用于改善工件温度均匀性的设备的制作方法

技术特征：

技术总结
揭示一种用于在处理期间改善工件温度均匀性的设备和方法。设备包含沿着平台的外周安置的环形加热器组合件。环形加热器组合件包含安置于其中或其上的加热元件，其中这些加热元件产生用以加温工件的外边缘的热量。在一些实施例中，环形加热器组合件伸出工件的边缘并且可以暴露于离子束中。

技术研发人员：史蒂芬·M·恩尔拉;麦可·A·斯库拉么尔
受保护的技术使用者：瓦里安半导体设备公司
技术研发日：2015.11.23
技术公布日：2017.08.18