一种VCSEL激光器管芯结构的制作方法

文档序号:11051939阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种VCSEL激光器管芯结构,其特征在于:包括管体(1),所述管体(1)的一端为封闭端,另一端为开口端;所述管体(1)封闭端的端面上设置射出口(2),所述射出口(2)内设置凹透镜(3);

所述管体(1)内部设置激光发射组件,所述激光发射组件包括安装罩(4)、外散热板(5)、内散热板和VCSEL芯片阵列(6);

所述管体(1)靠近开口端的内壁上设置一圈环形的抵挡部(7),所述外散热板(5)与管体(1)的内腔相配合且通过螺栓与抵挡部(7)朝向开口端的一面固接;所述外散热板(5)朝向射出口(2)的一面设置安装罩(4),所述安装罩(4)呈开口朝向外散热板(5)的方桶状且开口的边沿朝外弯折构成连接部(8),所述连接部(8)通过螺栓与外散热板(5)固接;

所述安装罩(4)的内部设置与安装罩(4)的内腔相配合的内散热板,所述内散热板与安装罩(4)开口相反的一面设置VCSEL芯片阵列(6),所述安装罩(4)上与VCSEL芯片阵列(6)相对处设置出光口(9),所述出光口(9)处设置凸透镜(10);

所述内散热板由一面的金属散热板(11)和另一面的绝缘散热板(12)组合构成;所述金属散热板(11)与出光口(9)相对,所述绝缘散热板(12)与外散热板(5)相对;所述VCSEL芯片阵列(6)焊接在金属散热板(11)朝向出光口(9)的板面上;

所述管体(1)的开口端设置防尘滤网(19),所述防尘滤网(19)与外散热板(5)之间构成散热器安装腔。

2.根据权利要求1所述的VCSEL激光器管芯结构,其特征在于:所述金属散热板(11)和绝缘散热板(12)相对的板面分别设置第一阶梯台(13)和第二阶梯台(14),所述第一阶梯台(13)的尺寸与第二阶梯台(14)的尺寸相配合;所述第一阶梯台(13)朝向第二阶梯台(14)的一面均匀设置多根杆体(15),所述杆体(15)沿金属散热板(11)的长度方向延伸;所述第二阶梯台(14)上对应设置多个与杆体(15)相配合的杆孔(16),所述杆体(15)插入杆孔(16)内。

3.根据权利要求2所述的VCSEL激光器管芯结构,其特征在于:所述射出口(2)呈由外段、中段和内段构成的由外至内依次变小的阶梯孔状,所述凹透镜(3)包括镜体和镜框,所述镜框位于射出口(2)中段的阶梯面上;所述射出口(2)外段的阶梯面上设置压板(17),所述压板(17)上与镜体相对的位置设置通孔,所述压板(17)的边缘通过螺栓与管体(1)固接;所述镜框通过压板(17)压紧。

4.根据权利要求3所述的VCSEL激光器管芯结构,其特征在于:所述外散热板(5)朝向安装罩(4)的板面上设置与安装罩(4)的连接部(8)相配合的凹槽,所述连接部(8)位于凹槽内。

5.根据权利要求4所述的VCSEL激光器管芯结构,其特征在于:所述安装罩(4)朝向射出口(2)的表面设置与凸透镜(10)的表面相配合的锥面(18),所述凸透镜(10)的边沿通过密封胶与锥面(18)粘接。

6.根据权利要求5所述的VCSEL激光器管芯结构,其特征在于:所述杆体(15)呈圆形或方形。

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