底盘自动清洗装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供的底盘自动清洗装置，包括：用于支撑一待清洗装置的标准机械界面、用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台、用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧，所述清洗平台连接所述移动滑轨机构。本实用新型的底盘自动清洗装置，所述控制系统使得所述移动滑轨机构带动所述清洗平台相对于所述标准机械界面移动，从而实现自动清洗底盘的功能，提高底盘的清洗效率和清洗效果，提高了工艺生产的效率。
【专利说明】底盘自动清洗装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及自动控制【技术领域】，特别是涉及一种底盘自动清洗装置。
【背景技术】
[0002]目前，在半导体生产工艺车间内，常用晶盒的底盘的清洗方法是:由一人手拿晶盒，另一人拿无尘布擦拭。显然，这种清洗方法增加了工艺生产的负担，导致工艺生产效率低下。而且，这种方法还会带来其他问题，例如，人为清洗的差异使得底盘清洗的质量难以控制；人为清洗的过程中，晶盒来回搬运导致底盘的磨损或人为擦拭碰撞等，会出现不同程度的刮伤；需要两人配合完成，增加了人力成本；人力搬运晶盒，增加了摔坏晶盒的风险。目前，工艺生产线上很多问题都与底盘颗粒多少有关，晶盒的颗粒源主要来自晶盒的底盘，因此，如何提供一种可以提高清洗效率和清洗效果的底盘自动清洗装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于，提供一种底盘自动清洗装置，解决现有技术中底盘清洗效率低下的问题。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型提供一种底盘自动清洗装置，其特征在于，包括:
[0005]用于支撑一待清洗装置的标准机械界面；
[0006]用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台；
[0007]用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构，所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧；以及
[0008]用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。
[0009]可选的，所述底盘自动清洗装置还包括一用于反馈所述待清洗装置相对于所述标准机械界面位置的反馈系统，所述反馈系统包括一用于检测所述待清洗装置相对于所述标准机械界面位置的位置检测传感器和一用于显示所述待清洗装置相对于所述标准机械界面位置的位置状态显示器。
[0010]可选的，所述标准机械界面内设置有一卡槽，所述位置检测传感器位于所述卡槽内。
[0011]可选的，所述待清洗装置放置在所述标准机械界面时，所述位置状态显示器显示处于到达状态，当所述待清洗装置未放置在所述标准机械界面时，所述位置状态显示器显示处于离开状态。
[0012]可选的，所述控制系统包括一信号处理中心、一操作中心和一信号显示中心，所述信号处理中心接收所述操作中心输入的信号，并将接收到的信号输出到所述信号显示中心，所述信号由所述信号显示中心表达。
[0013]可选的，所述信号显示中心包括一用于记录所述底盘自动清洗装置清洗所述底盘的数量的计数器和一用于显示所述底盘自动清洗装置的工作状态的信号塔，所述操作中心包括一用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的开始按钮和一用于控制所述计数器的数值清零的复位按钮。
[0014]可选的，所述操作中心还包括一用于控制所述底盘自动清洗装置停止工作的紧急操作按钮和一控制所述底盘自动清洗装置恢复工作的警报消除按钮。
[0015]可选的，所述移动滑轨机构包括一马达、一传动杆和一传动带，所述传动带连接所述传动杆和所述马达，所述清洗平台连接所述传动杆。
[0016]可选的，所述移动滑轨机构还包括有一对用于支撑所述清洗平台的定位滑轨，所述定位滑轨分别平行位于所述传动杆两侧。
[0017]可选的，所述清洗平台包括一平台，所述平台面向所述待清洗装置一侧设置有一缓冲海绵、一无尘布和若干卡子，所述卡子将所述无尘布固定于所述缓冲海绵上。
[0018]可选的，所述底盘自动清洗装置还包括一用于遮蔽所述清洗平台的玻璃门。
[0019]与现有技术相比，本实用新型提供的底盘自动清洗装置具有如下有益效果:
[0020]本实用新型提供的底盘自动清洗装置，包括:用于支撑一待清洗装置的标准机械界面、用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台、用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧，所述清洗平台连接所述移动滑轨机构。本实用新型的底盘自动清洗装置，所述控制系统使得所述移动滑轨机构带动所述清洗平台相对于所述标准机械界面移动，从而实现自动清洗底盘的功能，提高底盘的清洗效率和清洗效果，提高了工艺生产的效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1为本实用新型一实施例中底盘自动清洗装置的俯视图；
[0022]图2为图1沿AA’线的剖面图；
[0023]图3为本实用新型一实施例中清洗平台移动过程中的底盘自动装置的剖面图。
【具体实施方式】
[0024]下面将结合示意图对本实用新型的底盘自动清洗装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0025]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0026]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0027]本实用新型的核心思想在于，提供的底盘自动清洗装置，包括:用于支撑一待清洗装置的标准机械界面、用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台、用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧，所述清洗平台连接所述移动滑轨机构。本实用新型的底盘自动清洗装置，所述控制系统使得所述移动滑轨机构带动所述清洗平台相对于所述标准机械界面移动，从而实现自动清洗底盘的功能，提高底盘的清洗效率和清洗效果，提高了工艺生产的效率。
[0028]参考图1，本实用新型的底盘自动清洗装置包括:用于支撑待清洗装置的标准机械界面10、用于清洗所述待清洗装置(例如晶盒)的底盘的清洗平台40、用于驱动所述清洗平台40相对所述标准机械界面10移动的移动滑轨机构300以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述移动平台移动的控制系统500。所述移动滑轨机构300位于所述标准机械界面10背离所述待清洗装置的一侧，所述清洗平台40与所述移动滑轨机构300连接。
[0029]参考图1，本实用新型的底盘自动清洗装置还包括一用于反馈所述待清洗装置相对于所述标准机械界面10位置的反馈系统60，所述反馈系统60包括一用于检测所述待清洗装置相对于所述标准机械界面10位置的位置检测传感器61和一用于显示所述待清洗装置相对于所述标准机械界面10位置的位置状态显示器62。所述标准机械界面10内设置有一卡槽20，所述位置检测传感器61位于所述卡槽20内。当所述待清洗装置放置在所述标准机械界面10时，所述位置状态显示器62显示处于到达状态，当所述待清洗装置未放置在所述标准机械界面10时，所述位置状态显示器62显示处于离开状态。
[0030]所述控制系统500包括一信号处理中心510、一操作中心520和一信号显示中心530，所述信号处理中心510接收所述操作中心520输入的信号，并将接收到的信号输出到所述信号显示中心530，所述信号由所述信号显示中心530表达。所述信号显示中心530包括一用于记录所述底盘自动清洗装置清洗所述底盘的数量的计数器531和一用于显示所述底盘自动清洗装置的工作状态的信号塔532，所述操作中心520包括一用于控制所述移动滑轨机构300带动所述清洗平台40移动的开始按钮521和一用于控制所述计数器的数值清零的复位按钮522。所述计数器531用于记录本实用新型的底盘自动清洗装置清洗的底盘的数量，便于生产过程的管理和控制。触动所述复位按钮522，所述计数器531的数值清零，可以使得所述计数器531重新开始记录本实用新型的底盘自动清洗装置清洗所述待清洗装置的数量。所述信号塔532用于反馈所述本实用新型的底盘自动清洗装置处于工作或是非工作状态，从而工作人员决定放置还是取下需要所述待清洗的装置。
[0031]所述移动滑轨机构300包括一马达310、一传动杆320和一传动带330,所述传动带330连接所述马达310和所述传动杆320，所述清洗平台40连接所述传动杆320。所述控制系统500控制所述马达310转动、停止转动或是改变转动的方向。从而使得所述清洗平台40移动、停止移动或是改变移动方向。优选的，所述移动滑轨机构300有一对用于支撑所述清洗平台40的定位滑轨340，所述定位滑轨341、342平行于所述传动杆320，分别位于所述传动杆320两侧。所述定位滑轨341、342用于支撑所述清洗平台40，使得所述清洗平台40平稳移动。
[0032]参考图2,所述清洗平台40包括一平台41,所述平台41面向所述待清洗装置一侧设置有一缓冲海绵42、一无尘布43和若干卡子44，所述卡子将所述无尘布4344固定于所述缓冲海绵42上。所述无尘布43沾有清洗溶液，例如，异丙醇、酒精等溶液，用于清洗所述待清洗装置底盘上的颗粒等杂质。优选的，所述底盘自动清洗装置还包括一遮蔽所述清洗平台40的玻璃门70。所述玻璃门70为可推拉的门，通常情况下，只在更换所述无尘布43时需要拉开所述玻璃门70，其他情况所述玻璃门70均为关闭状态，以防止所述无尘布43落上灰尘或是其他杂质。
[0033]本实用新型在实施过程中，将所述待清洗装置放置在所述标准机械界面10时，所述位置检测传感器61检测到所述待清洗装置，所述位置状态显示器62显示到达状态，即显示“到达”。此时，触动所述开始521按钮，所述移动滑轨机构300的所述马达310启动，所述马达310通过所述传动带330带动所述传动杆320转动,从而带动所述清洗平台40移动，所述清洗平台40先向所述标准机械界面10所在的方向运动，然后离开所述标准机械界面10，改变移动方向向移动之前的初始位置方向移动，所述清洗平台移动过程中所述信号塔532亮绿色的灯，所述清洗平台移动过程中的底盘自动清洗装置的剖面图参考图3所示。所述清洗平台移动回到初始位置之后，所述马达310停止转动，所述信号塔532亮黄色的灯。所述计数器531的数值增加1，将所述待清洗装置从所述标准机械界面10上搬运下来，此时，位置状态显示器显示处于离开状态，即显示“离开”。此时，所述待清洗装置的清洗所述底盘的过程完毕，可以执行下一个所述待清洗装置的清洗过程。
[0034]优选的，所述操作中心520还包括一用于控制所述底盘自动清洗装置停止工作的紧急操作按钮523和控制所述底盘自动清洗装置恢复工作的警报消除按钮524。触动所述紧急操作523按钮，所述移动滑轨机构300、所述清洗平台40停止运动，所述信号塔531亮红色的灯；触动所述警报消除524按钮，所述信号塔532红色的灯熄灭，所述控制系统500可以使得所述移动滑轨机构300、所述清洗平台40重新启动运动。通常情况下，不使用所述紧急操作523和警报消除524按钮，而在发生诸如大火、切断电源时等其他紧急情况下才需要使用所述紧急操作523和警报消除524按钮。
[0035]综上所述，本实用新型提供的底盘自动清洗装置，包括:用于支撑一待清洗装置的标准机械界面、用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台、用于驱动所述待清洗装置相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构以及用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧，所述清洗平台连接所述移动滑轨机构。本实用新型的底盘自动清洗装置，所述控制系统使得所述移动滑轨机构带动所述清洗平台相对于所述标准机械界面移动，从而实现自动清洗底盘的功能，提高底盘的清洗效率和清洗效果，提高了工艺生产的效率。
[0036]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种底盘自动清洗装置，其特征在于，包括: 用于支撑一待清洗装置的标准机械界面； 用于清洗所述待清洗装置的底盘的清洗平台； 用于驱动所述清洗平台相对所述标准机械界面移动的移动滑轨机构，所述移动滑轨机构位于所述标准机械界面背离所述待清洗装置的一侧；以及 用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的控制系统。
2.如权利要求1所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述底盘自动清洗装置还包括一用于反馈所述待清洗装置相对于所述标准机械界面位置的反馈系统，所述反馈系统包括一用于检测所述待清洗装置相对于所述标准机械界面位置的位置检测传感器和一用于显示所述待清洗装置相对于所述标准机械界面位置的位置状态显示器。
3.如权利要求2所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述标准机械界面内设置有一卡槽，所述位置检测传感器位于所述卡槽内。
4.如权利要求2所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述待清洗装置放置在所述标准机械界面时，所述位置状态显示器显示处于到达状态，当所述待清洗装置未放置在所述标准机械界面时，所述位置状态显示器显示处于离开状态。
5.如权利要求1所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述控制系统包括一信号处理中心、一操作中心和一信号显示中心，所述信号处理中心接收所述操作中心输入的信号，并将接收到的信号输出到所述信号显示中心，所述信号由所述信号显示中心表达。
6.如权利要求5所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述信号显示中心包括一用于记录所述底盘自动清洗装置清洗所述底盘的数量的计数器和一用于显示所述底盘自动清洗装置的工作状态的信号塔，所述操作中心包括一用于控制所述移动滑轨机构带动所述清洗平台移动的开始按钮和一用于控制所述计数器的数值清零的复位按钮。
7.如权利要求5所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述操作中心还包括一用于控制所述底盘自动清洗装置停止工作的紧急操作按钮和控制所述底盘自动清洗装置恢复工作的警报消除按钮。
8.如权利要求1所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述移动滑轨机构包括一马达、一传动杆和一传动带，所述传动带连接所述传动杆和所述马达，所述清洗平台连接所述传动杆。
9.如权利要求8所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述移动滑轨机构还包括有一对用于支撑所述清洗平台的定位滑轨，所述定位滑轨分别平行位于所述传动杆两侧。
10.如权利要求1所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述清洗平台包括一平台，所述平台面向所述待清洗装置一侧设置有一缓冲海绵、一无尘布和若干卡子，所述卡子将所述无尘布固定于所述缓冲海绵上。
11.如权利要求1所述的底盘自动清洗装置，其特征在于，所述底盘自动清洗装置还包括一用于遮蔽所述清洗平台的玻璃门。
【文档编号】H01L21/02GK203991592SQ201420416559
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月25日 优先权日:2014年7月25日
【发明者】惠海霞, 朱瑜杰, 孙强, 陈思安 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司