技术特征：
技术总结
一种改善鳍式场效应管性能的方法，包括：提供衬底，所述衬底表面形成有分立的鳍部；在所述鳍部侧壁表面、或者在所述鳍部顶部表面和侧壁表面形成化学氧化层；在所述化学氧化层表面形成掺杂层，所述掺杂层内具有掺杂离子；对所述掺杂层进行退火处理，使所述掺杂离子扩散进入鳍部内，形成掺杂区。本发明在鳍部表面形成化学氧化层，从而防止鳍部与外界环境接触而形成自然氧化物，还防止鳍部与形成掺杂层过程中的氧相接触形成致密度高的自然氧化物，本发明中掺杂层与鳍部之间的扩散界面性能好，掺杂层内的掺杂离子经由化学氧化层易扩散至鳍部内，提高掺杂效率，从而改善形成的鳍式场效应管的性能。
技术研发人员：李勇
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日：2016.01.07
技术公布日：2017.07.14