一种新型芯片清洗装置的制作方法

文档序号:11051037阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型芯片清洗装置,包括作业柜(1),其特征是:所述作业柜(1)上设置酸槽(2)和水槽(3),所述酸槽(2)内设置第一升降置物装置,所述第一升降置物装置包括第一升降置物架(21)、第一滑轨(22)和第一丝杠(23),所述第一滑轨(22)竖直设置于靠近水槽(3)一侧的酸槽(2)内壁上,所述第一丝杠(23)与第一滑轨(22)平行,且位于酸槽(2)内远离水槽(3)的一侧,所述第一丝杠(23)与酸槽(2)转动连接,所述酸槽(2)上设置带动第一丝杠(23)转动的第一电机(24),所述第一升降置物架(21)的两侧分别设有与第一滑轨(22)相适应的第一滑块(25)和与第一丝杠(23)相适应的第一丝母(26),所述酸槽(2)的底部设置排酸阀(27);所述水槽(3)内设置第二升降置物装置,所述第二升降置物装置包括第二升降置物架(31)、第二滑轨(32)和第二丝杠(33),所述第二滑轨(32)竖直设置于靠近酸槽(2)一侧的水槽(3)内壁上,所述第二丝杠(33)与第二滑轨(32)平行,且位于水槽(3)内远离酸槽(2)的一侧,所述第二丝杠(33)与水槽(3)转动连接,所述水槽(3)上设置带动第二丝杠(33)转动的第二电机(34),所述第二升降置物架(31)的两侧分别设有与第二滑轨(32)相适应的第二滑块(35)和与第二丝杠(33)相适应的第二丝母(36),所述水槽(3)的底部设置排水阀(37);还包括移动置物板(4)和设置在酸槽(2)上的推动装置,所述移动置物板(4)的底部设有漏液孔(41),当第一升降置物架(21)、第二升降置物架(31)分别上升至酸槽(2)、水槽(3)顶端时,通过推动装置的推动,移动置物板(4)可以由第一升降置物架(21)移动至第二升降置物架(31)上。

2.根据权利要求1所述的一种新型芯片清洗装置,其特征是:所述推动装置包括设置在酸槽(2)上的液压杆。

3.根据权利要求1所述的一种新型芯片清洗装置,其特征是:所述推动装置包括设置在酸槽(2)上的滑动杆(5),所述滑动杆(5)与酸槽(2)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型芯片清洗装置,其特征是:所述第一升降置物架(21)、第二升降置物架(31)均包括框架(28),所述框架(28)的顶部设有导向凸块(29),所述移动置物板(4)的底部设有与导向凸块(29)相适应的导向凹槽(42)。

5.根据权利要求4所述的一种新型芯片清洗装置,其特征是:所述框架(28)为圆环形框架(28)或者椭圆环形框架(28)或者长方环形框架(28)。

6.根据权利要求1所述的一种新型芯片清洗装置,其特征是:所述第一升降置物架(21)与第一滑块(25)、第一丝母(26)可拆卸连接,所述第二升降置物架(31)与第二滑块(35)、第二丝母(36)可拆卸连接。

7.根据权利要求1所述的一种新型芯片清洗装置,其特征是:所述作业柜(1)上设置进水管(11),所述进水管(11)位于水槽(3)的上侧,所述进水管(11)上设置喷头(12)。

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