路径在水平方向上载置输送的输送输送机构成； 设有停止用检测机构，检测被输送到上述停止准备位置的物品的作为前后方向的一侧的端部的输送方向的一侧的端部；动作控制机构，基于上述判别机构的判别信息及上述停止用检测机构的检测信息控制上述输送输送机的动作，以将由上述停止用检测机构检测到的物品输送根据物品的种类而预先设定的设定移动量。
全文摘要
提供一种在将输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品用输送装置输送的情况下能够判别该多种物品的种类的输送设备。输送装置(3)构成为，输送输送用姿势下的从被保持部(5)到前后方向的一侧的端部(7)的长度不同的多种物品(1、2)；设有检测被保持部(5)位于被保持部用设定位置(A)而位于物品用设定位置(B)的物品(1、2)的物品检测机构、检测由物品检测机构检测到的物品的前后方向的一侧的端部(7)的端部检测机构(12)、和基于物品检测机构的检测信息和端部检测机构(12)的检测信息判别物品(1、2)的种类的判别机构。
文档编号H01L21/677GK102543807SQ201110422930
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月16日 优先权日2010年12月17日
发明者堀井高宏, 河村真辅 申请人:株式会社大福