1.一种有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,包括:
第一涂覆装置,用于在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物;
第二涂覆装置,用于在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物;以及
蒸镀装置,其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连,对被搬送的所述第一有机物用施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上,接着对所述第二有机物用施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上。
2.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述第一有机物用施体基板包括:
第一施体基板,设置在所述第一涂覆装置中,所述第一有机物经过一次溶液涂覆被涂覆在该第一施体基板上;
第二施体基板,设置在所述蒸镀装置中,当对所述第一施体基板施加电场时,一次溶液涂覆在所述第一施体基板上的所述第一有机物被二次蒸镀到该第二施体基板上。
3.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
进一步包括第n涂覆装置,用于在第n有机物用施体基板涂覆第n有机物,其中n是正整数,
所述蒸镀装置与所述第n涂覆装置相连,对被搬送的所述第n有机物用施体基板施加电场,从而对搬送到第n位置的所述元件基板进行蒸镀,所述蒸镀装置进一步包括元件基板搬送装置,所述元件基板搬送装置将所述元件基板从第n位置搬送到第n+1位置。
4.根据权利要求3所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述n为1至4中的任一整数,
所述第一涂覆装置包括用于喷涂HIL有机物的HIL涂覆室,
所述第二涂覆装置包括用于喷涂HTL有机物的HTL涂覆室,
所述第三涂覆装置包括用于喷涂EML有机物的EML涂覆室,
所述第四涂覆装置包括用于喷涂ETL有机物的ETL涂覆室。
5.根据权利要求4所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述n为1至5中的任一整数,
所述第五涂覆装置包括用于喷涂EIL有机物的EIL涂覆室。
6.根据权利要求5所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
在所述EML涂覆室中,将EML有机物涂覆在EML有机物用第一施体基板上,
所述蒸镀装置对通过施体基板搬送装置搬送的所述EML有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述EML有机物蒸镀到EML有机物用第二施体基板上,并对所述EML有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述EML有机物蒸镀到所述元件基板上。
7.据权利要求6所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述EML有机物用第一施体基板以朝上的方式设置在所述EML涂覆室中,并由所述施体基板搬送装置进行水平搬送,
所述EML有机物用第二施体基板以朝下的方式设置在第一高度上,能够通过驱动部下降到第二高度,以便能够与水平搬送到所述蒸镀装置中的所述EML有机物用第一施体基板隔开第一间隔,
所述元件基板以朝上的方式设置在所述EML有机物用第二施体基板的下方。
8.据权利要求6所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述EML有机物用第一施体基板包括电热层上未形成有图案的无图案型四边形薄膜层,
所述EML有机物用第二施体基板包括电热层上形成有图案或者电热层上形成具有图案的隔壁层的图案型四边形薄膜层。
9.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述第一涂覆装置在第一有机物用第一施体基板涂覆第一有机物,
所述蒸镀装置对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到第一有机物用第二施体基板上,接着对所述第一有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到所述元件基板上。
10.根据权利要求9所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述蒸镀装置包括:
蒸镀室,在其内部能够形成真空环境;
第一供电装置,设置在所述蒸镀室的一侧,对所述第一施体基板施加电场;
第二供电装置,设置在所述蒸镀室的另一侧,对所述第二施体基板施加电场。
11.根据权利要求10所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述蒸镀室是连通式长方形腔室,其前端形成有投入口,后端形成有排出口,沿着长度方向延伸,以使一侧分别与所述第一涂覆装置和所述第二涂覆装置相连,并且内部设置有具备连通口的隔板或者门板。
12.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述第一涂覆装置包括:
第一侧方涂覆室,其以所述蒸镀装置的长度方向为基准,设置在第一宽度方向上;
第二侧方涂覆室,其以所述蒸镀装置的所述长度方向为基准,设置在第二宽度方向上。
13.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,进一步包括:
装载装置,用于将所述元件基板装载到所述蒸镀装置的第一位置;
卸载装置,用于从所述蒸镀装置卸载所述元件基板;以及
控制部,向所述第一涂覆装置、所述第二涂覆装置、所述蒸镀装置、所述装载装置以及所述卸载装置施加控制信号。
14.根据权利要求13所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,进一步包括:
第一电极形成装置,设置在所述装载装置与所述蒸镀装置之间,用于在所述元件基板上形成第一电极层。
15.根据权利要求13所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,进一步包括:
第二电极形成装置,设置在所述蒸镀装置与所述卸载装置之间,用于在所述元件基板上形成第二电极层。
16.根据权利要求15所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,进一步包括:
封装装置,设置在所述第二电极形成装置与所述卸载装置之间,用于对所述元件基板进行封装。
17.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述第一涂覆装置包括:
第一涂覆室;
喷雾装置,设置在所述第一涂覆室中,用于向所述第一有机物用施体基板喷涂所述第一有机物;
固化装置,通过烘烤板或者光照射装置,使涂覆在所述第一有机物用施体基板上的所述第一有机物固化;以及
施体基板搬送装置,用于将所述第一有机物用施体基板搬送到所述蒸镀装置中。
18.根据权利要求17所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述第一涂覆室是进行喷涂后能够形成真空环境的加载互锁室兼喷雾室。
19.根据权利要求17所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述喷雾装置是能够在真空环境下喷涂所述第一有机物的真空喷雾装置。
20.根据权利要求10所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
在所述蒸镀装置与所述第一涂覆装置之间、或者所述装载装置与所述蒸镀装置之间设置有加载互锁室。
21.根据权利要求20所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述加载互锁室是垂直加载型加载互锁室,其能够将多个所述元件基板沿着垂直方向加载在托盘上。
22.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
在所述第一涂覆装置以及所述蒸镀装置中的任意一个以上的装置上设置有对齐装置,用于对齐所述第一有机物用第一施体基板或者所述元件基板。
23.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,
所述对齐装置包括能够进行多轴对齐的多轴对齐装置。
24.一种有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,包括:
第一涂覆装置,用于在第一有机物用第一施体基板涂覆第一有机物;
第二涂覆装置,用于在第二有机物用第一施体基板涂覆第二有机物;
蒸镀装置,其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连,对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到第一有机物用第二施体基板上,接着对通过施体基板搬送装置搬送的所述第二有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到第二有机物用第二施体基板上;
装载装置,用于将元件基板装载到所述蒸镀装置的第一位置;
元件基板搬送装置,设置在所述蒸镀装置中,将所述元件基板从所述第一位置搬送到第二位置;
卸载装置,用于从所述蒸镀装置卸载所述元件基板;以及
控制部,向所述第一涂覆装置、所述第二涂覆装置、所述蒸镀装置、所述装载装置、所述元件基板搬送装置以及所述卸载装置施加控制信号,
所述蒸镀装置对所述第一有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到位于所述第一位置的元件基板上,接着对所述第二有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到位于所述第二位置的所述元件基板的所述第一有机物上。
25.一种有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,包括:
第一涂覆装置,用于在第一有机物用第一施体基板涂覆第一有机物;
第二涂覆装置,用于在第二有机物用第一施体基板涂覆第二有机物;
蒸镀装置,其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连,对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到第一有机物用第二施体基板上,接着对通过施体基板搬送装置搬送的所述第二有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到第二有机物用第二施体基板上;
元件基板搬送装置,设置在所述蒸镀装置中,将所述元件基板从第一位置搬送到第二位置;以及
控制部,向所述第一涂覆装置、所述第二涂覆装置、所述蒸镀装置以及所述元件基板移送装置施加控制信号,
所述蒸镀装置对所述第一有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到位于所述第一位置的所述元件基板上,接着对所述第二有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到位于所述第二位置的所述元件基板的所述第一有机物上。
26.一种有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,包括:
第一涂覆装置,用于在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物;
第二涂覆装置,用于在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物;
蒸镀装置,其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连,利用通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用施体基板的焦耳热,将所述第一有机物蒸镀到元件基板上,接着利用通过施体基板搬送装置搬送的所述第二有机物用施体基板的焦耳热,将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上;
装载装置,用于将元件基板装载到所述蒸镀装置的第一位置;
元件基板搬送装置,设置在所述蒸镀装置中,将所述元件基板从所述第一位置搬送到第二位置;
卸载装置,用于从所述蒸镀装置卸载所述元件基板;以及
控制部,向所述第一涂覆装置、所述第二涂覆装置、所述蒸镀装置、所述装载装置、所述元件基板搬送装置以及所述卸载装置施加控制信号。
27.一种有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,包括:
涂覆室,在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物,并在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物;
蒸镀装置,其与所述涂覆室相连,对所述第一有机物用施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上,并对所述第二有机物用施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上;
装载装置,用于将所述元件基板装载到所述蒸镀装置;
卸载装置,用于从所述蒸镀装置卸载所述元件基板;以及
控制部,向所述涂覆室、所述蒸镀装置、所述装载装置以及所述卸载装置施加控制信号。
28.一种有机发光元件的连续式制造系统,其特征在于,包括:
第一涂覆装置,将由挥发性介质和第一有机物混合而成的第一液状体,以平面状涂覆到第一有机物用第一施体基板上,并使所述挥发性介质挥发;
第二涂覆装置,将由挥发性介质和第二有机物混合而成的第二液状体,以平面状涂覆到第二有机物用第一施体基板上,并使所述挥发性介质挥发;
蒸镀装置,其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连,对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第一有机物以平面状蒸镀到第一有机物用第二施体基板上,接着对通过施体基板搬送装置搬送的所述第二有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第二有机物以平面状蒸镀到第二有机物用第二施体基板上;
所述蒸镀装置对所述第一有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上,接着对所述第二有机物用第二施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板的所述第一有机物上。
29.一种有机发光元件的连续式制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
准备步骤,该准备步骤包括:第一涂覆步骤,在第一有机物用第一施体基板涂覆第一有机物;第二涂覆步骤,在第二有机物用第一施体基板涂覆第二有机物;第一有机物用第二施体基板准备步骤,与第一涂覆装置以及第二涂覆装置相连,对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第一有机物蒸镀到第一有机物用第二施体基板上;以及第二有机物用第二施体基板准备步骤,对通过施体基板搬送装置搬送的所述第二有机物用第一施体基板施加电场,从而将所述第二有机物蒸镀到第二有机物用第二施体基板上;
装载步骤,将元件基板装载到所述蒸镀装置的第一位置;
第一有机物蒸镀步骤,对所述第一有机物用第二施体基板施加电场,以将所述第一有机物蒸镀到位于所述第一位置的所述元件基板上;
元件基板搬送步骤,将所述元件基板从所述第一位置搬送到第二位置;
第二有机物蒸镀步骤,对所述第二有机物用第二施体基板施加电场,以将所述第二有机物蒸镀到位于所述第二位置的所述元件基板的所述第一有机物上;以及
卸载步骤,从所述蒸镀装置卸载所述元件基板。
30.一种有机膜装置,其特征在于,
通过如权利要求29所述的有机发光元件的连续式制造方法制造。
31.一种有机发光元件制造用施体基板组,其特征在于,包括:
第一施体基板,具有:第一基底层;第一电热层,形成在所述第一基底层上,第一有机物经过一次溶液涂覆被涂覆在该第一电热层上;以及第一导电层,形成在所述第一基底层上,并且与所述第一电热层电连接,以便对所述第一电热层施加电场;以及
第二施体基板,具有:第二基底层;第二电热层,形成在所述第二基底层上,与所述第一电热层对应,当对所述第一施体基板施加电场时,使一次溶液涂覆在所述第一施体基板上的所述第一有机物被二次蒸镀到该第二电热层上;以及第二导电层,与所述第二电热层电连接,以便对所述第二电热层施加电场。