技术总结
本发明提供的托盘组件，其包括用于承载多个基片的托盘主体和盖板，其中，在该托盘主体内设置有直流电极，直流电极与直流电源电连接。盖板设置在托盘主体上，且压住各个被加工工件上表面的边缘区域；并且，盖板采用导电材料制作，以在直流电极与盖板之间产生静电引力。本发明提供的托盘组件，其可以在实现对基片良好固定的前提下，采用较小的电压吸附基片，从而可以避免托盘组件损坏的情况，解决了蓝宝石基片吸附困难的问题。
技术研发人员：张宝辉;张伟涛;栾大为;王伟
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201510896190
技术研发日：2015.12.08
技术公布日：2017.06.16