技术总结
一种工业用机器人，该工业用机器人在沿一定方向排列的多个FOUP与半导体晶圆处理装置之间搬运半导体晶圆，且构成EFEM的一部分，即使使机器人主体升降的升降机构配置在机器人主体的外部，也能够在与多个FOUP的排列方向以及上下方向正交的方向上将EFEM小型化。在工业用机器人(1)中，在臂(16)缩回、多个臂部(18至20)及手(14、15)在上下方向上重叠的工业用机器人(1)的待机状态下，臂(16)的一部分配置在比机器人主体(3)的主体部(17)靠Y2方向侧的位置。在工业用机器人(1)中，在使机器人主体(3)升降的升降机构(4)固定主体部(17)，且升降机构(4)配置在主体部(17)的Y2方向侧。
技术研发人员：北原康行;风间俊道;栗林保;斋地正义
受保护的技术使用者：日本电产三协株式会社
技术研发日：2014.08.06
技术公布日：2018.07.20