技术特征：
技术总结
本发明涉及用于半导体工件的搬运系统。具体的，本发明提供一种用于搬运半导体工件的具有多层轨条的高架式搬运OHT系统。第一载具经配置以在第一轨条上行进且沿着所述第一轨条移动半导体工件。第二载具经配置以在上覆于所述第一轨条的第二轨条上行进且沿着所述第二轨条移动所述半导体工件。控制器经配置以控制所述第一载具及所述第二载具以沿着所述第一轨条及所述第二轨条在处理或检验工具之间转移所述半导体工件。本发明还提供一种用于跨多层轨条转移半导体工件的方法。
技术研发人员：黎辅宪;董启峰;沈香吟
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2016.11.11
技术公布日：2017.08.11