专利名称：太阳能电池扩散用石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池扩散用石英舟。
背景技术：
太阳能电池生产工艺流程中，扩散工艺过程形成PN结，是太阳能电池的“心脏”，此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温通源过程。双面扩散(即每个槽插一片硅片)能够起到很好的吸杂效果，从而提高电池转换效率，但是双面扩散相对于单面扩散会降低一半的产量。如果将槽间距减小一半，在保证产量不变的情况下使用双面扩散，扩散出来的方块电阻的均匀性又很难控制，也会影响电池的转换效率。传统的扩散用石英舟采用的是大小相同的槽间距，如果使用双面扩散的方法，会 严重影响扩散工序的产量。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种结构合理，保证电池的转换效率又可以提高扩散工序产量的太阳能电池扩散用石英舟。本实用新型的技术解决方案是一种太阳能电池扩散用石英舟，包括支撑框架和支杆组件，其特征是支杆上开有槽间距大小交替、用来承载和固定硅片的细槽。所述槽间距中大的槽间距为3. 96mm,小的槽间距为O. 8mm。本实用新型结构合理，既可以实现双面扩散吸杂又可以提高产量。硅片面向大的槽间距的一面为均匀面，用来做PN结使用。同时硅片面向小的槽间距的一面也有磷源扩散进去，起到吸杂的作用；既保证双面扩散的吸杂效果，又提高扩散工序的产量。
以下结合附图
和实施例对本实用新型作进一步说明。图I是本实用新型一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
一种太阳能电池扩散用石英舟，包括支撑框架和支杆组件，支杆上开有槽间距大小交替、用来承载和固定硅片的细槽。例如所述槽间距中大的槽间距D为3. 96mm,小的槽间距d为O. 8mm。
权利要求1.一种太阳能电池扩散用石英舟，包括支撑框架和支杆组件，其特征是支杆上开有槽间距大小交替、用来承载和固定硅片的细槽。
2.根据权利要求I所述的太阳能电池扩散用石英舟，其特征是所述槽间距中大的槽间距为3. 96mm，小的槽间距为O. 8mm。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用石英舟，包括支撑框架和支杆组件，支杆上开有槽间距大小交替、用来承载和固定硅片的细槽。本实用新型结构合理，既可以实现双面扩散吸杂又可以提高产量。硅片面向大的槽间距的一面为均匀面，用来做PN结使用。同时硅片面向小的槽间距的一面也有磷源扩散进去，起到吸杂的作用；既保证双面扩散的吸杂效果，又提高扩散工序的产量。
文档编号H01L31/18GK202662581SQ20122027729
公开日2013年1月9日 申请日期2012年6月13日 优先权日2012年6月13日
发明者崔美丽, 林佳继, 赵同荣, 赵福祥 申请人:韩华新能源(启东)有限公司