1.一种腔室主体，所述腔室主体包含多个部件，所述多个部件耦接在一起以共同形成具有含四个弯处的内部表面的所述腔室主体，所述腔室主体包含：
第一部件，包含：
第一部分和延伸通过所述第一部分的第一开口，所述第一部分具有大于第一宽度的第一长度；
第一凸缘，所述第一凸缘在与所述第一宽度实质垂直的方向上自所述第一部分延伸第一距离，所述第一凸缘自所述四个弯处中的第一弯处延伸；以及
第二凸缘，所述第二凸缘在与所述第一宽度实质垂直的方向上自所述第一部分延伸第二距离，所述第二凸缘自所述四个弯处中的第二弯处延伸；
第二部件，所述第二部件耦接至所述第一凸缘并在与所述第一宽度实质垂直的方向上延伸；
第三部件，所述第三部件耦接至所述第二凸缘并在与所述第一宽度实质垂直且与所述第二部件平行的方向上延伸；
第四部件，所述第四部件耦接至所述第二部件与所述第三部件，所述第四部件包含：
第二部分和延伸通过所述第二部分的第二开口，所述第二部分具有大于第二宽度的第二长度；
第三凸缘，所述第三凸缘在与所述第二宽度实质垂直的方向上自所述第二部分延伸第三距离；以及
第四凸缘，所述第四凸缘在与所述第二宽度实质垂直的方向上自所述第二部分延伸第四距离。
2.如权利要求1所述的腔室主体，其中所述第一凸缘具有小于所述第一宽度的宽度，且所述第一凸缘的宽度与所述第二部件的宽度实质相等，且其中所述四个弯处中至少一个弯处经磨圆。
3.如权利要求2所述的腔室主体，更包含：
第一平板，所述第一平板耦接至所述第一部件、所述第二部件、所述第三部件与所述第四部件；
第二平板，所述第二平板耦接至所述第一部件、所述第二部件、所述第三部件与所述第四部件，使得所述第一平板、所述第二平板、所述第一部件、所述第二部件、所述第三部件与所述第四部件共同围绕腔室空间；以及
涂层，所述涂层配置于所述第一平板与所述第二平板中至少一个上，所述涂层具有的发射率高于所述第一部件、所述第二部件、所述第三部件与所述第四部件中至少一个的发射率。
4.如权利要求3所述的腔室主体，其中所述涂层具有于摄氏599度测得为大于0.19的发射率以及低于约4％的反射率，且其中所述涂层包含铝。
5.一种用于制造腔室主体的方法，所述腔室主体具有外部表面以及具有多个弯处的内部表面，所述方法包含以下步骤：
放置第一部件于与第二部件相邻处，所述第一部件包含：
第一部分，所述第一部分具有第一长度和小于所述第一长度的第一宽度；以及
第一凸缘，所述第一凸缘在与所述第一宽度实质垂直的方向上自所述第一部分延伸第一距离，使得所述第一凸缘与所述第一部分会合在所述多个弯处中的第一弯处，所述第一凸缘与所述第二部件相隔一间隙；
辐照电子束至所述间隙中；以及
将所述第二部件熔接至所述第一凸缘。
6.如权利要求5所述的方法，其中所述第一凸缘与所述第一部分构成单一结构，且其中所述电子束自所述外部表面辐照至所述间隙中。
7.如权利要求6所述的方法，更包含以下步骤：自所述第一部件移除第一部分材料以限定所述第一凸缘。
8.一种腔室，包含：
顶部平板；
底部平板，所述底部平板相对于所述顶部平板而配置；
第一侧部平板，所述第一侧部平板耦接至所述顶部平板与所述底部平板；
第二侧部平板，所述第二侧部平板耦接至所述顶部平板与所述底部平板，且相对于所述第一侧部平板而配置；
第一狭缝阀平板，所述第一狭缝阀平板耦接至所述顶部平板、所述底部平板、所述第一侧部平板与所述第二侧部平板，且具有通过所述第一狭缝阀平板的开口；
第二狭缝阀平板，所述第二狭缝阀平板耦接至所述顶部平板、所述底部平板、所述第一侧部平板与所述第二侧部平板，所述第二狭缝阀平板相对于所述第一狭缝阀平板而配置，且具有通过所述第二狭缝阀平板的开口，所述顶部平板、所述底部平板、所述第一与第二侧部平板、以及所述第一与第二狭缝阀平板共同围绕腔室空间；以及
涂层，所述涂层配置在所述顶部平板与所述底部平板中至少一个上，所述涂层具有在摄氏599度测得为大于0.19的第一发射率。
9.如权利要求8所述的腔室，其中所述第一发射率与所述第一侧部平板、所述第二侧部平板、所述第一狭缝阀平板与所述第二狭缝阀平板中至少一个的发射率不同。
10.如权利要求9所述的腔室，其中所述底部平板上具有涂层，所述涂层具有在摄氏599度测得为大于0.19的发射率。
11.如权利要求10所述的腔室，其中所述底部平板上的所述涂层非连续，因此存在一或多个间隙。
12.如权利要求11所述的腔室，更包含一或多个基板支撑部，所述基板支撑部耦接至所述底部平板并沿着与所述一或多个间隙实质垂直的所述底部平板延伸。
13.如权利要求12所述的腔室，更包含一或多个支撑销，所述支撑销耦接至所述一或多个基板支撑部并自所述一或多个基板支撑部垂直延伸，且其中所述涂层具有小于约4％的反射率。
14.如权利要求13所述的腔室，其中所述第一狭缝阀平板包含：
第一部分及延伸通过所述第一部分的第一开口，所述第一部分具有大于第一宽度的第一长度；
第一凸缘，所述第一凸缘在与所述第三宽度实质垂直的方向上自所述第一部分延伸第一距离，所述第一凸缘自所述四个弯处中的第一弯处延伸；以及第二凸缘，所述第二凸缘在与所述第三宽度实质垂直的方向上自所述第一部分延伸第二距离，所述第二凸缘自所述四个弯处中的第二弯处延伸；
其中所述第二狭缝阀平板包含：
第二部分及延伸通过所述第二部分的第二开口，所述第二部分具有大于第二宽度的第二长度；
第三凸缘，所述第三凸缘在与所述第二宽度实质垂直的方向上自所述第二部分延伸第三距离；以及
第四凸缘，所述第四凸缘在与所述第二宽度实质垂直的方向上自所述第二部分延伸第四距离；且
其中所述第一侧部平板耦接至所述第一凸缘并在与所述第一宽度实质垂直的方向上延伸，且其中所述第二侧部平板耦接至所述第二凸缘并在与所述第一宽度实质垂直并与所述第二部件平行的方向上延伸。
15.如权利要求14所述的腔室，其中所述第一凸缘具有小于所述第一宽度的宽度，且所述第一凸缘的所述宽度与所述第二侧部平板的宽度实质相等，且其中所述四个弯处中的至少一个弯处经磨圆。