一种霍尔元件的制作方法

文档序号:11051202阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种霍尔元件,其特征在于,包括依次层叠设置的基板、P型锑化铟层、非掺杂锑化铟层;所述P型锑化铟层的厚度为20nm~1000nm;所述锑化铟层厚度为100nm-2000nm;还包括形成在所述非掺杂锑化铟层上的电极。

2.根据权利要求1所述的霍尔元件,其特征在于,还包括形成在所述非掺杂锑化铟层上的磁芯。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1