用于不具有钛衬垫的MOL互连的方法、设备及系统与流程

本

技术实现要素：
大体有关于精密半导体装置的制造，且更特别的是，有关于用于在半导体装置中制备不具有钛衬垫的mol互连的各种方法、结构及系统。

背景技术：

半导体装置的制造需要许多离散的制程步骤以便从半导体原料生产出已封装好的半导体装置。从初始成长半导体材料、把半导体晶体切成个别的晶圆、经过数种制造阶段(蚀刻、掺杂、离子植入、或其类似者)、一直到已完成装置的封装与最终测试，有各种不同的专用制程，以致于该等制程要在各有不同控制方案的不同制造场所中执行。

一般而言，使用半导体制造工具，例如曝光工具或步进器(stepper)，对一群(有时被称为一批)的半导体晶圆执行一组加工步骤。例如，可对半导体晶圆执行蚀刻制程以形塑半导体晶圆上的物件，例如各自用作晶体管的栅极的多晶硅线路。作为另一实施例，可形成用作使半导体晶圆上的传导区互相连接的传导线路的多条金属线路，例如，铝或铜。以此方式，可制成集成电路晶片。

用于制造当今半导体装置的已知技术是于第一金属组件上设置元素钛层。如图1(现有技术)所示，在沉积阻障材料162及第二金属组件160于钛层上时，该钛层经受会形成氧化钛152的吸氧作用(oxygengettering)。

可惜，第一金属组件150与第二金属组件160之间存在氧化钛152产生许多不合意结果。其一是，氧化钛152增加第一金属组件150/氧化钛152/第二金属组件160结构的接触电阻。另一是，钛的吸氧作用由于钛金属悬空而导致第二金属组件160中形成空隙166。这两个结果损及半导体装置100的效能。

因此，亟须一种方法用于形成包含第一金属组件及第二金属组件的半导体装置，相对于如图1所示的现有技术装置，它有较低的电阻及减少的空隙形成物。

本发明内容可应付及/或至少减少与上述一或多个现有技术问题及/或提供以上所列的一或多个合意特征。

发明内容

为供基本理解本发明的一些方面，提出以下简化的总结。此总结并非本发明的穷举式总览。它不是想要识别本发明的关键或重要元件或者是描绘本发明的范畴。唯一的目的是要以简要的形式提出一些概念作为以下更详细的说明的前言。

大体上，本发明内容针对一种半导体装置，其包含半导体基板；在该半导体基板上方的氧化物层；设置于该氧化物层内的含钨的第一金属组件；在该氧化物层上方的层间电介质(ild)，其中，该层间电介质包含沟槽，以及该沟槽的底部包含该第一金属组件的顶部(top)的至少一部分；设置于该沟槽的侧壁及底部上的阻障材料；以及设置于该沟槽中的第二金属组件。本发明内容也针对用于制造此一半导体装置的各种方法、设备及系统。

附图说明

参考以下结合附图的说明可明白本发明内容，其中类似的元件是以相同的元件符号表示。

图1的非写实横截面图图示现有技术所熟知的半导体装置；

图2a的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第一加工阶段之后的半导体装置；

图2b的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第二加工阶段之后的图2a的半导体装置；

图2c的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第三加工阶段之后的图2a至图2b的半导体装置；

图2d的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第四加工阶段之后的图2a至图2c的半导体装置；

图2e的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第五加工阶段之后的图2a至图2d的半导体装置；

图3a的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第一加工阶段之后的半导体装置；

图3b的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第二加工阶段之后的图3a的半导体装置；

图3c的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第三加工阶段之后的图3a至图3b的半导体装置；

图3d的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第四加工阶段之后的图3a至图3c的半导体装置；

图3e的非写实横截面图根据本文具体实施例图示第五加工阶段之后的图3a至图3d的半导体装置；

图4的非写实横截面图根据本文具体实施例图示半导体装置；

图5根据本文具体实施例图示用于制造装置的半导体装置制造系统；以及

图6图示一种根据本文具体实施例的方法的流程图。

尽管本发明容易做成各种修改及替代形式，本文仍以附图为例图示几个本发明的特定具体实施例且详述其中的细节。不过，应了解本文所描述的特定具体实施例不是想要把本发明限定成本文所揭示的特定形式，反而是，本发明是要涵盖落在如随附权利要求书所界定的本发明精神及范畴内的所有修改、等价及替代性陈述。

符号说明：

100半导体装置

150第一金属组件、结构

152氧化钛、结构

160第二金属组件、金属组件、结构

162阻障材料、结构

166空隙

200半导体装置、物品

210半导体基板、基板

220氧化物层

230ild

232沟槽

240栅极

242钨层

244wfm

246高k材料

248氮化物层

250第一金属组件、第一接触

252源极/漏极结构

254硅化物区

256磊晶硅区

258电阻性钨基材料

260第二金属组件

264阻障材料

300半导体装置

310半导体基板、基板

320氧化物层

330ild

332沟槽

340栅极

342钨层

344wfm

346高k材料

348氮化物层

358电阻性钨基材料

360第二金属组件

364阻障材料

400半导体装置

410半导体基板

430ild

440栅极

442钨层

444wfm

446高k材料

448氮化物层

450第一金属组件、结构

452源极/漏极结构

454硅化物区

456磊晶硅区

460第二金属组件、结构

462阻障材料、结构

500系统

510半导体装置制造系统

520制程控制器

550运送机构

600方法

610步骤

620步骤

630步骤

640步骤

650步骤

660步骤。

具体实施方式

以下描述本发明的各种示意具体实施例。为了清楚说明，本专利说明书没有描述实际具体实作的所有特征。当然，应了解，在开发任一此类的实际具体实施例时，必需做许多与具体实作有关的决策以达成开发人员的特定目标，例如遵循与系统相关及商务有关的限制，这些都会随着每一个具体实作而有所不同。此外，应了解，此类开发即复杂又花时间，决不是本领域技术人员在阅读本发明内容后即可实作的例行工作。

此时以参照附图来描述本发明。示意图示于附图的各种结构、系统及装置仅供解释以及避免本领域技术人员所熟知的细节混淆本发明。尽管如此，仍纳入附图用来描述及解释本发明内容的示意实施例。应使用与相关技艺技术人员所熟悉的意思一致的方式理解及解释用于本文的字汇及片语。本文没有特别定义的术语或片语(也就是，与本领域技术人员所理解的普通惯用意思不同的定义)是想要用术语或片语的一致用法来暗示。在这个意义上，希望术语或片语具有特定的意思时(也就是，不同于本领域技术人员所理解的意思)，则会在本专利说明书中以直接明白地提供特定定义的方式清楚地陈述用于该术语或片语的特定定义。

本文的具体实施例提供经制作成在第一、第二金属组件之间不具有钛层的半导体装置。相对于经制作成在第一、第二金属组件之间具有钛层的现有技术半导体装置，此类装置有较低的电阻与减少的空隙。

根据本文具体实施例的半导体装置可包含半导体基板；在该半导体基板上方的氧化物层；设置于该氧化物层内的含钨的第一金属组件；在该氧化物层上方的层间电介质(ild)，其中该ild包含沟槽，以及该沟槽的底部包含该第一金属组件的顶部的至少一部分；设置于该沟槽的侧壁及底部上的阻障材料；以及设置于该沟槽中的第二金属组件。

该半导体基板可包含本领域技术人员熟知在半导体装置中有利于用作半导体基板的任何材料。在一具体实施例中，该半导体基板可包含硅、硅-锗、或绝缘体上覆硅(soi)，其他本领域所熟知者。该半导体基板可用本领域技术人员所熟知的任何技术制成。

该氧化物层可包含本领域技术人员熟知在半导体装置中有利于用作氧化物层的任何材料。在一具体实施例中，该氧化物层可包含氧化硅。该氧化物层可用本领域技术人员所熟知的任何技术制成。

该第一金属组件可为半导体装置内的任何传导组件。在一具体实施例中，该第一金属组件可为半导体装置的晶体管的栅极结构的组件，例如此一栅极的最上面组件。在一具体实施例中，该栅极可形成于该半导体基板上。在一具体实施例中，该第一金属组件可为接触，例如半导体装置的晶体管的源极/漏极区的接触，例如紧邻栅极地设置于半导体基板中的源极/漏极区。该第一金属组件可包含本领域技术人员熟知的有传导性的任何材料。在一具体实施例中，该第一金属组件可包含钨。该第一金属组件，以及第一金属组件为组件时其中的晶体管或其他结构，可用本领域技术人员所熟知的任何技术制成。

该ild可包含本领域技术人员熟知在半导体装置中有利于用作层间电介质的任何材料。在一具体实施例中，该ild可包含氮化硅。该ild可用本领域技术人员所熟知的任何技术(例如，原子层沉积(ald)、化学气相沉积(cvd)、物理气相沉积(pvd)等等)制成。此外，该ild内的沟槽可用本领域技术人员所熟知的任何技术制成。若需要，该沟槽也可伸入该氧化物层。不论该沟槽如何形成，该沟槽的底部包含该第一金属组件的顶部的至少一部分。

设置于沟槽的侧壁及底部上的阻障材料可包含本领域技术人员熟知在半导体装置中有利于用作阻障材料的任何材料。在一具体实施例中，除了其他本领域熟知的阻障材料之外，该阻障材料还可包含氮化钨、氮化钛、碳化钨或氮化钽。可用本领域技术人员所熟知的任何技术(ald，cvd、等等)沉积该阻障材料于该沟槽的侧壁及底部上。

类似第一金属组件，该第二金属组件可为半导体装置内的任何传导组件。在一具体实施例中，该第二金属组件可为接触，例如垂直穿过ild的通孔。该第二金属组件可包含本领域技术人员熟知有传导性的任何材料。该第二金属组件可用本领域技术人员所熟知的任何技术制成。

在一具体实施例中，该半导体装置可包含在半导体基板上及氧化物层下的氮化物层。在半导体装置包含栅极的具体实施例中，该氮化物层也可设置于栅极上。该氮化物层可包含本领域技术人员熟知在半导体装置中有利于用作氮化物层的任何材料。在一具体实施例中，该氮化物层可包含硅及氮。该氮化物层可用本领域技术人员所熟知的任何技术制成。

图2a至图2e图示根据本文具体实施例的半导体装置的形成。翻到提供半导体装置200的非写实图画(stylizeddepiction)的图2a，其包含半导体基板210、氧化物层220及ild230。半导体装置200也包含含有钨层242、wfm244及高k材料246的栅极240。紧邻栅极240的是含有磊晶(epitaxy)硅区256及硅化物区254的源极/漏极结构252。设置于源极/漏极结构252上的是含有钨的第一金属组件250。氮化物层248设置于栅极240及基板210上面。

图2b为半导体装置200在执行反应性离子蚀刻(rie)之后的非写实图画。(为求简洁，省略光学微影、图案化及遮罩ild230的例行步骤)。该rie在ild230中形成沟槽232以及与第一金属组件250的最上面部分的钨相互作用以形成电阻性钨基材料258。电阻性钨基材料258在第一接触250暴露于空气后立即形成，由此钨与空气中的氧反应而形成钨氧化物(wox)。通过钨与可包含氧基、氮基、氟基及碳基气体中之一或更多的rie化学的相互作用，更多wox及其他电阻性钨化合物可形成于电阻性钨基材料258中。此外，在rie之后，如果装置在后续加工步骤之前暴露于空气或其他含氧气氛，可形成更多钨氧化物及其他电阻性钨化合物，它可包含钨与碳、氟等的化合物。

图2c为半导体装置200在执行化学蚀刻之后的非写实图画。该化学蚀刻对于ild230有选择性且移除至少一些电阻性钨基材料258，从而暴露第一金属组件250。在一具体实施例中，该化学蚀刻包含三氟化氮等离子(nf3plasma)。

图2d为半导体装置200在原位化学蚀刻后已沉积阻障材料264于沟槽232的侧壁及底部后的非写实图画。在化学蚀刻与阻障沉积之间最好不允许空气泄露；换言之，沉积阻障材料的执行最好使得在执行对于该ild有选择性的该化学蚀刻步骤之后，空气或含氧气氛不会接触该第一金属组件的该正面(topsurface)。阻障材料264与第一金属组件250接触。

图2e为半导体装置200在第二金属组件260已沉积于沟槽232中之后的非写实图画。若需要，第二金属组件260可经受相对于ild230的顶部的平坦化。相对于图1现有技术半导体装置100的金属组件160，第二金属组件260大体没有空隙。

图3a至图3e图示根据本文具体实施例的另一半导体装置的形成。翻到提供半导体装置300的非写实图画的图3a，其包含半导体基板310、氧化物层320及ild330。半导体装置300也包含含有钨层342、wfm344及高k材料346的栅极340。半导体装置300也可包含紧邻栅极340的源极/漏极结构(为求简洁而省略)。氮化物层348设置于栅极340及基板310上面。

图3b为半导体装置300在执行反应性离子蚀刻(rie)之后的非写实图画。该rie在ild330、氧化物层320及氮化物层348中形成沟槽332，以及与钨层342的最上面部分的钨相互作用以形成电阻性钨基材料358。电阻性钨基材料358的形成机制与常在电阻性钨基材料358中发现的钨化合物类型是如同以上在图2a至图2e背景下说明电阻性钨基材料258时所述者。

图3c为半导体装置300在执行化学蚀刻之后的非写实图画。该化学蚀刻对于ild330、氧化物层320及氮化物层348有选择性且移除至少一些电阻性钨基材料358，从而暴露钨层342。在一具体实施例中，该化学蚀刻包含三氟化氮等离子。

图3d为半导体装置300在阻障材料364已沉积于沟槽332的侧壁及底部上之后的非写实图画。在化学蚀刻与阻障沉积之间最好不允许空气泄露。阻障材料364与钨层342接触。

图3e为半导体装置300在第二金属组件360已沉积于沟槽332中且经由化学机械平坦化研磨之后的非写实图画。相对于图1所示的现有技术半导体装置100的金属组件160，第二金属组件360大体没有空隙。

图4为根据本文具体实施例的半导体装置400的非写实图画。半导体装置400包含半导体基板410、氧化物层220、氮化物层448、以及ild430。半导体装置400也包含含有钨层442、wfm444及高k材料446的栅极440。紧邻栅极440的是包含磊晶硅区456及硅化物区454的源极/漏极结构452。设置于源极/漏极结构452上的是含有钨的第一金属组件450。设置于ild430内的是阻障材料462与第二金属组件460。相对于图1所示的现有技术半导体装置100的金属组件160，第二金属组件460没有空隙。再者，在7纳米制程中，通过结构450、462及460的电阻比通过图1所示的现有技术半导体装置的结构150、152、162及160的电阻小约10％。

此时翻到图5的非写实图画，其根据本文具体实施例图示用于制造半导体装置100的系统。图5的系统500可包含半导体装置制造系统510与制程控制器(processcontroller)520。该半导体装置制造系统510可基于由制程控制器520提供的一或更多指令集来制造半导体装置。在一具体实施例中，其中该指令集可包含数个指令以：提供装置堆叠，其包含半导体基板；在该半导体基板上方的氧化物层；在该氧化物层上方的层间电介质(ild)；设置于该氧化物层内的含钨的第一金属组件；执行反应性离子蚀刻以在至少该ild中形成至少一沟槽，由此将该第一金属组件的正面的至少一部分转换成电阻性钨基材料；执行对于该ild有选择性的化学蚀刻以移除该电阻性钨基材料的至少一部分以及暴露该第一金属组件的该正面的至少一部分；沉积阻障材料于该沟槽的侧壁及底部上；以及沉积第二金属于该沟槽中。

该装置堆叠更可包含：在该半导体基板上的栅极以及紧邻该栅极而设置于该半导体基板中的源极/漏极区，以及该第一金属组件在该源极/漏极区上。替换地或另外，该装置堆叠更可包含：在该半导体基板上的栅极，其中该第一金属组件为该栅极的最上面金属层。在任何具体实施例中，该装置堆叠更可包含：在该半导体基板上、在该氧化物层下、以及在该栅极(若有的话)上的氮化物层。

在一具体实施例中，半导体装置制造系统510可经组配成通过执行等离子三氟化氮蚀刻来完成该化学蚀刻。半导体装置制造系统510也可经组配成可平坦化该第二金属。

半导体装置制造系统510可包含各种加工站，例如蚀刻加工站、微影加工站、cmp加工站等等。可用制程控制器520控制由半导体装置制造系统510执行的一或多个该等加工步骤。制程控制器520可为含有一或更多软体产品的工作站电脑、桌上电脑、膝上电脑、平板电脑、或任何其他类型的运算装置，该一或更多软体产品能够控制制程、接收制程反馈、接收测试结果数据、执行学习循环调整、执行制程调整等等。

半导体装置制造系统510可在媒体(例如，硅晶圆)上产生半导体装置200(例如，集成电路)。半导体装置制造系统510可提供在运送机构550上的已加工半导体装置200，例如输送带系统。在一些具体实施例中，该输送带系统可为能够运送半导体晶圆的精密无尘室运送系统。在一具体实施例中，半导体装置制造系统510可包含多个加工步骤，例如，第一制程步骤、第二制程步骤等等。

在一些具体实施例中，标示“200”的物品可为个别晶圆，而在其他具体实施例中，物品200可为一群半导体晶圆，例如，一“批”半导体晶圆。半导体装置200可包含晶体管、电容器、电阻器、记忆格、处理器及/或类似者中之一或更多。在一具体实施例中，半导体装置200包含中段制程(mol)堆叠。

系统500能够制造涉及各种技术的各种产品。例如，系统500可生产cmos技术、flash技术、bicmos技术、电源装置、记忆体装置(例如，dram装置)、nand记忆体装置、及/或各种其他半导体技术的装置。

翻到根据本文具体实施例图示方法600的流程图的图6。方法600包括：在步骤610，提供装置堆叠，其包含半导体基板；在该半导体基板上方的氧化物层；在该氧化物层上方的层间电介质(ild)；以及设置于该氧化物层内的含钨的第一金属组件。

在一具体实施例中，该装置堆叠更包含在该半导体基板上的栅极以及紧邻该栅极而设置于该半导体基板中的源极/漏极区，以及该第一金属组件在该源极/漏极区上。该装置堆叠更可包含：在该半导体基板上、在该栅极上和在该氧化物层下的氮化物层。

在一具体实施例中，该装置堆叠更包含在该半导体基板上的栅极，以及该第一金属组件为该栅极的最上面金属层。该装置堆叠更可包含：更包含在该半导体基板上、在该栅极上和在该氧化物层下的氮化物层。

方法600也包含：在步骤620，执行反应性离子蚀刻以在至少该ild中形成至少一沟槽，由此将该第一金属组件的正面的至少一部分转换成电阻性钨基材料。方法600也包含：在步骤630，执行对于该ild有选择性的化学蚀刻以移除该电阻性钨基材料的至少一部分以及暴露该第一金属组件的该正面的至少一部分。在一具体实施例中，该化学蚀刻包含等离子三氟化氮蚀刻。

方法600也包含：在步骤640，沉积阻障材料于该沟槽的侧壁及底部上。方法600也包含：在步骤650，沉积第二金属于该沟槽中。

在一具体实施例中，方法600更可包含：在步骤660，平坦化该第二金属。

上述方法可用非暂态电脑可读取储存媒体中所储存以及由例如由运算装置的处理器执行的指令来加以管制。描述本文的每个操作可对应至非暂态电脑记忆体或电脑可读取储存媒体中所储存的指令。在各种具体实施例中，该非暂态电脑可读取储存媒体包括磁性或光碟储存装置，固态储存装置，例如快闪记忆体、或其他非挥发性记忆体装置或数个装置。储存在非暂态电脑可读取储存媒体上的电脑可读指令可为源码、组合语言码、目的码、或可由一或更多处理器解释及/或执行的其他指令格式。

以上所揭示的特定具体实施例均仅供图解说明，因为本领域技术人员在受益于本文的教导后显然可以不同但等价的方式来修改及实施本发明。例如，可用不同的顺序完成以上所提出的制程步骤。此外，除非在权利要求书有提及，不希望本发明受限于本文所示的构造或设计的细节。因此，显然可改变或修改以上所揭示的特定具体实施例而所有此类变体都被认为仍然是在本发明的范畴与精神内。因此，本文提出随附的权利要求书寻求保护。