一种低电容功率TVS器件及其制造方法与流程

文档序号:12474076阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种低电容功率TVS器件,属于半导体防护器件领域,所述低电容功率TVS器件是由功率TVS二极管和低电容二极管串联的单片集成器件,包括N型半导体基体、N+型扩散层、P+型扩散层、离子注入区、钝化层、金属层。本发明将功率TVS二极管和低电容的二极管串联集成在单一芯片上,使封装简单化,提高封装的良率,采用高阻N型半导体衬底制造,降低器件的结电容,避免通信信号失真,同时通过控制离子注入量,控制器件的反向击穿电压为75‑100V。

技术研发人员:刘宗贺;邹有彪;王泗禹;徐玉豹
受保护的技术使用者:安徽富芯微电子有限公司
文档号码:201610874344
技术研发日:2016.09.30
技术公布日:2016.12.21

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