一种高介电常数复合氧化膜电极箔制造方法与流程

文档序号:15051292发布日期:2018-07-31 17:12阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种高介电常数复合氧化膜电极箔制造方法,包括以下步骤:经过扩面腐蚀的铝箔→溶胶—凝胶法制备的50~70℃钛酸正丁酯与乙二醇甲醚混合体系中,施加5~10V直流电压、30~60mA/cm²电流密度下进行电沉积0.5~2min→100~200℃空气氛围中干燥3~5min→在1~3atm压力下的保护气体氛围状态下400~600℃高温热处理1~24h→化成生产。本发明具有方法简单易控,不影响目前腐蚀、化成箔生产过程,经过该过程处理过的产出箔与传统工艺相比比容提升20%以上的优点。

技术研发人员:严季新;陈健;王建中;朱鸿伟
受保护的技术使用者:南通海星电子股份有限公司;南通海一电子有限公司;宁夏海力电子有限公司
技术研发日:2016.12.08
技术公布日:2018.07.31

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