技术总结
本发明提供执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在衬底上形成图案，所述设备包括配置为测量模具和衬底的相对位置的测量单元、配置为发射用于固化压印材料的光的光源单元、配置为在衬底上扫描来自光源单元的光的扫描单元以及配置为控制压印处理的控制单元，其中控制单元通过在基于测量单元的测量结果部分地使模具和衬底彼此对齐的同时使得扫描单元扫描光来执行压印处理。
技术研发人员：佐藤浩司
受保护的技术使用者：佳能株式会社
文档号码：201580030048
技术研发日：2015.05.15
技术公布日：2017.02.15