显示装置的制造装置及显示装置的制造方法与流程

本发明的实施例涉及一种装置及方法，尤其涉及一种显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。

背景技术：

基于移动性的电子设备得到广泛的应用。作为移动用电子设备，除了广泛使用移动电话之类的小型电子设备之外，最近还广泛使用平板电脑。

为了支持多种多样的功能，这样的移动型电子设备包括显示部以将图片或影像之类的视觉信息提供给用户。近来，随着用于驱动显示部的其他部件的小型化，显示部在电子设备中所占的比重表现出逐渐增加的趋势，且在平整的状态下可弯曲为具有预定角度的结构也正在开发中。

技术实现要素：

本发明的实施例提供一种显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。

本发明的一个实施例公开一种显示装置的制造装置，包括：汽化器，形成为一侧开口；透光部，结合于所述汽化器的开口的部分或者下部，并由透明的材料构成；红外线加热器，布置于所述透光部的外部而向所述汽化器内部照射光；有机物喷射单元，设置于所述汽化器而向所述汽化器内部喷射有机物。

在本实施例中，所述显示装置的制造装置还可以包括：冷却块，设置于所述有机物喷射单元与所述汽化器之间而冷却所述有机物喷射单元。

在本实施例中，所述显示装置的制造装置还可以包括：吸热层，形成于所述透光部的内侧面。

在本实施例中，所述吸热层可包括氧化铟锡(Indiumtinoxide；ITO)、氧化铟锌(Indium zinc oxide；IZO)、掺铝氧化锌(Alumnium doped ZnO；AZO)、氧化铟镓(Indium Gallium Oxide)以及氧化银(AgO)中的至少一个。

在本实施例中，所述显示装置的制造装置还可以包括：密封部，设置于 所述透光部与所述汽化器接触的部分，以密封所述透光部与所述汽化器之间的缝隙。

在本实施例中，所述汽化器的内部得到阳极化处理(Anodizing)。

在本实施例中，所述显示装置的制造装置还可以包括：隔热部，形成为包覆所述汽化器、所述透光部、以及所述红外线加热器。

在本实施例中，所述隔热部可具有：散热部，阻断向外部释放的热量。

在本实施例中，所述隔热部还可以具有：冷却部，设置为插入于所述散热部的内部，或者设置于与外界气体接触的所述散热部的外面。

在本实施例中，所述隔热部还可以具有：绝热部件，设置为包覆所述散热部。

在本实施例中，所述显示装置的制造装置还可以包括：有机物引导部，连接于所述汽化器而将所述有机物向外部引导而喷射。

在本实施例中，所述显示装置的制造装置还可以包括：传感器部，布置于所述汽化器的内部而测定所述汽化器内部的温度；控制部，根据由所述传感器部测定的温度而控制所述红外线加热器。

本发明的另一实施例提供一种显示装置的制造方法，用于在显示部层叠有机层以封装形成于基板上的显示部，包括如下步骤：通过有机物喷射单元而将有机物喷射到汽化器的内部；利用所述汽化器的外部的红外线加热器而使所述汽化器的内部的有机物被加热升华；将升华的所述有机物蒸镀于基板而形成所述有机层。

在本实施例中，所述汽化器的内表面可得到阳极化处理。

在本实施例中，所述汽化器的下面可由透明材料的透光部形成，以使所述红外线加热器所释放的热能通过。

在本实施例中，可将散热部设置为包覆所述汽化器的外表面。

在本实施例中，所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：测定所述汽化器的内部温度，并根据所述汽化器的内部温度而控制所述红外线加热器的运行。

在本实施例中，当所述汽化器的内部的温度为已设定的温度以上时，可中断所述红外线加热器的运行，或者减少由所述红外线加热器产生的热能。

在本实施例中，当所述汽化器的内部的温度小于已设定的温度时，运行所述红外线加热器，或者增加由所述红外线加热器产生的热能。

除了前述的内容以外的本发明的其他侧面、特征、优点可从附图、权利要求书以及发明的详细说明中明确了解。

这样的普遍而具体的方面可通过应用系统、方法、计算机程序或者某些系统、方法、计算机程序的组合而实施。

关于本发明的实施例的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法可确保作业的可连续性。

附图说明

图1为表示根据本发明的一个实施例的显示装置的制造装置的概念图。

图2为表示图1所示显示装置的制造装置的控制流程的模块图。

图3为表示利用图1所示显示装置的制造装置而制造的显示装置的剖面图。

符号说明：

100：显示装置的制造装置 111：有机物喷射单元

112：冷却块 120：有机物引导部

121：有机物引导配管 122：有机物喷嘴部

130：汽化器 140a：吸热层

140：透光部 150：红外线加热器

160：密封部 170：传感器部

180：隔热部 181：散热部

182：冷却部 183：绝热部件

190：控制部 200：显示装置

210：基板

具体实施方式

本发明可施加多样的变换，并可具有多种实施例，旨在将特定实施例举例示于附图，并在具体说明中详细说明。参照结合附图而详细后述的实施例就会明白本发明的效果、特征以及达到目的的方法。然而本发明并不局限于以下披露的实施例，而是可以实现为多样的形态。

以下，参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图而说明时，对于相同或对应的构成要素赋予相同的附图标记，并省略与之相关的重复说明。

在以下的实施例中，第一、第二等术语并不是限定性含义，而是为了将一个构成要素与其他构成要素区分而使用。

在以下的实施例中，只要不是上下文中表示明确不同的含义，则单数的表述包括复数的表述。

在以下的实施例中，“包括”或“具有”等术语表示说明书中记载的特征或构成要素的存在，其并非预先排除一个以上的其他特征或构成要素附加的可能性。

在以下的实施例中，记载为所谓的膜、区域、构成要素等部分位于其他部分上方或者上面时，不仅包括紧邻其他部分而位于上方的情形，而且还包括其间夹设有其他膜、区域、构成要素等的情形。

在附图中，为了便于说明，构成要素的大小可被夸张或缩小。例如，为了便于说明而将图中所示的各个构造的大小和厚度任意表示，本发明并非一定要局限于图示情形。

在某个实施例可不同地实现的情况下，特定的工序顺序也可以与所记载的顺序不同地执行。例如，连续说明的两个工序可实质上同时执行，且还可以按相反于所记载的顺序的顺序进行。

图1为表示根据本发明的一个实施例的显示装置的制造装置的概念图。图2为表示图1所示显示装置的制造装置的控制流程的模块图。

参照图1和图2，显示装置的制造装置100可包括汽化器130、透光部140、红外线加热器150、有机物喷射单元111、冷却块112、吸热层140a、密封部件160、隔热部180、有机物引导部120、传感器部170以及控制部190。

汽化器130可形成为一侧开口。在此，汽化器130可由金属材料形成。尤其，汽化器130可由铝形成。

如上所述的汽化器130的内部可被阳极化处理(Anodizing)。例如，作为一个实施例，汽化器130的内表面本身可被阳极化处理。作为另一实施例，还可在汽化器130内部设置表面被阳极化处理的专门的贴附部件(未图示)。以下，为了便于说明，以汽化器130的内表面本身被阳极化处理的情形为中心而详细说明。

如上所述地将汽化器130的内表面本身进行阳极化处理的情况下，汽化器130的内表面可被阳极化处理为铝合金。例如，所述铝合金可包括如下铝合金中的至少一种：包含铝和铜的铝合金；包含铝、镁以及硅的铝合金；包 含铝、镁、锌以及铜的铝合金。

将如上所述的铝合金在汽化器130的内表面进行阳极化处理的方法可使用多种多样的方法。作为一个实施例可使用硫酸法，通过硫酸法得到阳极化处理的铝合金可变质为黑色或褐色之类的颜色。于是，可有效地吸收由红外线加热器150发射的热能。

透光部140可由透明的材料形成。例如，透光部140可包括钢化玻璃、石英(Quartz)等。于是，透光部140可以使作为由红外线加热器150产生的热能的光透过。

透光部140可设置于汽化器130的开口部。在此，透光部140与汽化器130之间可设置密封部160，从而防止汽化器130内部的高压气体向外部流出。尤其，密封部160可以以环状形成，并可设置于透光部140与汽化器130之间。

透光部140可形成有吸热层140a。吸热层140a可吸收由红外线加热器150产生并透过透光部140的热能的一部分。在此，吸热层140a可包括氧化铟锡(Indiumtinoxide；ITO)、氧化铟锌(Indium zinc oxide；IZO)、掺铝氧化锌(Alumnium doped ZnO；AZO)、氧化铟镓(Indium Gallium Oxide)以及氧化银(AgO)中的至少一个。吸热层140a并不局限于上述物质，其可包括在显示装置技术领域中可用为透明电极的所有物质。

红外线加热器150可通过透光部140而向汽化器130内部供应红外线。在此，红外线加热器150可具有卤素灯(未标出)。尤其，红外线加热器150可供应红外线形态的光，从而可以迅速加热汽化器130内部的温度。

另外，有机物喷射单元111通过超声波而振动，从而可将从外部供应的有机物喷洒到汽化器130内部。在此，有机物喷射单元111与普通的超声波喷嘴(USN；Ultra sonic nozzle)相同或类似，因此省略其详细说明。

冷却块112设置于有机物喷射单元111与汽化器130之间而可以防止有机物喷射单元111的温度上升。具体而言，在由有机物喷射单元111通过超声波而喷洒有机物的情况下，由于振动或共振等而可能在有机物喷射单元111中产生热量。此时，如上所述的热量不仅降低有机物喷射单元111的性能，而且还可能缩短有机物喷射单元111的寿命。因此，为了解决如上所述的问题，冷却块112使冷却水从外部循环，从而可将有机物喷射单元111中产生的热量以热交换方式除去。

隔热部180可设置为包覆汽化器130、透光部140以及红外线加热器150。此时，隔热部180可防止红外线加热器150和汽化器130内部的热量释放到外部。

隔热部180可具有散热部181、冷却部182以及绝热部件183。此时，散热部181可以由金属材料形成。并且，散热部181的内部可镜面处理为如同镜面。于是，散热部181不让红外线加热器150所产生的光泄漏到外部，即散热部181的镜面处理的内表面将汽化器130内部的光予以反射而截留汽化器130内部的热量中的一部分，由此可以阻断汽化器130内部的热量中的一部分释放到外部。

作为一个实施例，冷却部182可布置于散热部181的内部。此时，冷却部182可以是插入到散热部181的内部的冷却水流动配管(未图示)形态。于是，从外部流入的冷却水进行循环，从而可通过与散热部181之间的热交换而向外部释放热量。

作为另一实施例，可将冷却部182设置为包覆散热部181的外面。此时，冷却部182使冷却水循环于冷却板(未图示)以仿效冷却块，从而可吸收散热部181的热量而排出到外部。具体而言，散热部181的内表面由于被镜面处理而能够将汽化器130内部的热量中的一部分进行反射，由此阻止汽化器130内部的热量中的一部分的排出。此时，由于散热部181由金属材料形成，因此可能会吸收一部分热量而引起散热部181的温度上升。因此，为了解决这一问题，在散热部181的外表面设置冷却部182而防止散热部181的温度上升。以下，为了便于说明，以冷却部182设置为包覆散热部181的外面的情形为中心进行详细说明。

绝热部件183可设置为包覆散热部181的外面或包覆冷却部182的外面。此时，绝热部件183可阻断散热部181的热量传递到外部。

有机物引导部120连接于汽化器130，从而可将在汽化器130内部升华的有机物引导向外部。有机物引导部120可具有：有机物引导配管121，与汽化器130连接；有机物喷嘴部122，连接于有机物引导配管121而喷射有机物。此时，有机物喷嘴部122可将有机物喷射到蒸镀有机物的腔室(未图示)内部。

另外，传感器部170可设置于汽化器130内部。此时，传感器部170可以是热电偶(Thermocoupler)形态。传感器部170可通过测定汽化器130内 部的温度而向控制部190传递汽化器130内部的温度。

控制部190可控制显示装置的制造装置100。此时，控制部190可具有设置于显示装置的制造装置100内部的电路基板或者设置于外部的个人电脑、笔记本电脑、便携式终端、手机等。

控制部190可将由传感器部170测定的汽化器130内部的温度作为根据而控制红外线加热器150。于是，控制部190可将汽化器130内部的温度维持为预定值或设定值。

另外，当观察如上所述的显示装置的制造装置100的操作时，首先可通过外部的有机物供应装置(未图示)而将有机物供应到有机物喷射单元111。

控制部190可通过运行有机物喷射单元111而将有机物喷洒到汽化器130内部。然后，控制部190可通过运行红外线加热器150而将汽化器130内部的温度加热至已设定的温度。

此时，传感器部170可感测汽化器130内部的温度而反馈给控制部190。控制部190可根据由传感器部170测定的汽化器130内部的温度而控制红外线加热器150的运行。例如，当传感器部170所测定的汽化器130内部的温度为已设定的温度以上时，控制部190可将红外线加热器150控制为中断红外线加热器150的运行或者减少红外线加热器150所释放的热能。相反，当传感器部170所测定的汽化器130内部的温度小于已设定的温度时，控制部190可将红外线加热器150控制为运行红外线加热器150或者增加红外线加热器150所释放的热量。然后，控制部190持续比较由传感器部170测定的汽化器130内部的温度与已设定的温度，从而可继续控制红外线加热器150以使汽化器130内部的温度维持为与已设定的温度相同。

作为另一实施例，在红外线加热器150为多个的情况下，控制部190可将多个红外线加热器150中的至少一个用如上所述的方法控制，从而使汽化器130内部的温度维持为与已设定的温度相同。

当红外线加热器150如上所述地运行时，由红外线加热器150释放的作为热能的光可通过透光部140而发射到汽化器130内部。此时，吸热层140a可吸收由红外线加热器150发射的光的一部分而得到加热。并且，汽化器130的内表面被阳极化处理，从而反射由红外线加热器150发射的光，从而可以均匀加热汽化器130内部。因此，对于上述情形而言，汽化器130内部的温度可迅速上升。

在汽化器130内部的温度如上所述地上升的情况下，汽化器130内部的有机物升华而可沿着有机物引导部120而移动到所述腔室。尤其，有机物可沿着有机物引导配管121而通过有机物喷嘴部122喷射到所述腔室内部。此时，所述腔室可维持为真空状态，且喷射到所述腔室的有机物可蒸镀于基板210而形成薄膜T。

于是，显示装置的制造装置100可以使汽化器130内部的温度迅速上升。

具体而言，对于通常的用于形成有机层的显示装置的制造装置而言，可使用加热式加热器对汽化器进行加热，从而使有机物升华。此时，加热式加热器被设置于汽化器的外面，并局部设置，于是汽化器内部的温度可能不够均匀并可能产生温度差。尤其，布置有加热器的部分的汽化器表面容易被加热而其他部分却迟缓地加热，于是在布置有加热器的部分的汽化器表面可能会发生有机物的热损伤，或者在未布置加热器的部分出现有机物的冷凝。不仅如此，可能在冷却块与汽化器之间使有机物冷凝，从而可能产生残留物或杂质。此时，普通的显示装置的制造装置将会导致运转率降低或寿命缩短，并可能产生颗粒而使性能下降。

然而，根据本发明的实施例的显示装置的制造装置100和显示装置的制造方法却通过红外线加热器150而直接加热汽化器130内部，并可均匀地维持汽化器130内部的温度。不仅如此，显示装置的制造装置100和显示装置的制造方法可通过红外线加热器150而迅速加热汽化器130内部。

因此，显示装置的制造装置100和显示装置的制造方法不仅可消除汽化器130内部的污染，而且还可以增加汽化器130的连续运行时间，从而可以提高生产性。

不仅如此，显示装置的制造装置100和显示装置的制造方法还可以均匀地维持汽化器130内部的温度，从而可以防止汽化器130内部出现的有机物的冷凝现象以及有机物的热损伤，由此可以减少汽化器130内部的颗粒的出现。

图3为表示利用图1所示的显示装置的制造装置制造的显示装置的剖面图。

参考图3，显示装置200可包括基板210和显示部(未标出)。并且，显示装置200可包括形成于所述显示部上部的薄膜封装层E或封装基板(未图示)。此时，所述封装基板可以与普通的显示装置所使用的封装基板相同或者 相似，因此省略详细说明。而且，为了便于说明，以下以显示装置200包括薄膜封装层E的情形为中心进行详细说明。

基板210上可形成所述显示部。此时，所述显示部具有薄膜晶体管(TFT)，并形成钝化膜270以将其覆盖，且在该钝化膜270上可形成有机发光元件280。

此时，基板210可使用玻璃材料，然而并不局限于此，也可以使用塑料材质，且还可以使用SUS、Ti之类的金属材料。并且，基板210可使用聚酰亚胺(PI；Polyimide)。以下，为了便于说明，以基板210由玻璃材料形成的情形为例进行详细说明。

基板210的上面还形成由有机化合物和/或无机化合物构成的缓冲层220，其可由SiO_x(x≥1)或SiN_x(x≥1)形成。

该缓冲层220上形成按预定的图案排列的活性层230，然后活性层230被栅绝缘层240所埋设。活性层230具有源极区域231和漏极区域233，并在其间还包括沟道区域232。

这样的活性层230可形成为含有多种多样的物质。例如，活性层230可含有非晶态硅或结晶态硅之类的无机半导体物质。作为另一例，活性层230可含有氧化物半导体。作为又一例，活性层230可包含有机半导体物质。然而，以下只是为了便于说明而以活性层230由非晶态硅形成的情形为中心进行详细说明。

可在缓冲层220上形成非晶态硅膜之后将其结晶化而形成多晶态硅膜，并对该多晶态硅膜进行图案化而形成这样的活性层230。根据驱动薄膜晶体管(未图示)、切换薄膜晶体管(未图示)等薄膜晶体管种类，所述活性层230的源极区域231和漏极区域233被杂质所掺杂。

栅绝缘层240的上面形成有与活性层230对应的栅极250以及用于将其埋设的层间绝缘层260。

另外，在层间绝缘层260和栅绝缘层240形成接触孔H1，然后在层间绝缘层260上将源极271和漏极272形成为分别接触于源极区域231和漏极区域233。

这样形成的薄膜晶体管的上部形成钝化膜270，且该钝化膜270上部形成有机发光元件(OLED)280的像素电极281。该像素电极281通过形成于钝化膜270的通孔H2而接触于薄膜晶体管的漏极272。所述钝化膜270可由无机物和/或有机物形成，并可形成为单层或双层以上，其上表面可由平整化 膜形成以与下部膜的弯曲无关地呈现平整，相反地，也可以根据位于下部的膜的弯曲而形成为呈现弯曲。另外，为了达到共振效果，该钝化膜270优选由透明绝缘材料形成。

在钝化膜270上形成像素电极281之后，利用有机物和/或无机物形成像素定义膜290以覆盖该像素电极281和钝化膜270，并形成开口以暴露像素电极281。

另外，至少在所述像素电极281上形成中间层282和对向电极283。

像素电极281起到阳极的功能而对向电极283起到阴极的功能，当然，这些像素电极281与对向电极283的极性也可以相反。

像素电极281与对向电极283被所述中间层282所绝缘，通过将不同极性的电压施加于中间层282而在有机发光层中实现发光。

中间层282可具备有机发光层。作为选择性的其他示例，中间层282具备有机发光层(organic emission layer)，此外还可以具备空穴注入层(HIL；hole injection layer)、空穴输送层(hole transport layer)、电子输送层(electron transport layer)以及电子注入层(electron injection layer)中的至少一个。

另外，一个单位像素P由多个子像素R、G、B构成，多个子像素R、G、B可发射多种颜色的光。例如，多个子像素R、G、B可具有分别发射红色、绿色和蓝色的光的子像素R、G、B，并可具有发射红色、绿色、蓝色和白色的光的子像素(未标出)。

另外，如上所述的薄膜封装层E可包括多个无机层，或者包括无机层和有机层。

薄膜封装层E的所述有机层由高分子形成，优选地，可以是由聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate)、聚酰亚胺、聚碳酸酯、环氧树脂、聚乙烯以及聚丙烯酸酯中的任意一个形成的单层膜或层叠膜。更加优选地，所述有机层可由聚丙烯酸酯形成，具体而言，可包括：包含二丙烯酸酯系单体或三丙烯酸酯系单体的单体组合物被高分子化而成的物质。所述单体组合物中还可以包括单丙烯酸酯系单体。并且，所述单体组合物中还可以包括TPO之类的公知的光引发剂，然而并不局限于此。

薄膜封装层E的所述无机层可以是包含金属氧化物或金属氮化物的单层膜或层叠膜。具体而言，所述无机层可包括SiN_x、Al₂O₃、SiO₂、TiO₂中的一个。

为了防止对有机发光元件的透湿，薄膜封装层E中向外部暴露的最上层可由无机层形成。

薄膜封装层E可包括如下的至少一个夹层结构，即，所述夹层结构在至少两个无机层之间插入有至少一个有机层。作为另一例，薄膜封装层E还可以包括如下的至少一个夹层结构，即，所述夹层结构在至少两个有机层之间插入有至少一个无机层。作为又一例，薄膜封装层E还可以包括：在至少两个无机层之间插入有至少一个有机层的夹层结构；以及在至少两个有机层之间插入有至少一个无机层的夹层结构。

薄膜封装层E可从有机发光元件(OLED)的上部依次包括第一无机层、第一有机层、第二无机层。

作为另一例，薄膜封装层E可从有机发光元件(OLED)的上部依次包括第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层、第三无机层。

作为又一例，薄膜封装层E可从所述有机发光元件(OLED)的上部依次包括第一无机层、第一有机层、第二无机层、所述第二有机层、第三无机层、第三有机层、第四无机层。

有机发光元件(OLED)与第一无机层之间可额外包括含有LiF的卤化金属层。所述卤化金属层可在通过溅镀方式形成第一无机层时防止所述有机发光元件(OLED)损坏。

第一有机层可以形成为面积比第二无机层更小，且所述第二有机层也可以形成为面积比第三无机层更小。

根据本发明的实施例的显示装置的制造装置100以及显示装置的制造方法可用于形成所述有机层。此时，显示装置的制造装置100以及显示装置的制造方法可均匀而迅速地提供用于形成有机层的有机物，从而可以缩短显示装置200的制造时间并提高制造效率。

不仅如此，通过根据本发明的实施例的显示装置的制造装置100以及显示装置的制造方法制造的显示装置200具有均匀的有机层，从而可以有效地封装显示部。

而且，通过根据本发明的实施例的显示装置的制造装置100以及显示装置的制造方法制造的显示装置200的显示部可从外部的水分和氧气等来有效地保护显示部，从而可以增加显示装置200的寿命。

如此，已参考图中所示的一个实施例而说明了本发明，然而这只不过是 示例，如果是本领域技术人员就会理解可由此实现多种多样的变形以及实施例的变更。因此，本发明真正的技术保护范围应当由权利要求书的技术思想确定。