1.一种半导体激光阵列合束装置，其特征在于，包括激光器线阵阵列(1)、快轴准直镜(2)、慢轴准直镜(3)、透镜(4)、第一级光栅(5)、外腔镜(6)、反射合束镜(7)与第二级光栅(8)，其中：
所述激光器线阵阵列(1)包括M个激光器线阵，每个激光器线阵包括多个激光单元；
每个激光器线阵分别通过所述快轴准直镜(2)准直后平行出射至所述慢轴准直镜(3)对慢轴光斑进行准直，再采用所述透镜(4)将每一所述激光单元的光束聚焦至第一级光栅(5)上，形成一束激光束；
M束激光光束分别入射至所述反馈元件(6)上进行外腔反馈波长锁定，然后通过反射合束镜(7)将M束波长锁定激光光束在第二级光栅(8)上进行合束。
2.根据权利要求1所述的一种半导体激光阵列合束装置，其特征在于，所述第二级光栅(7)与所述激光阵列的波长相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种半导体激光阵列合束装置，其特征在于，所述第一级光栅(5)为高线对数光栅，所述第二级光栅(8)为低线对数光栅。
4.根据权利要求1所述的一种半导体激光阵列合束装置，其特征在于，所述反射合束镜(7)入射至第二级光栅(8)角度应与其合束的激光线阵波长相匹配。