1.一种离子注入装置，包括用于产生等离子体的离子源和用于引出带状离子束的引出电极系统，其特征在于：还包括第一装卸载腔室、第一加速腔室、扫描腔室、第二加速腔室、第二装卸载腔室；所述第一装卸载腔室、第一加速腔室内设有第一真空闸阀和用于与外部连通的第一大气闸阀；所述第二装卸载腔室、第二加速腔室内设有第二真空闸阀和用于与外部连通的第二大气闸阀；所述第一加速腔室和第二加速腔室内设有加速轨道；所述扫描腔室内设有磁悬浮轨道；在所述第一加速腔室、第二加速腔室、扫描腔室的加速轨道和磁悬浮轨道上设有扫描基板夹具；所述第一装卸载腔室与所述第二装卸载腔室内分别设有第一装卸载基板夹具与第二装卸载基板夹具；所述第一装卸载基板夹具连接第一旋转基座；所述第二装卸载基板夹具连接第二旋转基座；所述扫描基板夹具连接第三旋转基座；
所述扫描基板夹具携带基板倾斜至设定角度后在推进装置的带动下在第一加速腔室的加速轨道上做加速运动并进入扫描腔室中；所述扫描基板夹具携带所述基板在所述扫描腔室的磁悬浮轨道的电磁支撑下匀速滑行并进行离子注入。
2.如权利要求1所述的一种离子注入装置，其特征在于：所述第一旋转基座和第二旋转基座分别连接有第一旋转电机和第二旋转电机，通过所述第一旋转电机和第二旋转电机驱动所述第一旋转基座和第二旋转基座旋转并带动所述第一装卸载基板夹具和第二装卸载基板夹具旋转至装卸载位置或转换位置。
3.如权利要求1所述的一种离子注入装置，其特征在于：所述第三旋转基座连接有第三旋转电机，通过所述第三旋转电机驱动所述第三旋转基座并带动所述扫描基板夹具旋转至装卸载位置或扫描位置。
4.如权利要求1所述的一种离子注入装置，其特征在于：所述基板通过外部机械手装载至所述第一装卸载基板夹具中，并通过外部机械手从第二装卸载基板夹具卸载已进行离子注入的基板。
5.如权利要求1所述的一种离子注入装置，其特征在于：所述推进装置为无刷式直线电机。