技术总结
本发明公开了一种焦平面探测器铟柱等离子回流成球方法，采用氩气和氢气的等离子体对铟柱回流成球的方法。在铟柱回流过程中，利用感应耦合等离子、反应离子刻蚀或其他等离子设备完成对铟柱的回流处理。氩等离子体主要用于清洗样品和击碎铟柱表面的氧化层；氢气等离子体主要用于还原铟柱表面氧化物。该方法不需要助熔剂，方便可靠，对焦平面探测器无任何负面影响，且具有回流工艺易于控制，回流均匀性、重复性好的优势。
技术研发人员：谢和平;覃文治;石柱;代千;邓慧中
受保护的技术使用者：西南技术物理研究所
文档号码：201611115793
技术研发日：2016.12.07
技术公布日：2017.06.09