一种可以提高p型背面钝化电池效率的热处理方法
【专利摘要】本发明公开了一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，包括以下步骤：（a）在做完刻蚀的硅片正面沉积氮化硅层，背面蒸镀三氧化二铝；（b）对硅片的背面进行激光开槽处理，然后依次印刷背极背场和正银，并完成烧结；（c）将金属化完成的电池片在无氧无氢状态下进行低温退火处理。这种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法可以增加钝化层中固定负电荷密度，从而增强场效应钝化作用，并且退火过程中Si/Al2O3界面生成SiOx薄层，从而使Si/Al2O3界面缺陷密度降低，最终降低了背面复合，提高了背钝化电池的少子寿命，最终对于电池的开压、电流以及FF都有较好的改善。
【专利说明】一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法
[0001]【技术领域】:
本发明涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法。
[0002]【背景技术】:
目前，背面钝化电池作为一种新兴的高效电池技术，有效的钝化了电池的背面复合，并降低了背表面的反射率，从而有效地吸收了长波段的光，使得电池效率有了大步的飞跃；并且由于钝化层的介入，电池片的翘曲度也得到了一定的改善。
[0003]随着量产的深入，背钝化电池的由于背场欧姆接触不是很好等问题会导致Rs偏大FF偏小，而最终发现，通过短时间的低温退火可以使得FF有着较好的改善，并且由于背面场钝化效应的加强，电池的开压和电流也有一定的提升。
[0004]
【发明内容】
:
本发明所要解决的技术问题是，提供一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，其能够保在增加有限成本的情况下，改善背钝化电池的FF和效率。
[0005]为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的:一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，包括以下步骤:
Ca)在做完刻蚀的硅片正面沉积氮化硅层，背面蒸镀三氧化二铝；
(b)对硅片的背面进行激光开槽处理，然后依次印刷背极背场和正银，并完成烧结；
(C)将金属化完成的电池片在无氧无氢状态下进行低温退火处理。
[0006]优选的，所述步骤(a)中三氧化二铝的厚度为lOOnm。
[0007]优选的，所述步骤(b)中激光开槽的宽度为50um。
[0008]优选的，所述步骤(c)中氧含量和氢含量均小于3%,退火温度为150?350°C,时间为5?IOmin。
[0009]与现有技术相比，本发明的有益之处在于:这种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法可以增加钝化层中固定负电荷密度，从而增强场效应钝化作用，并且退火过程中SiAi2O3界面生成Siox薄层，从而使SiAi2O3界面缺陷密度降低，最终降低了背面复合，提高了背钝化电池的少子寿命，最终对于电池的开压、电流以及FF都有较好的改善。
[0010]【具体实施方式】:
下面通过【具体实施方式】对本发明进行详细描述。
[0011]一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，包括以下步骤:
(a)在做完刻蚀的硅片正面沉积氮化硅层，背面蒸镀三氧化二铝，所述三氧化二铝的厚度为IOOnm ；
(b)对硅片的背面进行激光开槽处理，激光开槽的宽度为50um，然后依次印刷背极背场和正银，并完成烧结；
(c)将金属化完成的电池片在无氧无氢状态下进行低温退火处理，所述氧含量和氢含量均小于3%，退火温度为150?350°C，时间为5?lOmin。
[0012]其【具体实施方式】如下。[0013]实施例一:
取10片完成金属化的背钝化电池放进用氮气为保护气的链式烧结炉中，将氧含量和氢含量均控制在小于3%的状态下，炉温控制在150°c，然后加热5min，接着测试电性能，与之前相比较，电池的开压提升了 0.5mv，电流提升了 15mA，ff提升了 0.015%，效率提升了
0.05%。
[0014]实施例二:
取10片完成金属化的背钝化电池放进用氮作为保护气的链式烧结炉中，将氧含量和氢含量均控制在小于3%的状态下，炉温控制在200°C，然后加热8min，接着测试电性能，与之前相比较，电池的开压提升了 1.5mv，电流提升了 40mA，ff提升了 0.1%，效率提升了
0.18%。
[0015]实施例三:
取10片完成金属化的背钝化电池放进用氮气为保护气的链式烧结炉中，将氧含量和氢含量均控制在小于3%的状态下，炉温控制在250°C，然后加热lOmin，接着测试电性能，与之前相比较，电池的开压提升了 2.3mv,电流提升了 50mA，ff提升了 0.2%，效率提升了
0.28%ο
[0016]实施例四:
取10片完成金属化的背钝化电池放进用氮气为保护气的链式烧结炉中，将氧含量和氢含量均控制在小于3%的状态下，炉温控制在350°C，然后加热lOmin，接着测试电性能，与之前相比较，电池的开压提升了 2 mv,电流提升了 20mA，ff提高了 0.02%，效率提升了 0.03%。
[0017]这种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法可以增加钝化层中固定负电荷密度，从而增强场效应钝化作用，并且退火过程中SiAi2O3界面生成Siox薄层，从而使SiAi2O3界面缺陷密度降低，最终降低了背面复合，提高了背钝化电池的少子寿命，最终对于电池的开压、电流以及FF都有较好的改善。
[0018]需要强调的是:以上仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
【权利要求】
1.一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，其特征是，包括以下步骤: Ca)在做完刻蚀的硅片正面沉积氮化硅层，背面蒸镀三氧化二铝； (b)对硅片的背面进行激光开槽处理，然后依次印刷背极背场和正银，并完成烧结； (C)将金属化完成的电池片在无氧无氢状态下进行低温退火处理。
2.根据权利要求1所述的可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，其特征是，所述步骤(a)中三氧化二铝的厚度为lOOnm。
3.根据权利要求1所述的可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，其特征是，所述步骤(b)中激光开槽的宽度为50um。
4.根据权利要求1所述的可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，其特征是，所述步骤(c)中氧含量和氢含量均小于3%，退火温度为150?350°C，时间为5?lOmin。
【文档编号】H01L31/18GK103928568SQ201410130015
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年4月2日 优先权日:2014年4月2日
【发明者】初仁龙, 费存勇, 王志刚, 鲁伟明 申请人:泰州德通电气有限公司