技术总结
实施方式的气相生长装置具备：n个反应室，n为2以上的整数；主气体供给路，向n个反应室供给工艺气体；主质量流量控制器，设置于主气体供给路，控制工艺气体的流量；分支部，将主气体供给路分支；n条副气体供给路，在分支部分支，向n个反应室供给被分流的工艺气体；n个第一截止阀，设置在n条副气体供给路的分支部与n个反应室之间，以至分支部的距离比至反应室的距离短的方式配置，能够截断工艺气体的流动；以及n个副质量流量控制器，设置在n条副气体供给路的n个第一截止阀与n个反应室之间，控制流经n条副气体供给路的工艺气体的流量。
技术研发人员：高桥英志;佐藤裕辅
受保护的技术使用者：纽富来科技股份有限公司
文档号码：201580045081
技术研发日：2015.11.04
技术公布日：2017.05.31