场效应管的制造方法与流程

文档序号:12180161阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种场效应管的制造方法,其特征在于,包括:

在生长有栅氧化层的外延基片表面形成第一多晶硅区,所述第一多晶硅区包括间隔设置的第一多晶硅段和第二多晶硅段,第一多晶硅段与栅极区对应设置,第二多晶硅段与源极区对应设置;

在形成有所述第一多晶硅区的外延基片上形成阱区;

在所述第一多晶硅区的表面淀积二氧化硅;

在所述二氧化硅表面形成第二多晶硅区,所述第二多晶硅区与二极管区对应设置;

对所述外延基片进行高温驱入;

在所述第一多晶硅区表面进行光刻和源区离子注入;

在所述第二多晶硅区表面进行光刻和离子注入,形成场效应管的齐纳二极管;

在所述第一多晶硅区表面和所述第二多晶硅区表面淀积介质层,并进行回流;

在所述介质层表面进行接触孔光刻、刻蚀、金属淀积、金属反刻形成所述场效应管的源极和删极。

2.根据权利要求1所述的场效应管的制造方法,其特征在于,在生长有栅氧化层的外延基片表面形成第一多晶硅区,包括:

在所述栅氧化层的表面形成第一多晶硅层;

对所述第一多晶硅层进行掺杂、光刻和刻蚀,形成第一多晶硅区。

3.根据权利要求1所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述在所述二氧化硅表面形成第二多晶硅区,包括:

在所述二氧化硅表面形成第二多晶硅层;

对所述第二多晶硅层和所述二氧化硅进行光刻和刻蚀,形成第二多晶硅区。

4.根据权利要求1所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述在所述第二多晶硅区表面进行光刻和离子注入,形成场效应管的齐纳二极管,包括:

在所述第二多晶硅区表面进行P区光刻和离子注入,形成齐纳二极管的 P极;

在所述第二多晶硅区表面进行N区光刻和离子注入,形成齐纳二极管的N极。

5.根据权利要求1-4任一所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述场效应管为N型场效应管,所述在形成有所述第一多晶硅区的外延基片上形成阱区,包括:

在形成有所述第一多晶硅区的外延基片上注入P型离子;

对所述第一多晶硅区进行光刻和P+离子注入,形成阱区。

6.根据权利要求5所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述源区离子为N型离子,所述源区离子注入能量为80千电子伏特~120千电子伏特。

7.根据权利要求5所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述在所述第二多晶硅区表面进行P区光刻和离子注入,包括:

在所述第二多晶硅区表面进行P区光刻,注入浓度在1E13个/平方厘米至1E14个/平方厘米之间的P型离子。

8.根据权利要求7所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述在所述第二多晶硅区表面进行N区光刻和离子注入,包括:

在所述第二多晶硅区表面进行N区光刻,注入浓度在1E14个/平方厘米至1E15个/平方厘米之间的N型离子。

9.根据权利要求7或8所述的场效应管的制造方法,其特征在于,所述P型离子注入能量为80千电子伏特~120千电子伏特。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1