1.一种执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在所述衬底上形成图案，所述压印设备包括：
测量单元，所述测量单元配置为测量所述模具和所述衬底的相对位置；
光源单元，所述光源单元配置为发射用于固化所述压印材料的光；
扫描单元，所述扫描单元配置为在所述衬底上扫描来自所述光源单元的光；以及
控制单元，所述控制单元配置为控制所述压印处理；
其中所述控制单元通过在基于所述测量单元的测量结果部分地使所述模具和所述衬底彼此对齐的同时使得所述扫描单元扫描光来执行所述压印处理。
2.根据权利要求1所述的压印设备，其中所述控制单元基于所述测量单元的测量结果顺序地执行模具的部分和对应于模具的所述部分的衬底的部分之间的对齐，并且通过使得所述扫描单元扫描光来从已执行对齐的部分开始执行所述压印处理。
3.根据权利要求2所述的压印设备，其中所述控制单元在使得所述扫描单元扫描光的同时基于所述测量单元的测量结果执行还未执行所述压印处理的衬底上的部分和对应于模具的所述部分的模具的部分之间的对齐。
4.根据权利要求1所述的压印设备，进一步包括变形单元，所述变形单元配置为使所述模具变形以使得所述模具在衬底侧具有凸形状，
其中所述控制单元控制所述模具的由所述变形单元引起的变形，使得所述模具和所述衬底上的压印材料之间的接触面从所述衬底的中心部起在径向上扩展，并且通过根据所述接触面的扩展使得所述扫描单元在所述接触面上顺序地扫描光来执行所述压印处理。
5.根据权利要求1所述的压印设备，进一步包括变形单元，所述变形单元配置为使所述模具变形，
其中所述控制单元控制所述模具的由所述变形单元引起的变形，使得所述模具和所述衬底上的压印材料之间的接触面相对于所述衬底的中心部从一侧的外围部分向另一侧的外围部分扩展，并且通过根据所述接触面的扩展使得所述扫描单元在所述接触面上顺序地扫描光来执行所述压印处理。
6.根据权利要求1所述的压印设备，其中所述测量单元
包括显微镜，所述显微镜配置为检测为所述模具设置的标记和为所述衬底设置的标记，以及
基于所述显微镜的检测结果获得所述相对位置。
7.根据权利要求6所述的压印设备，其中为所述模具和所述衬底中的每个设置由所述测量单元检测的多个标记，以及
对于所述模具和所述衬底中的每个，所述测量单元根据所述扫描单元的光的扫描从所述多个标记中选择充当检测目标的标记。
8.根据权利要求1所述的压印设备，其中所述测量单元
包括配置为分别检测所述模具的位置和所述衬底的位置的干涉仪，以及
基于所述干涉仪的检测结果获得所述相对位置。
9.根据权利要求1所述的压印设备，进一步包括观察单元，所述观察单元配置为观察由来自所述光源单元的光的照射引起的所述衬底上的压印材料的固化状态。
10.根据权利要求1所述的压印设备，其中所述光源单元包括在垂直于所述扫描单元的扫描方向的方向上排列的多个光源。
11.根据权利要求10所述的压印设备，其中所述多个光源中的每个由灯和配置为引导来自所述灯的光并且使得来自所述灯的光射出的光学构件、或者由LED形成。
12.根据权利要求1所述的压印设备，其中所述扫描单元在所述测量单元和所述模具之间移动所述光源单元。
13.一种执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在所述衬底上形成图案，所述压印设备包括：
检测单元，所述检测单元配置为检测为所述模具设置的标记和为所述衬底设置的标记；
光源单元，所述光源单元配置为发射用于固化所述压印材料的光；以及
扫描单元，所述扫描单元配置为在所述检测单元和所述模具之间移动所述光源单元。
14.根据权利要求13所述的压印设备，进一步包括控制单元，所述控制单元配置为通过在基于所述检测单元的检测结果部分地对齐所述模具和所述衬底的同时使得所述扫描单元移动所述光源单元来执行所述压印处理。
15.一种制造物品的方法，所述方法包括：
使用压印设备在衬底上形成图案；以及
处理其上已形成图案的所述衬底；
其中所述压印设备执行压印处理，所述压印处理通过使用模具使所述衬底上的压印材料成型来在所述衬底上形成所述图案，并且所述压印设备包括：
测量单元，所述测量单元配置为测量所述模具和所述衬底的相对位置；
光源单元，所述光源单元配置为发射用于固化所述压印材料的光；
扫描单元，所述扫描单元配置为在所述衬底上扫描来自所述光源单元的光；以及
控制单元，所述控制单元配置为控制所述压印处理；
其中所述控制单元通过在基于所述测量单元的测量结果部分地使所述模具和所述衬底彼此对齐的同时使得所述扫描单元扫描光来执行所述压印处理。
16.一种制造物品的方法，所述方法包括：
使用压印设备在衬底上形成图案；以及
处理其上已形成图案的所述衬底；
其中所述压印设备执行压印处理，所述压印处理通过使用模具使所述衬底上的压印材料成型来在所述衬底上形成所述图案，并且所述压印设备包括：
检测单元，所述检测单元配置为检测为所述模具设置的标记和为所述衬底设置的标记；
光源单元，所述光源单元配置为发射用于固化所述压印材料的光；以及
扫描单元，所述扫描单元配置为在所述检测单元和所述模具之间移动所述光源单元。