技术特征：
技术总结
本发明提供了一种形成导电图案的方法以及制造包括其的显示装置的方法。在基底上形成导电材料层。在导电材料层上形成导电图案。在导电材料层上形成光敏有机材料层。通过半色调掩模照射光敏有机材料层。半色调掩模包括具有与导电图案的边缘对应的边界的第一掩模区域、第二掩模区域以及与第一掩模区域和第二掩模区域相邻的第三掩模区域。通过去除光敏有机材料层来形成包括与第一掩模区域对应的第一区域和与第三掩模区域对应的第二区域的第一图案。使用第一图案作为硬掩模来蚀刻导电材料层，以形成导电图案。对第一图案回流以形成覆盖导电图案的侧表面的第二图案。
技术研发人员：金兑眩;朴常镐;李承珉;李政奎
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2016.10.13
技术公布日：2017.08.04