一种硅片倒片夹具的制作方法

文档序号:6843732阅读:281来源:国知局
专利名称:一种硅片倒片夹具的制作方法
技术领域
本实用新型属于太阳能电池片制作过程中工装夹具设计领域,具体涉及一种扩散插片过程中使用的硅片倒片夹具。
背景技术
在太阳能电池片制作工艺步骤如下1、制绒,将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌 。2、扩散,硅片表面形成PN结。3、刻蚀,将硅片边缘的PN结去掉,防止电池短路。4、去PSG, 清洗硅片表面,去除二氧化硅层。5、PECVD,在硅片表面镀一层减反射膜。6、印刷烧结,印刷电极及背场,并烘干烧结。扩散原理是在经过制绒后的硅片表面注入一层含有P原子,在硅片的表面形成PN 结。在实际生产过程中,为了更好的利用机台的产能,均是采用单面扩散,需要将制绒后的硅片每2片合到同一花篮卡槽。目前,硅片在扩散前倒片由人工倒片从生产角度易产生碎片,占用人力;从工艺角度绒面有磨损,镀膜效果不好,影响产出电池片的性能,造成产出的电池片效率降低。
发明内容本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种扩散倒片过程中使用的硅片倒片夹具,该夹具包括固定在一起的推板和握板,使用该夹具可以减少碎片,降低员工劳动量,提高产品合格率,由手动操作变为半自动化操作,适用于工业化生产。本实用新型的一种硅片倒片夹具,技术方案为包括推板和握板固定在一起的组合板,组合板呈“T”型,所述推板工作面尺寸长度为12cm士 lcm,握板长度IOcm士 lcm,组合板厚度为2cm士0. 5cm。本实用新型的硅片倒片夹具材质优选硬塑板。本实用新型的有益效果为本实用新型的硅片倒片夹具,包括固定在一起的推板和握板,结构简单,制作方便,每整合800硅片能将节约^Os,倒片过程的碎片率降低为0, 减少了合片过程中的摩擦,提高了工作效率及合格率,由手动操作变为半自动化操作,适用于工业化生产。


图1所示为本实用新型的倒片组合板结构示意图。其中,1-握板,2-推板,3-推板工作面。
具体实施方式
为了更好地理解本实用新型,
以下结合附图来详细说明本实用新型的技术方案, 但是本实用新型并不局限于此。本实用新型的一种硅片倒片夹具,技术方案为包括推板2和握板1固定在一起的组合板,组合板呈“τ”型,所述推板工作面3尺寸长度为12cm士 1cm,握板1长度IOcm士 1cm, 组合板厚度为2cm士0. 5cm。[0015]本实用新型的硅片倒片夹具材质优选硬塑板。 实施例将花篮置于具有台阶面的倒片台上(要求台阶高度为2mm,上下两工作台面以完全超出花篮侧面为最小值,工作台面平整度< 50 μ m);将花篮立起,放在下台阶面上,使硅片制绒面向下,放稳;取第二个花篮立起,放在上台阶面上,使制绒面向上,放稳;使两个花篮开口方向相对;慢慢将两个花篮紧密对齐;手握握板1,用推板工作面3轻轻将第二个花篮的硅片完全推入第一个花篮中;轻轻收回组合板;将花篮取走。经实验可得1、人力节省每合800片能节约^0s,每班次共节省倒片工时9. 7小时;2、碎片降低极大的降低了硅片隐裂、掉角的可能性。扩散碎片率由0. 降至 0. 1%。
权利要求1.一种硅片倒片夹具,其特征在于,包括推板和握板固定在一起的组合板,组合板呈 “T” 型。
2.根据权利要求1所述的一种硅片倒片夹具,其特征在于,所述推板工作面尺寸长度为12cm士 lcm,握板长度IOcm士 lcm,组合板厚度为2cm士0. 5cm。
专利摘要本实用新型属于太阳能电池片制作过程中工装夹具设计领域,具体涉及一种硅片倒片夹具,应用于电池片制造中的扩散工序,包括推板和握板固定在一起的组合板,能快速整齐的倒片,对电池生产过程中硅片之间的摩擦减小、减少碎片、缩短倒片时间,有效的提高了工作效率及提高合格率。
文档编号H01L21/687GK202076243SQ20112015849
公开日2011年12月14日 申请日期2011年5月18日 优先权日2011年5月18日
发明者党明三 申请人:山东力诺太阳能电力股份有限公司
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