药液及电解液的调制供给装置、使用费用计算方法及系统与流程

本发明涉及将半导体或液晶显示器的制造过程中使用的各种药液调制后进行供给的装置、调制后的各种药液的使用费用计算方法及药液使用费用计算系统以及将各种电池的制造中使用的各种电解液调制后进行供给的装置、调制后的各种电解液的使用费用计算方法及电解液使用费用计算系统。

背景技术：

在半导体或液晶显示器的制造过程中，例如，使用显影液、蚀刻液、剥离液、抗静电剂、清洗液等各种药液。此外，在电池的制造中使用各种电解液。这些药液或电解液(以下，在不需要特别区别的情况下将药液和电解液总称为“药液”)被调制成与需要相应的规定浓度来使用，以便最大限度地发挥其性能。

以往，这些药液的使用者通过下面任一种方式，准备要使用的药液来使用。即，第一方式是从药液制造者购入需要的浓度的各种药液来使用。第二方式是从装置制造者购入将各种药液调制成需要的浓度来进行供给的装置(以下有时称为“药液调制供给装置”)并组装到使用药液的设备，一边通过该装置从药液的原料自己制造需要的浓度的药液一边进行使用。

例如，专利文献1、专利文献2公开了药液调制供给装置。在专利文献1中，公开了从固体原料调制以草酸为主要成分的蚀刻液的药液调制供给装置。此外，在专利文献2中，公开了对在浓厚的显影液的原液中加入纯水而稀释成规定浓度的显影液进行调制的药液调制供给装置。

专利文献

专利文献1：jp特开2003-209092号公报

专利文献2：jp特开2002-324753号公报

技术实现要素：

但是，在现有的方式中，要使用药液的一侧(以下有时称为使用者侧)必须在每次需要时购入筹备需要的浓度的药液，或者必须购入专利文献1、2所记载这样的药液调制供给装置来运用。

因此，使用者侧不得不一直持续承受着以下负担：在每次需要时筹备需要的浓度的药液的负担、在每次需要时筹备药液的原料的负担、或者购入药液调制供给装置后运用并进行维持管理的负担。

本发明鉴于上述的各课题而完成。即，本发明的目的在于，提供一种使用者侧无需承受上述那样的负担就能够使用药液的药液调制供给装置、药液使用费用计算方法及药液使用费用计算系统、以及电解液调制供给装置、电解液使用费用计算方法及电解液使用费用计算系统。

为了达成所述目的，本发明的药液调制供给装置是一种对使用在半导体或液晶显示器的制造过程中用到的药液的设备调制并供给药液的药液调制供给装置，其在将调制后的药液输送至设备的配管上具备累计流量计。

为了达成所述目的，本发明的电解液调制供给装置是一种调制并供给用于电池的制造的电解液的电解液调制供给装置，其在输送调制后的电解液的配管上具备累计流量计。

根据本发明的药液调制供给装置或电解液调制供给装置，由于在用于向使用者侧的设备供给调制后的药液或电解液的配管上设置累计流量计，所以能够掌握每个规定期间(例如一个星期或一个月)供给至使用者侧的设备的药液或电解液的量。若将该药液或电解液的量乘以药液或电解液的每单位量的费用等来作为药液或电解液的使用费用，则能够索取向使用者侧供给的药液或电解液的费用。

为了达成所述目的，本发明的药液调制供给装置或电解液调制供给装置中的累计流量计具备通信功能。

根据本发明的药液调制供给装置或电解液调制供给装置，由于能够将各使用者侧的工厂中使用的累计流量计与网络连接，所以即使不前往使用者侧的工厂对累计流量计的仪表进行用量检查，也能够通过与该网络连接的服务器系统对累计流量计所测定的供给量的累计值等各种测定数据进行远程监视。

为了达成所述目的，本发明的药液使用费用计算方法计算在半导体或液晶显示器的制造过程中使用的药液的使用费用，该计算方法包括以下处理：通过经由具备累计流量计的配管向使用药液的设备供给药液的供给者拥有的药液调制供给装置，从供给者所筹备的药液的原料，来调制药液的使用者需要的成分浓度的药液，根据药液的使用者的要求，通过累计流量计对累计流量进行测定的同时，将调制后的药液供给至设备，基于由累计流量计测定的规定期间的累计流量，来计算向药液的使用者索取的药液的使用费用。

为了达成所述目的，本发明的电解液使用费用计算方法计算用于电池的制造的电解液的使用费用，该计算方法包括以下处理：通过经由具备累计流量计的配管来供给电解液的供给者所拥有的电解液调制供给装置，从所述供给者所筹备的电解液的原料，来调制电解液的使用者需要的成分浓度的电解液，根据电解液的使用者的要求，通过累计流量计对累计流量进行测定的同时，供给调制后的电解液，基于由累计流量计测定的规定期间的累计流量，来计算向电解液的使用者索取的使用费用。

根据本发明的药液或电解液使用费用计算方法，由于将药液调制供给装置或电解液调制供给装置作为供给者侧的所有物件而设置于使用者侧的工厂并与使用者侧设备连接，所以使用者侧不必购入药液调制供给装置或电解液调制供给装置。由于是供给者侧的所有物件，所以使用者侧也不承受维持管理药液调制供给装置或电解液调制供给装置的负担。此外，由于药液的原料也由供给者侧筹备，所以使用者侧也不承受筹备药液或电解液的原料的负担。使用者侧仅接受所使用的药液或电解液的供给，能够实现使用者仅接收接受了供给的药液或电解液的使用费用的通知的供给方式。

为了达成所述目的，本发明的药液使用费用计算方法利用将在向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给药液的装置的配管上具备的具有通信功能的累计流量计以及服务器系统进行了连接的网络，来计算药液的使用费用，该计算方法包括以下步骤：服务器系统经由网络取得各累计流量计所测量的累计流量的步骤；按照每个累计流量计来存储由服务器系统取得的累计流量的历史记录的步骤；以及服务器系统基于历史记录按照每个设备来计算出规定期间的向药液的使用者索取的使用费用的步骤。

为了达成所述目的，用于计算药液的使用费用的药液使用费用计算系统具备：累计流量计，其设置于向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给药液的装置的配管，并具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络来接收累计流量计所测量的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计来存储所接收到的累计流量的历史记录；以及计算部，其基于历史记录按照每个设备来计算规定期间的所述药液的使用费用。

为了达成所述目的，本发明的电解液使用费用计算方法利用将在调制用于电池的制造的电解液并供给到使用电解液的设备的装置的配管上具备的具有通信功能的累计流量计以及服务器系统进行了连接的网络，来计算电解液的使用费用，该计算方法包括以下步骤：服务器系统经由网络取得各累计流量计所测量的累计流量的步骤；按照每个累计流量计来存储服务器系统所取得的累计流量的历史记录的步骤；以及服务器系统基于历史记录按照每个设备来计算出规定期间的向电解液的使用者索取的使用费用的步骤。

为了达成所述目的，用于计算电解液的使用费用的电解液使用费用计算系统具备：累计流量计，其设置于调制用于电池的制造的电解液并供给到使用电解液的设备的装置的配管，并具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络来接收累计流量计所测量的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计来存储所接收到的累计流量的历史记录；以及计算部，其基于历史记录按照每个设备来计算规定期间的电解液的使用费用。

根据本发明的药液或电解液的使用费用计算方法，由于能够通过与网络连接的服务器系统，远程地以一维方式来监视在各使用者的工厂中使用的累计流量计，所以供给者不必为了对累计流量计的仪表进行用量检查而前往使用者的工厂。供给者能够根据向使用者侧设备供给的药液或电解液的量，来计算向药液的使用者索取的药液的使用费用、或向电解液的使用者索取的电解液的使用费用。

发明效果

根据本发明，通过具备累计流量计的药液调制供给装置，能够实现至今未有的新的药液的使用费用的计算方法。根据本发明，通过具备累计流量计的电解液调制供给装置，能够实现至今未有的新的电解液的使用费用的计算方法。

根据本发明，药液使用者不承受筹备药液或其原料、对药液调制供给装置进行购入或维持管理的负担，仅通过支付根据所使用的药液的量而计算出的使用费用，就能够得到规定浓度的药液。

根据本发明，药液供给者也能够远程地以一维方式对在多个地点使用的各药液调制供给装置的累计流量计进行监视。

附图说明

图1是药液调制供给装置的示意图。

图2是变形例的药液调制供给装置的示意图。

图3是用于说明药液使用费用计算方法的流程图。

图4是表示药液使用费用计算系统的构成的示意图。

符号说明

1...计算机，2...药液储存槽，3...药液调制槽，4...药液供给配管，5...累计流量计，6...原料供给配管，7...累计流量计，10...药液调制供给装置，11，12...药液原料储存容器，13、14、15、16、17、18、19、20...阀，21、31...浓度测定装置，22、32...液面计，23、33...循环搅拌泵，24、34...循环管路，25...送液泵，35...连通管，41...纯水供给配管，42...药液原料补充配管，43...药液原料供给配管，44、45、46、47、48、49、92...信号线，51...纯水入口，52...药液原料入口，53...药液供给口，54...原液供给口，61、62、63、64、65...工厂，71、72、73、74、75...累计流量计，80...网络，81...服务器系统，82...接收部，83...存储部，84...计算部，85...显示器，90...设备，100...药液使用费用计算系统

具体实施方式

以下，适当参照附图详细说明本发明的最佳的实施的方式。其中，这些实施的方式中记载的装置等的形状、大小、尺寸比、其相对配置等只要没有特别的记载，就并非仅限定于图示了本发明的范围的示例。仅仅是作为说明例而示意性地进行了图示。

此外，在以下的说明中，作为在半导体或液晶显示器的制造过程中用到的药液的具体例，适当使用在显影工序中主要作为显影液使用的2.38％的四甲基氢氧化铵水溶液(以下将四甲基氢氧化铵称为tmah)来说明。

但是，应用本发明的药液并不限定于此。作为能够应用本发明的其他药液的例子，除了显影液以外，还能够列举蚀刻液、剥离液、抗静电剂、或清洗液等。

这些药液分别还存在多种多样的种类、组成的药液。例如，作为显影液，另外还能够列举氢氧化钾、氢氧化钠、磷酸钠、硅酸钠等无机化合物的水溶液、一羟乙基三甲基氢氧化铵(胆碱)等有机化合物的水溶液等。例如，作为蚀刻液，能够列举草酸水溶液、硫酸和过氧化氢的混合水溶液、硫酸铜溶液、磷酸和醋酸和硝酸的混合水溶液、热磷酸、亚硝酸铈铵水溶液、氯化铁溶液等。例如，作为剥离液，能够列举二甲亚砜系原液和纯水的溶液、n-甲基吡咯烷酮系原液和纯水的溶液、烷醇胺和乙二醇醚和纯水的溶液等水系保护膜剥离液、一乙醇胺和二乙二醇单丁基醚和添加剂的混合溶液等非水系保护膜剥离液等。

以往，使用上述各种药液的人(以下有时称为“药液使用者”)在每次需要时从药液制造者等购入所需要的量的已经调制成规定浓度的药液来使用。因此，药液使用者必须承受筹备药液的负担。

此外，药液使用者从装置制造者等购入从药液的原料调制并供给规定浓度的药液的药液调制供给装置，设置于药液使用者的工厂，在使药液调制供给装置运转的同时制造需要的药液来使用，这种情况也较多。在该情况下，药液使用者除了筹备药液的原料的负担和购入药液调制供给装置的负担以外，还必须承受使药液调制供给装置运转并维持管理的负担。

本发明者鉴于这些方面，发明了新的药液的供给方法(药液的使用费用计算方法)。下面针对该新的药液的使用费用计算方法进行说明。

首先，存在供给药液的人(以下也称为“药液供给者”)和药液使用者，药液供给者拥有药液调制供给装置，药液使用者拥有使用药液的设备。药液供给者所拥有的药液调制供给装置被设置于药液使用者的工厂，与使用药液的设备连接。

接着，药液供给者从以自身的责任筹备的药液的原料，在药液使用者的工厂内制造药液使用者要求的规定浓度的药液(进行所谓的药液的“现场制造”)。药液调制供给装置的运转、维持管理等也由药液供给者来进行。

药液供给者根据药液使用者的要求，将调制后的药液供给到使用药液的设备。此时，测定所供给的药液的量(以下也称为“供给量”)，向药液使用者索取基于药液的供给量而计算出的药液的使用费用。药液使用者能够从以往所承受的前述的各种负担中解放出来，并且仅通过支付使用费用就能够自动接受所需要的药液的供给。

为了实现本发明的药液的使用费用计算方法，具备能够测定药液的供给量的、累计流量计的药液调制供给装置是必不可少的。以下，参照附图说明具备这样的累计流量计的药液调制供给装置的具体的实施例。

〔第一实施方式〕

图1是用于说明本实施方式的药液调制供给装置的示意图。在本实施方式的说明中，以对20％的tmah水溶液和纯水进行调配来调制2.38％的tmah水溶液的药液调制供给装置为具体例来说明。

本实施方式的药液调制供给装置10主要由以下构成：对规定浓度的药液进行调制的药液调制槽3、储存调制后的药液的药液储存槽2、储存药液的原料的药液原料储存容器11和12、将调制后的药液输送至使用者侧的设备90的药液供给配管4、以及在药液供给配管4上具备的累计流量计5等。

在对20％的tmah水溶液和纯水进行调配来调制2.38％的tmah水溶液的情况下，成为原料的是20％的tmah水溶液，将20％的tmah水溶液从药液原料入口52经由药液原料补充配管42储存到药液原料储存容器11或12。

阀13～18经由信号线44与计算机1连接。计算机1经由信号线44将控制信号传送到阀13～18，对阀13～18进行开闭控制。当向药液原料储存容器11中充入20％的tmah水溶液时，打开阀13。当向药液原料储存容器12中充入20％的tmah水溶液时，打开阀15。

药液原料储存容器11以及12通过氮气(供给氮气的设备未图示)而被加压，经由与药液调制槽3连接的药液原料供给配管43来输送所储存的20％的tmah水溶液。在输送药液原料储存容器11内的20％的tmah水溶液时，打开阀14和阀17。在输送药液原料储存容器12内的20％的tmah水溶液时，打开阀16和阀17。

为了从20％的tmah水溶液调制2.38％的tmah水溶液，在20％的tmah水溶液中混入纯水进行稀释。纯水从纯水入口51经由纯水供给配管41被供给至药液调制槽3。在输送纯水时，打开阀18。

药液调制槽3具备浓度测定装置31以及液面计32。浓度测定装置31对药液调制槽3内的药液进行采样，测定其浓度。液面计32测定药液调制槽3内的药液的液面的位置。此外，药液调制槽3内的药液由循环管路34上具备的循环搅拌泵33进行循环搅拌。由此，药液调制槽3内的药液成为均匀的浓度。

浓度测定装置31以及液面计32经由信号线45以及46与计算机1连接。计算机1监视由浓度测定装置31测定的药液的浓度以及由液面计32测定的药液的液面位置，对阀13～18以如下方式进行开闭控制。由此，能够始终自动地调制规定量的规定浓度的药液，例如本实施方式中的2.38％的tmah水溶液。

例如，在药液调制槽3内的tmah浓度低于2.38％的情况下，计算机1将阀14或16中的某一方和阀17打开，添加20％的tmah水溶液。阀17是调节开时流量的开闭控制阀，通过计算机1进行控制使得将阀17打开规定时间，从而补给需要量的20％的tmah水溶液。

例如，在药液调制槽3内的tmah浓度高于2.38％的情况下，计算机1将阀18打开，添加纯水。阀18是调节开时流量的开闭控制阀，通过计算机1进行控制使得将阀18打开规定时间，从而补给需要量的纯水。

例如，在药液调制槽3内的液面位置降低的情况下，将阀14或16中的某一方和阀17以及阀18适当打开，增加药液的调制量。

此外，当药液原料储存容器11变成空时，计算机1将阀14关闭，将阀13打开，对药液原料储存容器11补充药液原料。同样地，当药液原料储存容器12变成空时，计算机1将阀16关闭，将阀15打开，对药液原料储存容器12补充药液原料。这样，计算机1保持必定向药液原料储存容器11或12当中的任一方充入药液原料的状态。

这样在药液调制槽3中调制后的2.38％的tmah水溶液通过将药液调制槽3和药液储存槽2连接的连通管35而储存于药液储存槽2。连通管35是药液流通的管路。若从药液储存槽2供给药液从而储存于其内部的药液量减少，则在药液调制槽3中调制后的药液通过连通管35而移动至药液储存槽2。连通管35具有适当的长度和配管内径，具有使在药液调制槽3中发生的药液浓度的变动不达到药液储存槽2内部这样的浓度变动的缓冲作用。

药液储存槽2也与药液调制槽3同样，具备浓度测定装置21和液面计22。这些浓度测定装置21和液面计22也经由信号线47以及48与计算机1连接。计算机1根据浓度测定装置21测定的药液储存槽2内的药液的浓度以及液面计22测定的药液储存槽2内的药液的液面位置，来适当控制阀13～18。控制与药液调制槽3的情况相同。药液储存槽2由于浓度变动极少，所以实际上进行内部的药液的浓度的监视和液量管理。

此外，药液储存槽2内的药液由循环管路24上具备的循环搅拌泵23进行循环搅拌。由此，药液储存槽2内的药液维持在均匀的浓度。

储存在药液储存槽2中的药液利用送液泵25通过药液供给配管4以及累计流量计5而从药液供给口53被供给到使用药液的使用者侧的设备90。使用者侧的设备90经由信号线92与计算机1连接。计算机1经由信号线92接收从使用者侧的设备90发出的药液供给请求信号。阀19经由信号线49与计算机1连接。计算机1根据来自设备90侧的使用者的请求，对药液供给配管4上具备的阀19进行开闭控制。由此，设备90能够在需要药液时，接受需要量的药液的供给。此时，由于累计流量计5测量供给到使用者侧的设备90的药液的累计流量，所以能够基于每个规定期间的累计流量，计算出使用费用，能够实现计算药液使用费用的方法。

在上述的药液调制供给装置10的实施方式中，以从20％的tmah原液对作为显影液的2.38％的tmah水溶液进行稀释调配的装置为具体例来进行了说明。在该实施方式中说明的药液调制供给装置10的药液调制部分是典型的例子，并不是将本发明限定于此。只要能够对使用者需要的成分浓度的药液从其原料进行调制，能够采用各种方式。当然，药液调制供给装置10的药液调制部分能够根据要调制的药液的种类来采用各种变形例。除了以纯水对原液进行稀释调配的情况以外，还能够应用实现对多个药液进行调配的情况、从固体原料进行调制的情况等各种各样的调制方法的装置的构成。例如，流通的tmah原液的浓度在日本以及韩国一般是20％，但在日本的一部分地区为25％，在台湾以及中国一般为25％。在tmah原液的浓度不同的情况下，适当变更药液调制中的稀释率等即可。

此外，信号线44～49、92意味着来自计算机1的控制信号的传送(路径)，信号线44～49、92可以是信号电缆，也可以是无线通信。

本发明的特征简而言之在于，在用于将调制后的药液供给到使用者侧设备的药液供给配管4上具备累计流量计5。

本发明的特征还在于，设置于用于将调制后的药液供给到使用者侧设备的药液供给配管4的累计流量计5具备通信功能。因此，能够对由累计流量计5测定的药液的累计流量进行远程监视，即，能够利用该通信功能对药液的供给量进行远程监视。

作为具备这样的通信功能的累计流量计，例如，已经存在keyence社的科里奥利式数字流量传感器fd-s系列等。通过安装通信组件，从而能够与个人计算机等对所测定的累计流量数据等各种数据进行通信。因此，能够从与累计流量计的设置场所离开的地方或者经由网络，对累计流量进行监控。

图2示出了第一实施方式中的药液调制供给装置10的变形例。存在对与图1所示的药液调制供给装置10的构成相同的构成标注同一符号并省略说明的情况。

图2所示的药液调制供给装置10还具备：将储存于药液原料储存容器11和12的原料输送到使用者侧的设备90的原料供给配管6、以及在原料供给配管6上具备的累计流量计7和阀20。阀20经由信号线49与计算机1连接。

计算机1经由信号线92接收从使用者侧的设备90发出的原料供给请求信号。计算机1根据来自设备90侧的使用者的请求，对原料供给配管6上具备的阀20进行开闭控制。由此，储存在药液原料储存容器11和12中的原料通过原料供给配管6以及累计流量计7，从原料供给口54供给到使用者侧的设备90。

设备90能够在需要原料时，接受需要量的原料的供给。此时，由于累计流量计7对供给到设备90的原料的累计流量进行测量，所以能够基于每个规定期间的累计流量来计算出使用费用，能够实现计算药液使用费用的方法。

这里，所谓药液，是指根据使用者的需要从原料调制的液体，也包括不调制浓度的情况。

〔第二实施方式〕

接下来，说明本发明的药液使用费用计算方法。图3是用于说明本实施方式的药液的使用费用计算方法的流程图。

在药液的供给之前，最初，将药液供给者所拥有的药液调制供给装置与药液使用者所拥有的设备进行连接。将药液调制供给装置的药液供给配管与使用者的设备进行连接，并且进行用于从药液使用者侧接受供给的有用物质(utility)的连接。这里，所谓有用物质，是指例如电力、纯水、氮气等。

设置完成后，启动药液调制供给装置，使药液调制供给装置运转的同时调制药液，根据药液使用者的供给请求来供给药液。药液调制供给装置的运转、维持管理以拥有药液调制供给装置的药液供给者侧的责任来进行。

药液供给者筹备药液的调制所需要的各种原料。例如，在以纯水对20％的tmah水溶液进行稀释来调制2.38％的tmah水溶液的情况下，作为原料来筹备20％的tmah水溶液(即tmah原液)。筹备通过药液供给者侧的负担来进行。

药液供给者使用药液调制供给装置，从已经筹备的药液的原料来调制药液使用者想要的成分浓度的药液。调制后的药液被储存以备供给至使用者侧设备。

每次由于调制药液致使药液的原料变没时，药液供给者筹备药液的原料，向药液调制供给装置补充原料。药液供给者实施药液的原料的筹备以及药液调制供给装置的维持管理，以使得药液调制供给装置所进行的药液的调制不会拖延。

若从使用药液的设备存在药液的供给请求，则药液调制供给装置将调制后的药液供给至使用药液的设备。药液的供给经由具备累计流量计的配管来进行。通过该累计流量计，从而测量药液的供给量作为累计流量。

只要存在药液的供给请求，药液调制供给装置就反复进行药液的调制和供给。由此，能够不中断地对使用者侧设备进行药液的供给。

药液供给者对累计流量计所测量的药液的供给量、即累计流量进行监视。基于规定期间例如一个星期或一个月这样的期间的药液的供给量(累计流量)，来计算药液的使用费用。例如，将一个月的药液的供给量(累计流量：q1(l/m))乘以药液的平均每单位量的费用(单价：p1(元/l))，来计算当月的药液使用费用。

在计算药液使用费用的情况下，能够如上述那样通过药液的供给量(q1)×单价(p1)来计算，但将药液的供给量(q1)换算成原料的供给量(q2(l/m))，将原料的供给量(q2)乘以原液的每单位量的费用(单价：p2(元/l))，能够计算出当月的使用费用。

例如，说明对20％的tmah水溶液和纯水进行调配来调制2.38％的tmah水溶液的情况。若将通过累计流量计的2.38％的tmah水溶液的供给量设为q1，将调制q1所需要的20％的tmah水溶液的需要量设为q2，则2.38×q1＝20×q2的关系成立。

若将20％的tmah水溶液的单价设为p2，并取换算率k，则当月的使用费用成为，使用费用＝p2×q2＝p2×k×q1＝p2×(2.38/20)×q1。换算率k能够根据原料的浓度以及药液的浓度容易地求取。

在本实施方式中，虽然以用纯水稀释20％的tmah水溶液来调制成药液的一成分体系为例进行了说明，但是并不限定于此。例如，对于作为al等电极材料的蚀刻药液而已知的包含磷酸、硝酸、醋酸这三种成分的pan(phosphoricacid，aceticacid，nitricacid)药液，也能够同样地计算当月的使用费用。

药液供给者向药液使用者索取这样计算出的药液的使用费用。药液使用者向药液供给者支付被索取的药液的使用费用。这样，药液的供给成立。

本实施方式的药液使用费用计算方法的特征在于，通过经由具备累计流量计的配管向使用药液的设备供给药液的供给者所拥有的药液调制供给装置，从供给者所筹备的药液的原料来调制药液的使用者想要的成分浓度的药液，根据药液的需要通过累计流量计来测定累计流量的同时将调制后的药液供给至使用者侧的设备，向药液的使用者索取基于由累计流量计测定的规定期间的累计流量而计算出的药液的使用费用。

通过该特征，根据本实施方式的药液使用费用计算方法，药液使用者可以不承受自己筹备药液的负担。此外，可以不承受购入药液调制供给装置、使用该装置自己调制药液、筹备药液的原料的负担。药液使用者只要指示药液的需要量，便会自动接受药液的供给。根据本实施方式的药液使用费用计算方法，实现了根据药液的供给量来征收药液的使用费用这样的新的药液使用费用计算方法。这样的药液的供给方式在半导体或液晶显示器的制造过程以及各种电池的制造过程中，是以往完全不存在的新的方式，是相对于前述的第一方式、第二方式，可以称作“第三方式”那样的划时代的方式。

〔第三实施方式〕

接下来，说明利用了将具备通信功能的累计流量计和计算机进行了连接的网络的药液使用费用计算方法以及药液使用费用计算系统。图4是具备使用者侧工厂的累计流量计和经由网络连接的供给者侧的服务器系统的药液使用费用计算系统的示意图。

图4所示的本实施方式的药液使用费用计算系统100具备：药液供给者拥有的1台服务器系统81；经由网络80连接的分别设置于药液使用者的工厂61、62、63、64以及65的具有通信功能的累计流量计71、72、73、74以及75(即分别设置于5处工厂的5台累计流量计)。

构成药液使用费用计算系统100的累计流量计以及服务器系统的数量并不限定于图4所记载的数量。本发明的药液使用费用计算系统具备经由网络连接的1台累计流量计和1台服务器系统即可。

图4中虽未详细图示，但在各工厂中，药液调制供给装置与使用药液的设备连接。通过该药液调制供给装置，对药液进行现场调制，并供给至药液使用设备。在用于供给药液的配管，设置具有通信功能的累计流量计71、72、73、74以及75。累计流量计71、72、73、74以及75测量供给至药液使用设备的药液的供给量作为累计流量。

作为具备通信功能的累计流量计，能够使用keyence社的科里奥利式数字流量传感器fd-s系列等。累计流量等测量数据能够经由互联网等网络来远程取得。

服务器系统81具备接收部82、存储部83、以及计算部84。此外，服务器系统81具备显示器85。服务器系统81对连接至网络80的累计流量计71～75的每一个依次发出服务请求，使得发送累计流量的测定数据。累计流量计71～75根据服务请求，向服务器系统81发送累计流量的测定数据。

这样，服务器系统81的接收部82从各累计流量计71、72、73、74以及75，取得累计流量的测定数据。此时，与累计流量的测定数据一起取得累计流量计的个体识别编号(所谓的装置id)和测定日期时间(即进行了测定的日期和时刻)。也可以不是测定日期时间，而是例如通信日期时间。

服务器系统81基于各累计流量计71、72、73、74以及75的个体识别编号，按照每个累计流量计71、72、73、74、75将所取得的累计流量的测量值和测定日期时间追记到由存储器、硬盘等构成的存储部83中，由此进行存储。

通过以规定的时间间隔(例如1分钟间隔或1小时间隔)连续地反复进行从累计流量计取得测定数据的步骤，从而对药液供给量的推移(即累计流量的历史记录)进行存储。

由于在服务器系统81的存储部83中按照每个累计流量计71、72、73、74、75存储了其累计流量的历史记录，所以能够掌握每个规定期间(例如一个星期或一个月)的药液的供给量。例如在按照每一个月来掌握药液的供给量的情况下，预先决定每月的用量检查日期时间，通过从本月的用量检查日期时间的累计流量中减去上月的用量检查日期时间的累计流量，能够求得从上月的用量检查日后到本月的用量检查日为止的累计流量。

服务器系统81进一步根据规定期间的药液的供给量来计算该规定期间的药液的使用费用。例如，在需要按每一个月来计算使用费用的情况下，将如前述那样求取到的累计流量例如乘以药液的每单位液量的费用(单价)来计算出药液的使用费用。预先将使用费用的计算式以及单价编程到服务器系统81的存储部83中即可。

药液供给者按照每个规定期间，向药液使用者索取所计算出的药液的使用费用。这里，药液使用者称为具有对于在药液的供给合同中接受供给的药液的使用费用的支付义务的人。若服务器系统81与作为药液的使用费用的支付方的药液使用者的计算机通过网络进行了连接，则药液的使用费用的索取也可以由服务器系统81自动进行。在该情况下，服务器系统81进行如下编程即可：以电子方式自动生成索取所计算出的药液的使用费用的账单，按照每规定期间将该账单自动电子寄送给药液使用者。

通过药液使用者支付药液的使用费用，从而药液的供给按照每个规定期间完结。这样，利用网络，基于以一维方式远程监视各处的药液供给量的同时供给药液这样的供给方式，实现药液的使用费用计算方法。

本实施方式的网络80并不限定于由设置于不同的工厂的累计流量计来构成。例如，也可以是在规模较大的工厂有多个制造线，将设置于该各个制造线的累计流量计连接的比较小的规模的网络。例如，可以是如下这样的网络，即，某累计流量计设置于中国的工厂，某累计流量计设置于台湾的工厂，某累计流量计设置于韩国的工厂，此外某累计流量计设置于日本的工厂，将分别设置于世界各国的工厂的累计流量计进行了连接的世界规模的网络。

以上，参照附图对各实施方式进行说明的内容，对于半导体、液晶显示器的制造过程中使用的各种药液、电池的制造中用到的各种电解液、电解液调制供给装置以及电解液使用费用计算系统，也同样能够实施。

根据本发明，能够实现能够将使用者从使用者侧筹备药液或其原料的负担、购入运用或维持管理药液调制供给装置的负担中解放出来的新的药液的供给方式。此外，根据本发明，能够提供一种该新的药液的供给方式的实现所不可缺少的药液调制供给装置。根据本发明，还能够通过与网络连接的服务器系统来以一维方式对各使用者的工厂所使用的累计流量计进行远程监视。