打线装置制造方法
【专利摘要】具备：使引线接合到各电极的毛细管(31)、设有毛细管(31)的前端插拔的贯通孔(22)的水平板(21)、沿着水平板(21)的上面(21a)朝向贯通孔(22)的中心(22c)吹出氧化防止气体的第一氧化防止气体流路(12)、沿着水平板(21)的上面(21a)朝向贯通孔(22)的中心(22c)从与第一氧化防止气体流路(12)交叉的方向吹出氧化防止气体的第二氧化防止气体流路(13)；水平板(21)的未配置各氧化防止气体流路(12)、(13)的区域，是以水平板(21)的上面(21a)的气体可往水平板(21)的缘(23)～(25)的外侧流出的方式开放。藉此，在打线装置抑制金线结球表面的氧化。
【专利说明】打线装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种打线装置的构造。
【背景技术】
[0002]藉由打线装置使半导体芯片的电极与基板的电极以金属线连接的情况下，是使用下述方法，即在从接合工具的前端延伸的金属线与火炬电极之间使火花产生而形成金线结球(free air ball),将此金线结球接合于一电极上(结球接合)，从接合工具的前端送出引线并回绕至另一电极上，以将引线接合到另一电极上。在引线接合时，一旦金属线或是形成的金线结球的表面产生氧化，则金属线或是形成的金线结球会和各电极产生接合不良，因此大多使用不会氧化的金线来作为引线。
[0003]另一方面，在近年来采用铜或铝等氧化金属线来进行引线接合的提案被提出。如上述，采用氧化金属线来进行接合的情形，抑制金属线表面的氧化是必要的，因此朝向金线结球形成区域或是进行接合的电极表面吹送氧化防止气体，使金线结球形成区域或是电极附近的区域充满氧化防止气体以防止金属线表面氧化的方法被提出(例如，参照专利文献I)。
[0004]再者，配置气体覆层(gas cover)围绕在金线结球形成区域周围，透过气体覆层中安装的多孔质构件，从周围吹送氧化防止气体到气体覆层中央的腔室(cavity)，使腔室成为氧化防止气体环境气氛，在其中使线材与火炬电极间产生火花而形成金线结球的方法被提出(例如，参照专利文献2)。
[0005]专利文献1:日本特开2007-294975号公报
[0006]专利文献2:日本特开2008-130825号公报
【发明内容】
[0007]然而，如专利文献I中所记载，从管件的前端朝向金线结球形成区域吹送氧化防止气体的情况，为了将金线结球形成区域保持在氧化防止气体的环境气氛块体，必须增加氧化防止气体的流量。因此，会有在金线结球形成的期间，因氧化防止气体让结球冷却而无法形成良好的金线结球的问题。
[0008]一方面，打线装置是使接合工具可上下地移动以进行引线接合的装置。因此，如专利文献2所记载，用气体覆层包覆金线结球形成区域的周围，在其中吹出氧化防止气体以使气体覆层中央的腔室内形成氧化防止气体环境气氛的情况下，使接合工具在腔室中往上下方向移动。
[0009]在金线结球形成之际，使接合工具的前端上升到腔室中，且使火花产生在往前端延伸的引线与火炬电极之间。但是，一旦使接合工具上升，则滞留在接合工具周围的空气会伴随接合工具进入腔室中。即使将氧化防止气体从腔室周围吹出，已进入腔室中的空气亦被气体覆层遮揽而不容易被排出至外部，在腔室内部会残留含有氧气的空气环境气氛，而有在此空气环境气氛中产生火花的情形。因此，在专利文献2所记载的现有技术，并无法抑制金线结球形成之际的金属表面氧化，会有采用铜等在空气中会氧化的金属线来进行引线接合时的接合质量降低的问题。
[0010]本发明的目的在于在打线装置中抑制金线结球表面氧化。
[0011]本发明的打线装置，是藉由引线将半导体芯片的电极与基板的电极之间加以连接，其特征在于，具备:接合工具，将引线接合至各电极；水平板，设有供接合工具的前端拔插的贯通孔；第一氧化防止气体流路，沿着水平板上面朝向贯通孔中心吹出氧化防止气体；以及第二氧化防止气体流路，沿着水平板上面朝向贯通孔中心从与第一氧化防止气体流路交叉的方向吹出氧化防止气体；水平板的未配置各氧化防止气体流路的区域是以水平板上面的气体可往水平板的缘的外侧流出的方式开放。
[0012]在本发明的打线装置中，较佳为，在第一氧化防止气体流路的吹出口的周缘、第二氧化防止气体流路的吹出口的周缘、各吹出口的各周缘之间，设在水平板的上面的壁面以氧化防止气体滞留在其附近的方式延伸，壁面是从设在水平板的贯通孔的周缘分离设置。
[0013]在本发明的打线装置中，较佳为，各氧化防止气体流路的连接于各吹出口的部分，分别为沿着水平板的上面延伸的直线管路；在各直线管路的内部分别设有抑制氧化防止气体的偏流的导引叶片，较佳为，各导引叶片是将平板组合成十字形以使直线管路的剖面区分成四个区段；平板是相对于前述水平板的上面倾斜配置。
[0014]在本发明的打线装置中，较佳为，具备从前述水平板下面朝向斜下方向对前述贯通孔的中心吹出氧化防止气体的第三氧化防止气体流路，较佳为，前述第一氧化防止气体流路、前述第二氧化防止气体流路、前述第三氧化防止气体流路、前述水平板是设在共通的基体部；前述基体部具有壁面，该壁面在前述第一氧化防止气体流路的吹出口的周缘、前述第二氧化防止气体流路的吹出口的周缘、前述各吹出口的各周缘之间配置在前述水平板的上面，在其附近氧化防止气体滞留，较佳为，前述第三氧化防止气体流路朝向前述接合工具的前端吹出氧化防止气体。
[0015]在本发明的打线装置中，较佳为，设有火炬电极，该火炬电极从各氧化防止气体流路的任一方的氧化防止气体流路的吹出口朝向水平板的贯通孔延伸，在与往接合工具前端延伸的引线之间使火花产生以形成金线结球。
[0016]本发明达到能够抑制打线装置中金线结球表面氧化的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本发明实施形态的打线装置的氧化防止单元的立体图。
[0018]图2是本发明实施形态的打线装置的氧化防止单元的俯视图。
[0019]图3是显示设置于本发明实施形态的打线装置的氧化防止单元的导引叶片的构成的立体图。
[0020]图4是显示设置于本发明实施形态的打线装置的氧化防止单元的氧化防止气体流路的剖面的剖面图。
[0021]图5是显示本发明实施形态的打线装置与氧化防止单元的动作的侧视图。
[0022]图6是显示本发明实施形态的打线装置与氧化防止单元的动作的侧视图。
[0023]图7是显示本发明实施形态的打线装置与氧化防止单元的动作的俯视图。
[0024]图8是本发明其他实施形态的打线装置的氧化防止单元的立体图。[0025]图9是本发明其他实施形态的打线装置的氧化防止单元的俯视图。
[0026]图10是显示本发明其他实施形态的打线装置与氧化防止单元的动作的侧视图。
[0027]图11是显示本发明其他实施形态的打线装置与氧化防止单元的动作的侧视图。
[0028]图12是显示本发明其他实施形态的打线装置与氧化防止单元的动作的俯视图。
【具体实施方式】
[0029]以下，参照图式说明本发明的实施形态。如图1所示，本实施形态的打线装置100，具备:使引线接合于半导体芯片或基板电极的接合工具即毛细管31 (capillary)、使毛细管31往上下方向移动的安装于未图标的超音波放大器(horn)的接合臂32、将从毛细管31的前端延伸的尾引线51 (tail wire)形成图6(b)所示的金线结球52的区域保持成氧化防止气体环境气氛并防止金线结球52表面氧化的氧化防止单元10。氧化防止单元10是与接合臂32(bonding arm)安装于未图示的接合头(bonding head),—体地往水平方向移动。此外，在图1，垂直方向是以Z方向表示、XY是表示互为直角的水平方向。以下，在各图中均相同。
[0030]氧化防止单元10是包含以树脂或绝缘体作成的基体部即本体11、安装本体11于未图示的接合头的安装臂40。如图1、图2所示，本体11是由大致长方体形状的第一块体11a、平面大致梯形形状的第二块体Ilb与水平板21整体组合成L字型的物体；第一块体Ila的第二块体I Ib侧的角部与第二块体Ilb的长边侧的角部成形为一体，此凹部侧的第一块体Ila与第二块体Ilb的各外侧面是藉由曲面lie连接。再者，第一块体Ila的垂直壁面Ilc与第二块体Ilb斜边侧的垂直壁面Ild相邻配置。从第一块体Ila的垂直壁面Ilc与第二块体Ilb斜边侧的垂直壁面Ild，将第一块体Ila的底面、第二块体Ilb的底面连接的水平板21，朝与各垂直壁面llc、lld呈垂直，即向水平方向(XY方向)延伸。亦即，本体11是下述物体，即第一块体Ila与第二块体Ilb分别构成图2所示的往正交的各中心线61 (X方向中心线)、62(Y方向中心线)方向延伸的各腕，水平板21是配置成连接各腕的交叉部分、大致长方体形状的第一块体Ila与平面大致梯形形状的第二块体Ilb与水平板21整体组合成L字型。再者，如图2所示，水平板21的贯通孔22，其中心22c是配置成位在第一块体Ila的中心线61(X方向中心线)与第二块体Ilb的中心线62(Y方向中心线)的交点位置。再者，如图1、图2所示,毛细管31,是配置成其中心成为贯通孔22的中心22c。
[0031]第一块体11a，具备在图2所示中心线61 (X方向中心线)的方向延伸直线状的第一氧化防止气体流路12。如图3所示，第一氧化防止气体流路12，是在第一孔14a之中嵌入导引叶片组合件14b者，该第一孔14a是以往中心线61 (X方向中心线)的方向延伸的方式设置在第一块体Ila的相对于水平板21的垂直壁面11c。导引叶片组合件14b，是包含圆筒状的外筒14c与使平板十字型交叉的导引叶片14。导引叶片组合件14b的导引叶片14，一旦导引叶片组合件14b嵌入第一孔14a的内面，便构成四个扇形剖面的流路区段12a?12d。导引叶片组合件14b，因十字型的导引叶片14是以与水平板21的上面21a呈45度倾斜的方式嵌入第一块体Ila的第一孔14a，故四个扇形的流路区段12a?12d之内，流路区段12a、12c是排列在垂直方向，流路区段12b、12d是排列在水平方向。因此，各流路区12a?12d整体构成第一氧化防止气体流路12。再者，如图3所示，在第一氧化防止气体流路12的与垂直壁面Ilc相反侧连接有连接于第一氧化防止气体流路12且往第一块体Ila的斜上方向延伸的第一氧化防止气体供给管18。因此，如图1、图2所示，第一氧化防止气体流路12的对第一块体Ila的垂直壁面Ilc的开口，是成为朝向水平板21的贯通孔22吹出氧化防止气体的第一氧化防止气体吹出口 16。
[0032]第二块体11b，具备在图2所示中心线62(Y方向中心线)的方向延伸直线状的第二氧化防止气体流路13。如图4所示，在第二氧化防止气体流路13，在第二孔15a之中，嵌入安装有往外筒15c倾斜的平板组合成十字的导引叶片15的导引叶片组合件15b，该第二孔15a是以往中心线62 (Y方向中心线)的方向延伸的方式而设置在第二块体Ilb的相对于水平板21的垂直壁面lid。导引叶片15，构成四个扇形剖面的流路区段13a?13d，各流路区段13a?13d整体构成第二氧化防止气体流路13。再者，如图2、图4所示，在第二氧化防止气体流路13的与垂直壁面Ild相反侧连接有连接于第二氧化防止气体流路13且往第二块体Ilb的斜上方延伸的第二氧化防止气体供给管19。因此，第二氧化防止气体流路13的对第二块体Ilb的垂直壁面Ild的开口，是成为朝向水平板21的贯通孔22吹出氧化防止气体的第二氧化防止气体吹出口 17。如图2所示，垂直壁面Ild是因相对于中心线62 (Y方向中心线)呈倾斜，故第二氧化防止气体吹出口 17如图1所示成椭圆形状。
[0033]如图4所示，第二孔15a呈圆筒形状，在下侧设置有半圆形状的剖面的槽15d。如图1、图2所示，槽15d是沿第二块体Ilb的中心线62(Y方向中心线)延伸，在槽15d之中安装有火炬电极35，该火炬电极35在与从毛细管31的前端延伸的尾引线51之间产生火花以形成如图6所示金线结球52。火炬电极35，是往与第二块体Ilb的垂直壁面Ild相反侧的安装臂40延伸，从贯通安装臂40及第二块体Ilb的火炬电极安装孔36延伸至外部，连接于外部的电源装置。再者，火炬电极35，是可通过此火炬电极安装孔36作插拔，能不分解氧化防止单元10的其他部分而仅更换火炬电极35。
[0034]再者，如图4所示，藉由十字型的导引叶片15区隔的4个扇形的流路区段13a?13d之内，下侧的流路区段13a，虽火炬电极贯通其下部，但因为流路区段13a的剖面积增加槽15d的量，故构成为能与其他流路区段13b?13d流通同样的氧化防止气体。
[0035]关于以上述方式构成的打线装置100的动作，参照图5至图7作说明。图5是表示，在接合载台41之上所吸附的基板42的电极43之上已接合引线50的状态。在此状态，毛细管31的前端，通过贯通孔22抵达电极43的表面，上下方向的毛细管31的中心线34与贯通孔22的中心线63(Z方向中心线)为在同一轴上且通过电极43的中心的位置。再者，在图5如实线箭头标示，从第一、第二氧化防止气体供给管18、19，氧化防止气体各自供给至第一、第二氧化防止气体流路12、13，氧化防止气体，是从第一、第二氧化防止气体流路
12、13的各吹出口 16、17朝向贯通孔22的中心22c吹出。
[0036]如图6(a)所示，一旦完成引线50向电极43接合，接合臂32旋转，安装在接合臂32前端的毛细管31往上方向上升。一旦毛细管31上升，则使尾引线51在毛细管31前端延伸。尾引线51达既定的长度时，藉由未图示的夹持器(clamper)夹持引线与毛细管31一起上升，藉此切断引线。接着，在毛细管31前端将呈现延伸既定的长度的尾引线51的状态。因此，进一步地，毛细管31前端较水平板21的上面21a更为上侧，使毛细管31上升至尾引线51的下端到达火炬电极35的中心位置附近为止。
[0037]一旦毛细管31上升，毛细管31周围的空气，如图6 (a)所示虚线的箭头，伴随毛细管31，通过贯通孔22，上升至水平板21的上面21a。[0038]一方面，如图6 (a)实线箭头所示，从第一、第二氧化防止气体流路12、13的各吹出口 16、17，沿着水平板21的上面21a朝向贯通孔22的中心22c吹出氧化防止气体。如图7所示，从各吹出口 16、17吹出的氧化防止气体，分别在水平板21的上侧，沿着各中心线61 (X方向中心线)、62 (Y方向中心线)方向前进，抵达贯通孔22之上，之后，从未配置氧化防止气体流路或垂直壁面而开放的与水平板21中心线61 (X方向中心线)垂直的缘25、与中心线62 (Y方向中心线)垂直的缘23、及相对于中心线61 (X方向中心线)、62(Y方向中心线)倾斜的缘24，朝水平板21的外侧流去。此际，如图6(a)、图7以虚线箭头所示，通过贯通孔22向水平板21上面21a的上侧上升的空气，藉由以实线箭头所示的氧化防止气体，从未被各垂直壁面IlcUld围绕而开放的各缘23、24、25向水平板21的外侧流出。再者，从各吹出口 16、17吹出的氧化防止气体，藉由相对于水平板21呈垂直的壁面的第一、第二块体IlaUlb的各垂直壁面IlcUld形成滞留区域，如图6(a)、图7所示，以从水平板21的上面21a起与垂直壁面Ilc、IId的上端之间的高度，包含贯通孔22的区域、与贯通孔和垂直壁面IlcUld之间的区域般地，形成往水平方向扩散的氧化防止气体的环境气氛区域70。
[0039]如此，已进入水平板21上侧的空气，藉由氧化防止气体，向水平板21的各缘23?25的外侧排出之外，形成氧化防止气体环境气氛区域70，因此氧化防止气体环境气氛区域70是能形成不包含空气的区域。因此，在此氧化防止气体环境气氛区域70之中，在火炬电极35和毛细管31前端的尾引线51之间产生火花，如图6(b)所示，一旦在毛细管31前端形成金线结球52，则因在氧化防止气体环境气氛区域70之中，含氧的空气未混入，因此可以很有效果地抑制金线结球52表面的氧化。
[0040]再者，在本实施形态，第一、第二氧化防止气体流路12、13，因各十字型的导引叶片14、15从水平板21的上面21a呈45度倾斜配置，四个扇形的流路区段12a?12d、13a?13d之内，流路区段12a、12c及13a、13c在垂直方向排列，流路区段12b、12d及13b、13d在水平方向排列。如上述，因配置有各流路区段12a?12d，如本实施形态，即使第一氧化防止气体供给管18，是于垂直方向或相对于水平方向倾斜地连接于第一氧化防止气体流路12，流经各流路区段12a?12d的氧化防止气体的流量亦呈大致相同的流量。再者，同样地，即使第二氧化防止气体供给管19，于垂直方向或相对于水平方向倾斜地连接于第二氧化防止气体流路13，流经第二氧化防止气体流路13的各流路区段13a?13d的氧化防止气体的流量亦呈大致相同的流量。依此，能有效果地抑制在从各吹出口 16、17向贯通孔22吹出的氧化防止气体例如发生气体只偏向下侧流动的偏流，因此能够扩大水平板21上侧的氧化防止气体环境气氛区域70的高度的幅度，即使对于各式各样的接合条件亦可有效地抑制金线结球52表面的氧化，能够提高采用铜或铝等在空气中会氧化的金属引线的接合质量。
[0041]再者，在本实施形态，各吹出口 16、17，是以与XY方向呈正交的情形说明，但即使各吹出口 16、17并无相互呈正交，只要以从各吹出口向贯通孔22的中心22c吹出氧化防止气体且能在贯通孔22之上相碰的方式交叉即可。
[0042]其次，关于本发明的其他实施形态，参照图8?图12说明。对和参照图1?图7说明的实施形态同样的部分标示同样的符号以省略说明。如图8所示，本实施形态，具备和基体部即本体11的第一块体Ila和第二块体Ilb向反方向突出的第三块体Ilf。在第三块体Ilf的上侧，安装有第三氧化防止气体供给管81，如图9所示，在第三块体Hf，设置有从第三块体Ilf的上面向下面Ilg倾斜贯通的第三氧化防止气体流路82，如图9所示，第三块体Iif的下面Iig的开口，为从下面Iig向斜下方喷出氧化防止气体的第三氧化防止气体吹出口 83。因此，第三块体Ilf的下面llg，为与水平板21的下面呈同一面。如图9所示，第三氧化防止气体流路82的中心线84，在与接合臂32的延伸方向大致同样的方向，如图10所示在贯通孔22的中心线34的方向，朝向毛细管31的前端或毛细管31和电极43的接点附近。因此，从第三氧化防止气体吹出口 83吹出的氧化防止气体，朝毛细管31接触的电极43的附近吹出。
[0043]关于以上述方式构成的打线装置100的动作，参照图10?图12来说明。在图10，如实线箭头所示，从第一、第二、第三氧化防止气体供给管18、19、81，氧化防止气体分别供给至第一、第二、第三氧化防止气体流路12、13、82，氧化防止气体，是从第一、第二、第三氧化防止气体流路12、13、82的各吹出口 16、17、83吹出。从第一、第二氧化防止气体吹出口
12、13吹出的氧化防止气体，是沿着水平板21的上面21a朝贯通孔22的中心22c吹出，从第三氧化防止气体吹出口 83吹出的氧化防止气体，是朝在贯通孔22的中心毛细管31接触的电极43的附近吹出。因此，从第三氧化防止气体吹出口 83吹出的氧化防止气体，在水平板21的下侧滞留，在毛细管31的前端与电极43的附近形成氧化防止气体环境气氛区域75。
[0044]如图11(a)所示，一旦完成引线50向电极43的接合，接合臂32旋转，在接合臂32的前端安装的毛细管31向上方向上升，并在毛细管31的前端延伸既定的长度的尾引线51的状态。因此，进一步地，毛细管31的前端在较水平板21的上面21a更为上侧,使毛细管31上升到尾引线51的下端成为火炬电极35的中心位置附近为止。
[0045]在先前参照图1?图7说明的实施形态中，如图6(a)所示，一旦使毛细管31上升，毛细管31周围的空气，如图6 (a)所示的虚线箭头般，伴随毛细管31通过贯通孔22上升至水平板21的上面21a，但在本实施形态，如参照图10所说明，藉由从第三氧化防止气体吹出口 83吹出的氧化防止气体，在水平板21的下面形成氧化防止气体环境气氛区域75。因此，如图11(a)所示，一旦使毛细管31上升，则如图11(a)的实线所示，滞留在水平板21的下面的氧化防止气体，伴随毛细管31通过贯通孔22向水平板21的上面21a吹出。
[0046]再者，如在图11(a)以实线箭头所示，从第一、第二氧化防止气体流路12、13的各吹出口 16、17，沿着水平板21的上面21a向贯通孔22的中心22c吹出氧化防止气体。如图12所示，从各吹出口 16、17吹出的氧化防止气体，分别在水平板21的上侧，沿着各中心线61 (X方向中心线)、62 (Y方向中心线)的方向前进，碰到贯通孔22之上，之后，从未配置氧化防止气体流路或垂直壁面而开放的水平板21的与中心线61 (X方向中心线)垂直的缘25、与中心线62 (Y方向中心线)垂直的缘23、相对于中心线61 (X方向中心线)及62 (Y方向中心线)倾斜的缘24，向水平板21的外侧流去。再者，从第三氧化防止气体吹出口 83已吹出的氧化防止气体，如图12的以一点炼线箭头所示，进入水平板21的下侧，通过贯通孔22，如图12的实线表示，往水平板21的上面21a的上侧上升之后，从未被各垂直壁面11c、Ild围绕而开放的各缘23、24、25向水平板21的外侧流出。再者，从各吹出口 16、17已吹出的氧化防止气体，藉由相对于水平板21呈垂直壁面的第一、第二块体IlaUlb的各垂直壁面IlcUld形成滞留区域，如图10(a)、图12所示，以从水平板21的上面21a起至垂直壁面IlcUld的上端之间的高度，以包含贯通孔22的区域与贯通孔和垂直壁面IlcUld之间的区域的方式，形成向水平方向扩张的氧化防止气体环境气氛区域70。[0047]如上述，藉由从第三氧化防止气体吹出口 83已吹出的氧化防止气体，预先在水平板21的下侧形成氧化防止气体环境气氛区域75，藉此在毛细管31上升之际，抑制空气回绕至水平板21的上面21a且在水平板21a的上侧形成氧化防止气体环境气氛区域70，因此可以有效抑制在氧化防止气体环境气氛区域70混入有空气。因此，在此氧化防止气体环境气氛区域70之中，在火炬电极35和毛细管31前端的尾引线51之间产生火花，如图11 (b)所示，一旦在毛细管31的前端形成金线结球52，因在氧化防止气体环境气氛区域70之中未混入含氧的空气，能够有效地抑制金线结球52表面的氧化。
[0048]如以上说明，在本实施形态，以在第一块体Ila的与第二块体Ilb相反侧设置第三块体Hf，第三氧化防止气体流路82的中心线84安装在和接合臂32的延伸方向大致同样的方向进行说明，但只要第三氧化防止气体吹出口 83的方向配置成朝在贯通孔22的中心毛细管31接触电极43位置的附近，例如第三氧化防止气体吹出口 83的方向是沿着Y方向的中心线62的方向亦可。
[0049]本发明并不限定于上述所说明的实施型态，所保护的范围还包括由权利要求所规定的本发明的技术范围乃至不脱离本发明的本质的全部的变更以及修改的范畴。
[0050]主要组件符号说明:
[0051]10氧化防止单元
[0052]11本体
[0053]Ila第一块体
[0054]Ilb第二块体
[0055]lie, Ild垂直壁面
[0056]Ile曲面
[0057]Ilf第三块体
[0058]Ilg下面
[0059]12第一氧化防止气体流路
[0060]12a ~12d, 13a ~13d流路区段
[0061]13第二氧化防止气体流路
[0062]14,15导引叶片
[0063]14a第一孔
[0064]14b, 15b导引叶片组合件
[0065]14c, 15c外筒
[0066]15a第二孔
[0067]15d槽
[0068]16,17吹出口
[0069]18第一氧化防止气体供给管
[0070]19第二氧化防止器体供给管
[0071]21水平板
[0072]21a上面 [0073]22贯通孔
[0074]22c中心[0075]23，24，25缘
[0076]31毛细管
[0077]32接合臂
[0078]34, 61, 62, 63中心线
[0079]35火炬电极
[0080]36火炬电极安装孔
[0081]40安装臂
[0082]41接合载台
[0083]42基板
[0084]43电极
[0085]50引线
[0086]51尾引线
[0087]52金线结球
[0088]70，75氧化防止气体环境气氛区域
[0089]81第三氧化防止气体供给管
[0090]82第三氧化防止气体流路
[0091]83第三氧化防止气体吹出口
[0092] 100打线装置
【权利要求】
1.一种打线装置，是藉由引线将半导体芯片的电极与基板的电极之间加以连接，其特征在于，具备: 接合工具，将该引线接合至该各电极； 水平板，设有供该接合工具的前端拔插的贯通孔； 第一氧化防止气体流路，沿着该水平板上面朝向该贯通孔中心吹出氧化防止气体；以及 第二氧化防止气体流路，沿着该水平板上面朝向该贯通孔中心从与该第一氧化防止气体流路交叉的方向吹出氧化防止气体； 该水平板的未配置该各氧化防止气体流路的区域是以该水平板上面的气体可往该水平板的缘的外侧流出的方式开放。
2.根据权利要求1所述的打线装置，其中，在该第一氧化防止气体流路的吹出口的周缘、该第二氧化防止气体流路的吹出口的周缘、该各吹出口的各周缘之间，设在该水平板的上面的壁面以氧化防止气体滞留在其附近的方式延伸。
3.根据权利要求2所述的打线装置，其中，该壁面是从设在该水平板的该贯通孔的周缘分尚设置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的打线装置，其中，该各氧化防止气体流路的连接于该各吹出口的部分，分别为沿着该水平板的上面延伸的直线管路；在该各直线管路的内部分别设有抑制氧化防止气体的偏流的导引叶片。
5.根据权利要求4所述的打线装置，其中，该各导引叶片是将平板组合成十字形以使该直线管路的剖面区分成四个区段；该平板是相对于前述水平板的上面倾斜配置。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的打线装置，其具备从该水平板下面朝向斜下方向对该贯通孔的中心吹出氧化防止气体的第三氧化防止气体流路。
7.根据权利要求6所述的打线装置，其中，该第一氧化防止气体流路、该第二氧化防止气体流路、该第三氧化防止气体流路、该水平板是设在共通的基体部； 该基体部具有壁面，该壁面在该第一氧化防止气体流路的吹出口的周缘、该第二氧化防止气体流路的吹出口的周缘、该各吹出口的各周缘之间配置在该水平板的上面，在其附近氧化防止气体滞留。
8.根据权利要求6所述的打线装置，其中，该第三氧化防止气体流路朝向该接合工具的前端吹出氧化防止气体。
9.根据权利要求7所述的打线装置，其中，该第三氧化防止气体流路朝向该接合工具的前端吹出氧化防止气体。
10.根据权利要求1至3中任一项所述的打线装置，其中，设有火炬电极，该火炬电极从该第一、第二的各氧化防止气体流路的任一方的氧化防止气体流路的吹出口朝向该水平板的该贯通孔延伸，在与往该接合工具前端延伸的引线之间使火花产生以形成金线结球。
11.根据权利要求6所述的打线装置，其中，设有火炬电极，该火炬电极从该第一、第二的各氧化防止气体流路的任一方的氧化防止气体流路的吹出口朝向该水平板的该贯通孔延伸，在与往该接合工具前端延伸的引线之间使火花产生以形成金线结球。
【文档编号】H01L21/60GK103975426SQ201280039641
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2012年5月30日 优先权日:2011年8月16日
【发明者】国吉胜俊, 木内逸人 申请人:株式会社新川