金属化薄膜电容器薄膜结构的制作方法

文档序号:11146492阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属化薄膜电容器薄膜结构,包括电介质薄膜和覆盖在所述电介质薄膜上的蒸镀电极层,所述蒸镀电极层包括第一金属层和第二金属层,其特征在于,所述第一金属层位于所述第二金属层上,所述第一金属层与所述第二金属层重叠处设有加厚区,所述加厚区宽度为所述第二金属层宽度的35%-50%。

2.根据权利要求1所述的金属化薄膜电容器薄膜结构,其特征在于,所述第一金属层前端面与所述第二金属层前端面处于同一竖直面,所述第一金属层后端面为斜坡面。

3.根据权利要求2所述的金属化薄膜电容器薄膜结构,其特征在于,所述第一金属层前端面至后端面中点之间的区域为加厚区。

4.根据权利要求1-3任一所述的金属化薄膜电容器薄膜结构,其特征在于,所述加厚区宽度为所述第二金属层宽度的50%。

5.根据权利要求1-3任一所述的金属化薄膜电容器薄膜结构,其特征在于,所述第一金属层为锌金属层。

6.根据权利要求1-3任一所述的金属化薄膜电容器薄膜结构,其特征在于,所述第二金属层为铝金属层。

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