1.一种工业用机器人,其在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆,且构成EFEM的一部分,其特征在于,所述工业用机器人包括:
机器人主体;以及
升降机构,所述升降机构配置在所述机器人主体的外部,且使所述机器人主体升降,
所述机器人主体具有:
手,所述手装载所述半导体晶圆;
臂,所述臂由彼此能够相对转动地连接的多个臂部构成,且所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧;
主体部,所述臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部;以及
臂升降机构,所述臂升降机构使所述臂升降,
如果以多个所述FOUP的排列方向为第一方向,以与上下方向和所述第一方向正交的方向为第二方向,以所述第二方向的一方为第三方向,以所述第二方向的另一方为第四方向,
则从上下方向观察时,所述臂的基端侧相对于所述主体部的转动中心配置在比所述主体部的中心靠所述第三方向侧的位置,
在所述臂缩回、多个所述臂部及所述手在上下方向上重叠的所述工业用机器人的待机状态下,所述臂的一部分配置在比所述主体部靠所述第四方向侧的位置,
所述升降机构配置在所述主体部的所述第一方向的两侧中的至少一侧和/或所述主体部的所述第四方向侧,
所述升降机构具有:
驱动部,所述驱动部用于朝向上下方向驱动所述机器人主体;
两个导轨,所述导轨用于朝向上下方向引导所述机器人主体;
导向块,所述导向块分别与两个所述导轨卡合并朝向上下方向滑动;
壳体,所述壳体容纳所述驱动部、所述导轨以及所述导向块;
两个连接部件,所述连接部件被固定于所述导向块;以及
固定部件,所述固定部件被固定于所述连接部件,
所述壳体具有配置在所述导向块与所述主体部之间的平板状的前表面部,
两个所述导轨以在所述第一方向上隔着间隔的状态配置,
两个所述连接部件以在所述第一方向上隔着间隔的状态配置,
在所述前表面部上,以所述连接部件能够朝向上下方向移动的方式且以在所述第一方向上隔着间隔的状态形成有上下方向细长的狭缝状的两个贯通孔,
在两个所述连接部件上分别以通过所述贯通孔的方式形成有分别配置于两个所述贯通孔的贯通孔通过部,
在两个所述贯通孔通过部的末端面固定有所述固定部件,所述固定部件配置于所述壳体的外部,所述固定部件与所述连接部件分体形成,且形成为以所述第二方向为厚度方向的平板状,
在所述固定部件上固定有配置于所述壳体外部的所述机器人主体的所述主体部。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,
所述臂具有作为所述臂部的第一臂部,所述第一臂部的基端侧能够转动地连接到所述主体部,
在从上下方向观察时,所述升降机构被容纳在所述第一臂部相对于所述主体部的转动区域内。
3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人,其特征在于,
所述主体部形成为在从上下方向观察时的形状呈具有与所述第一方向平行的侧面的大致长方形或大致正方形。
4.根据权利要求3所述的工业用机器人,其特征在于,
在所述升降机构安装有所述主体部的所述第四方向侧的侧面。
5.一种工业用机器人,其构成EFEM的一部分,且在FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆,其特征在于,所述工业用机器人具有:
机器人主体;以及
升降机构,所述升降机构配置在所述机器人主体的外部,且使所述机器人主体升降,
所述机器人主体具有:
手,所述手装载所述半导体晶圆;
臂,所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧;
主体部,所述臂的基端侧能够转动地连接到所述主体部;以及
臂升降机构,所述臂升降机构使所述臂升降,
所述升降机构具有:
驱动部,所述驱动部用于朝向上下方向驱动所述机器人主体;
两个导轨,所述导轨用于朝向上下方向引导所述机器人主体;
导向块,所述导向块分别与两个所述导轨卡合并朝向上下方向滑动;
壳体,所述壳体容纳所述驱动部、所述导轨以及所述导向块;
两个连接部件,所述连接部件用于连接配置于所述壳体的外部的所述机器人主体和所述导向块;
接续部件,所述接续部件配置在所述壳体的内部,并将两个所述连接部件连接;以及
两个排气扇,所述排气扇安装于所述壳体,且将所述壳体的内部的空气排到所述EFEM的外部,
所述壳体具有配置在所述导向块与所述主体部之间的平板状的外罩,
上下方向细长的狭缝状的贯通孔以所述连接部件能够朝向上下方向移动的方式形成于所述外罩,
在所述连接部件处形成有配置于所述贯通孔的贯通孔通过部,
在与所述外罩的厚度方向和上下方向正交的所述贯通孔的宽度方向上的所述贯通孔通过部的宽度以及所述贯通孔的宽度形成得比所述贯通孔的宽度方向上的所述导向块的宽度窄,
两个所述导轨以在所述贯通孔的宽度方向上隔着规定的间隔的状态配置,
所述驱动部具有:作为驱动源的马达;滚珠丝杠,所述滚珠丝杠利用所述马达的动力旋转;以及螺母部件,所述螺母部件与所述滚珠丝杠螺纹连接,且所述驱动部在所述贯通孔的宽度方向上配置于两个所述导轨之间,
所述马达与所述滚珠丝杠在所述贯通孔的宽度方向上邻接配置,
两个所述排气扇中的一个所述排气扇在所述外罩的厚度方向上与所述马达邻接配置,另一个所述排气扇在所述外罩的厚度方向上与所述滚珠丝杠邻接配置,
两个所述连接部件分别固定于分别与两个所述导轨卡合的所述导向块,
在两个所述连接部件中的一个所述连接部件上固定有所述螺母部件。
6.根据权利要求5所述的工业用机器人,其特征在于,
所述主体部形成为在从上下方向观察时的形状呈大致长方形或大致正方形,
所述升降机构具有固定部件,所述固定部件配置在所述壳体的外部,且固定所述主体部的一个侧面,
在所述贯通孔通过部的末端固定有所述固定部件。