1.一种基板运输设备，包括：
框架；
上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架；
前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部；以及
独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂，所述前臂对所述独立堆叠式末端效应器是公共的，其中，至少一个末端效应器在腕轴线处安装至所述堆叠式前臂部；
其中，所述前臂配置为将安装至所述堆叠式前臂部的所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接，从而容纳通过的器械。
2.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，所述堆叠式前臂部包括上前臂部和下前臂部，所述上前臂部和所述下前臂部通过连接件彼此连接，从而使所述上前臂部和所述下前臂部形成一件式装配单元。
3.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，所述至少一个末端效应器安装至所述上前臂部和所述下前臂部中的至少一个并且设置在所述上臂部与下前臂部之间。
4.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，所述至少一个末端效应器在所述上前臂部与所述下前臂部之间整体经过。
5.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，所述至少一个末端效应器包括旋转安装至所述上前臂部的第一末端效应器和能够旋转地安装至所述下前臂部的第二末端效应器，其中，所述第一末端效应器和第二末端效应器以相对的关系设置在所述上前臂部和所述下前臂部之间。
6.根据权利要求5所述的基板运输设备，其中，所述腕轴线是所述第一末端效应器和所述第二末端效应器的公共旋转轴线。
7.根据权利要求5所述的基板运输设备，其中，所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的每个能够独立于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的另一个旋转。
8.根据权利要求5所述的基板运输设备，其中，所述第一末端效应器和所述第二末端效应器通过设置在相对的所述第一末端效应器和所述第二末端效应器之间的轴承彼此联接。
9.根据权利要求5所述的基板运输设备，其中，所述第一末端效应器和所述第二末端效应器彼此联接，从而使所述第一末端效应器和所述第二末端效应器作为一个单元绕所述腕轴线旋转。
10.根据权利要求5所述的基板运输设备，其中，将用于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的每个的电线和气动线，独立于用于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的另一个的电线和气动线布线，从所述前臂大体上直接地提供给所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的相应的一个。
11.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，至少一个晶片中心发现传感器设置在所述前臂上，其中，所述至少一个晶片中心发现传感器设置为感测在所述上前臂部与所述下前臂部之间经过的、保持在所述至少一个末端效应器上的基板。
12.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，所述至少一个末端效应器配置为使保持在所述至少一个末端效应器上的所述基板在所述上前臂部与所述下前臂部之间旋转经过。
13.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，至少一个末端效应器以悬臂形式从所述连接件伸展出来，以便在所述上前臂部与所述下前臂部之间延伸。
14.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，所述至少一个末端效应器进一步包括旋转基板保持器和基板方向检测传感器，设置在所述上前臂部和所述下前臂部中的一个或者多个上，所述基板方向检测传感器配置为检测由所述旋转基板保持器保持并且旋转的基板的基板对齐特征部。
15.根据权利要求2所述的基板运输设备，其中，所述至少一个末端效应器移动地安装至所述连接件以在与所述至少一个基板保持器的旋转平面大体上垂直的方向上移动。
16.根据权利要求1所述的基板运输设备，进一步包括分布式驱动部，所述分布式驱动部具有驱动马达，所述驱动马达大体上绕所述肩轴线、所述肘轴线和所述腕轴线中的至少两个设置用于驱动所述上臂、所述前臂和至少一个末端效应器中的相应的个。
17.根据权利要求1所述的基板运输设备，进一步包括至少一个同轴驱动轴布置，其中，在所述同轴驱动轴布置中的每个轴驱动地联接至所述上臂、所述前臂和至少一个末端效应器中的相应的一个。
18.根据权利要求1所述的基板运输设备，进一步包括末端效应器马达，所述末端效应器马达设置在所述前臂中并且从所述肘轴线和所述腕轴线偏移。
19.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，所述堆叠式前臂部中的一个形成支撑件，所述支撑件与所述堆叠式前臂部中的另一个间隔开以形成通过部，所述独立堆叠式末端效应器旋转通过所述通过部。
20.根据权利要求19所述的基板运输设备，其中，所述支撑件联接至所述堆叠式前臂部中的另一个从而使所述支撑件和所述堆叠式前臂部中的另一个作为一个单元旋转，并且所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述堆叠式前臂部中的另一个。
21.根据权利要求19所述的基板运输设备，其中，所述支撑件允许至少一个通过的器械越过所述支撑件通过或者通过所述支撑件。
22.根据权利要求19所述的基板运输设备，其中，至少一个传感器设置在所述支撑件和所述堆叠式前臂部的另一个中的一个或者多个上，其中，所述至少一个传感器设置为感测在所述支撑件与所述堆叠式前臂部中的另一个之间旋转的、保持在至少一个末端效应器上的基板。
23.一种基板运输设备，包括：
框架；
基座件，所述基座件绕基座件旋转轴线旋转安装至所述框架；
至少一个关节臂，所述至少一个关节臂绕相应的肩轴线安装至所述基座件，所述至少一个关节臂中的每个包括：
上臂，所述上臂绕所述相应的肩轴线旋转安装，
前臂，所述前臂绕肘轴线旋转联接至所述上臂并且具有上前臂部和下前臂部，所述上前臂部和所述下前臂部彼此连接以作为一个单元绕所述肘轴线旋转，以及
独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器绕公共腕轴线旋转安装至所述上前臂部和所述下前臂部中的至少一个；
其中，所述前臂配置为将在安装至所述上前臂部和所述下前臂部中的至少一个的独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在所述独立堆叠式末端效应器之间的高度积聚解除联接。
24.根据权利要求23所述的基板运输设备，其中，所述至少一个关节臂包括相对于所述基座件旋转轴线安装至所述基座件的相对端的两个关节臂。
25.根据权利要求23所述的基板运输设备，进一步包括驱动部，所述驱动部连接至所述至少一个关节臂，从而将所述至少一个关节臂中的每个的延伸和缩回联接至所述至少一个关节臂中的另一个。
26.根据权利要求23所述的基板运输设备，进一步包括驱动部，所述驱动部连接至所述至少一个关节臂，从而使所述至少一个关节臂中的每个独立于所述至少一个关节臂中的另一个延伸和缩回。
27.根据权利要求23所述的基板运输设备，其中，所述独立堆叠式末端效应器包括旋转安装至所述上前臂部的第一末端效应器和旋转安装至所述下前臂部的第二末端效应器，其中，所述第一末端效应器和第二末端效应器以相对的关系设置在所述上前臂部与所述下前臂部之间。
28.根据权利要求27所述的基板运输设备，其中，将用于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的每个的电线和气动线，独立于用于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的另一个的电线和气动线布线，从所述前臂大体上直接地提供给所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的相应的一个。
29.根据权利要求23所述的基板运输设备，其中，至少一个晶片中心发现传感器设置在所述前臂上，其中，所述至少一个晶片中心发现传感器设置为感测在所述上前臂部与所述下前臂部之间经过的、保持在所述独立堆叠式效应器中的至少一个末端效应器上的基板。
30.根据权利要求23所述的基板运输设备，其中，所述独立堆叠式末端效应器配置为使保持在所述独立堆叠式末端效应器中的每个上的基板在所述上前臂部与所述下前臂部之间旋转经过。
31.根据权利要求23所述的基板运输设备，其中，所述上前臂部形成支撑件，所述支撑件与所述下前臂部间隔开以形成通过部，所述独立堆叠式末端效应器旋转通过所述通过部。
32.根据权利要求31所述的基板运输设备，其中，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述下前臂部。
33.根据权利要求31所述的基板运输设备，其中，所述支撑件允许至少一个通过的器械越过所述支撑件通过或者通过所述支撑件。
34.根据权利要求31所述的基板运输设备，其中，至少一个传感器设置在所述支撑件和所述下前臂部中的一个或者多个上，其中，所述至少一个传感器设置为感测在所述支撑件与所述下前臂部之间旋转的、保持在所述独立堆叠式末端效应器中的至少一个末端效应器上的基板。
35.根据权利要求23所述的基板运输设备，其中，将在所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在独立堆叠式末端效应器之间的高度积聚解除联接，以容纳通过的器械。
36.一种基板处理设备，包括：
框架，所述框架形成腔室；
运输设备，所述运输设备至少部分地设置在所述腔室内，所述运输设备包括：
驱动部，所述驱动部连接至所述腔室；
上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述驱动部；
前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的分支式前臂部；以及
独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂，所述前臂对所述独立堆叠式末端效应器是公共的，其中，至少一个末端效应器在腕轴线处安装至所述分支式前臂部；
其中，所述前臂配置为将在安装至所述分支式前臂部的所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接。
37.根据权利要求36所述的基板处理设备，其中，所述分支式前臂部包括上前臂部和下前臂部，所述上前臂部和所述下前臂部通过连接件彼此连接，从而使所述上前臂部和所述下前臂部形成一件式装配单元。
38.根据权利要求37所述的基板处理设备，其中，所述至少一个末端效应器安装至所述上前臂部和所述下前臂部中的至少一个并且设置在所述上臂部与下前臂部之间。
39.根据权利要求37所述的基板处理设备，其中，所述至少一个末端效应器能够在所述上前臂部与所述下前臂部之间整体经过。
40.根据权利要求37所述的基板处理设备，其中，所述独立堆叠式末端效应器包括第一末端效应器和第二末端效应器，并且，将用于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的每个的电线和气动线，独立于用于所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的另一个的电线和气动线布线，从所述前臂大体上直接地提供给所述第一末端效应器和所述第二末端效应器中的相应的一个。
41.根据权利要求37所述的基板处理设备，其中，至少一个晶片中心发现传感器设置在所述前臂上，其中，所述至少一个晶片中心发现传感器设置为感测在所述分支式前臂部之间经过的、保持在所述至少一个末端效应器上的基板。
42.根据权利要求36所述的基板运输设备，其中，将在所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接，从而容纳通过的器械。