一种具有透明电极的铟镓砷光电探测器的制造方法与工艺

技术特征：
1.一种具有透明电极的铟镓砷光电探测器，包括从下而上设置的背金属电极、N型InP衬底、非掺杂InP缓冲层、本征InGaAs吸收层、P型InP帽层、正电极和钝化层，其特征在于：所述正电极为透明电极，由石墨烯构成，通过化学气相沉积转移法制备；首先，选用一N型掺杂的InP衬底，在其上通过外延生长非掺杂InP缓冲层、本征InGaAs吸收层、P型掺杂InP帽层；选用一表面有二氧化硅的硅衬底，在其上蒸镀300nm的金属镍，然后放置在化学气相沉积反应室内；加热到900℃，在氩气气氛下，通入甲烷和氢气，生成石墨烯；反应完成后，将生...