一种应用于太阳能电池提升开压的两步通源工艺的制作方法

技术特征：
1.一种应用于太阳能电池提升开压的两步通源工艺，用于单晶电池片的扩散处理工序，其特征是包括下列步骤：步骤一.单晶电池片低温沉积：此步骤中采用相对低的沉积步温度及相对低浓度的POCL3，POCL3流量为900-1000sccm，沉积温度748-752℃，沉积时间9min-11min；步骤二.二步沉积：升温至800℃-810℃，进行相对高浓度的POCL3二步沉积，POCL3流量为1600-1700sccm，沉积保持3min-4min，再升温至850℃-870℃，保持10min-16min高温推进；步骤三.三步降温吸杂出炉：按810℃→800℃→750℃三个阶段逐步降温，每个阶段分别用400s降温通氧氧化，氧气流量为4000sccm；步骤四.对扩散完成的单晶电池片进行方阻测试。2.根据权利要求1所述的两步通源工艺，其特征是所用POCL3的纯度为99.9999％或更高。3.根据权利要求1或2所述的两步通源工艺，其特征是所用氧气的纯度为99.5％或更高。