一种新型芯片清洗装置的制作方法

文档序号:11051037阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种新型芯片清洗装置,包括作业柜,作业柜上设置酸槽和水槽,酸槽内设置第一升降置物装置,第一升降置物装置包括第一升降置物架、第一滑轨和第一丝杠,酸槽的底部设置排酸阀;水槽内设置第二升降置物装置,第二升降置物装置包括第二升降置物架、第二滑轨和第二丝杠,水槽的底部设置排水阀;还包括移动置物板和设置在酸槽上的推动装置,当第一升降置物架、第二升降置物架分别上升至酸槽、水槽顶端时,通过推动装置的推动,移动置物板可以由第一升降置物架移动至第二升降置物架上。本实用新型便于芯片的清洗,无需直接接触芯片和清洗液,提高操作安全性,同时,移动置物板的设置,便于若干个芯片的整体移动清洗,提高工作效率。

技术研发人员:邵甜
受保护的技术使用者:邵甜
文档号码:201621262051
技术研发日:2016.11.21
技术公布日:2017.05.24

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