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金属‑绝缘体‑金属电容器结构及其制造方法与流程
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来源:国知局
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金属‑绝缘体‑金属电容器结构及其制造方法与流程
技术特征:
1.一种金属-绝缘体-金属电容器结构,包括:
第一电极和第二电极;
绝缘层,置于所述第一电极和所述第二电极之间;以及
富含氮的金属层,置于所述第二电极和所述绝缘层之间。
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