一种实用性强的无磁真空腔体的制作方法

本实用新型涉及真空腔体设备技术领域，具体为一种实用性强的无磁真空腔体。

背景技术：

真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。传统的无磁真空腔体的功能比较单一，而且无磁真空腔体没有设置有加热带，不能将无磁真空腔体内的轻体完全抽取出来，同时不能检测到无磁真空腔体内的具体压力大小，容易造成腔体损坏的现象。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种实用性强的无磁真空腔体，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种实用性强的无磁真空腔体，包括真空腔体外壳和控制器，所述空腔体外壳的顶部安装有上盖，所述上盖的中心处安装有减压阀门，且上盖与真空泵通过抽气管连接，所述空腔体外壳的外表壁安装有不锈钢保护层，所述不锈钢保护层上安装有加热带，所述加热带的外表壁安装有铝箔隔热层，所述空腔体外壳的底部安装有压力传感器，且空腔体外壳的下方安装有真空腔体底座，所述真空腔体底座上安装有支撑架。

优选的，所述控制器安装在真空泵上。

优选的，所述支撑架共设有四个，且四个支撑架分别安装在真空腔体底座的底部四个拐角处。

优选的，所述空腔体外壳的前表壁安装有微电脑控制器，所述微电脑控制器的表面安装有显示屏幕和操控按键，所述显示屏幕位于操控按键的上方。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构科学合理，使用方便高效；通过真空腔体底座的底部安装有四个支撑架，有效的提高了无磁真空腔体的稳固性，避免在工作过程中发生抖动现象，影响无磁真空腔体的工作效率；通过真空腔体外壳的外表壁安装有不锈钢保护层，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点；通过该真空腔体上安装有加热带和铝箔隔热层，促使材料表面和内部的气体尽快放出，并且加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热；通过真空腔体外壳的底部安装有压力传感器，可以检测出腔体的内部压力大，并且将该压力信息反馈到显示屏幕上，方便使用者观察。

附图说明

图1为本实用新型一种实用性强的无磁真空腔体的结构示意图；

图2为本实用新型一种实用性强的无磁真空腔体的前视图。

图中：1-真空腔体外壳；2-减压阀门；3-抽气管；4-控制器；5-真空泵；6-上盖；7-不锈钢保护层；8-加热带；9-铝箔隔热层；10-压力传感器；11-真空腔体底座；12-支撑架；13-微电脑控制器；14-显示屏幕；15-操控按键。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种实用性强的无磁真空腔体，包括真空腔体外壳1和控制器4，空腔体外壳1的顶部安装有上盖6，上盖6的中心处安装有减压阀门2，且上盖6与真空泵5通过抽气管3连接，空腔体外壳1的外表壁安装有不锈钢保护层7，不锈钢保护层7上安装有加热带8，加热带8的外表壁安装有铝箔隔热层9，空腔体外壳1的底部安装有压力传感器10，且空腔体外壳1的下方安装有真空腔体底座11，真空腔体底座11上安装有支撑架12，控制器4安装在真空泵5上，支撑架12共设有四个，且四个支撑架12分别安装在真空腔体底座11的底部四个拐角处，空腔体外壳1的前表壁安装有微电脑控制器13，微电脑控制器13的表面安装有显示屏幕14和操控按键15，显示屏幕14位于操控按键15的上方。

具体使用方式：本实用新型工作中，打开微电脑控制器13上的操控按键15，真空泵6开始工作，对真空腔体内部进行抽取，通过加热带8和铝箔隔热层9的配合使用，促使材料表面和内部的气体尽快放出，铝箔隔热层9可以有效的防止热量散失的同时也可使腔体内均匀受热，当压力传感器10检测出真空腔体的内部压力过小时，通过减压阀门2可以进行调节。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。