一种N型硅异质结太阳能电池及其制备方法与流程

文档序号:12725667阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)对N型硅片进行清洗,接着利用氢氟酸去除氧化硅绝缘层;

(2)采用金属离子辅助化学刻蚀法在所述N型硅片的上表面制备N型硅纳米线阵列;

(3)将含有所述N型硅纳米线阵列的所述N型硅片浸入硫化钠的乙二醇溶液中,作为阳极,并在硫化钠的乙二醇溶液中放置铂电极,作为阴极,进行电镀硫化处理,以得到硫化钝化层;

(4)在所述N型硅纳米线阵列的表面旋涂铁电薄膜材料的前驱体溶液,在150-180℃下烘烤5-10分钟,然后在500-600℃下退火处理10-20分钟,以得到铁电钝化薄膜;

(5)随后于惰性气氛中在所述铁电钝化薄膜的表面旋涂2,2’,7,7’-四(N,N-二-对-甲氧基苯基-氨)-9,9’-螺二芴溶液,在空气中110-120℃下退火10-20分钟,以得到2,2’,7,7’-四(N,N-二-对-甲氧基苯基-氨)-9,9’-螺二芴薄膜,所述N型硅纳米线阵列与所述2,2’,7,7’-四(N,N-二-对-甲氧基苯基-氨)-9,9’-螺二芴薄膜形成径向异质结;

(6)在所述2,2’,7,7’-四(N,N-二-对-甲氧基苯基-氨)-9,9’-螺二芴薄膜的表面旋涂聚乙烯醇溶液,在105-110℃下退火12-15分钟,以得到聚乙烯醇隧道层;

(7)在所述聚乙烯醇隧道层的表面旋涂PEDOT:PSS溶液,在110-120℃下退火20-30分钟,以得到PEDOT:PSS透明导电层;

(8)在所述N型硅片的下表面旋涂聚乙烯亚胺溶液,在105-110℃下退火12-15分钟,以得到聚乙烯亚胺层;

(9)在所述PEDOT:PSS透明导电层的表面制备银电极,在所述聚乙烯亚胺层的表面制备铝电极。

2. 根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述N型硅纳米线阵列中硅纳米线的长度为500-1500 nm,相邻硅纳米线之间的间距为100-500 nm,所述硅纳米线的直径为50-300nm。

3.根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述铁电钝化薄膜的材质为PZT、BTO、BFO或BST,优选为PZT,所述铁电钝化薄膜的厚度为1-3纳米。

4.根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述2,2’,7,7’-四(N,N-二-对-甲氧基苯基-氨)-9,9’-螺二芴薄膜的厚度为35-55纳米。

5.根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述聚乙烯醇隧道层的厚度为1-3纳米。

6.根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述PEDOT:PSS透明导电层的厚度为30-50纳米。

7.根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述聚乙烯亚胺层的厚度为1-3纳米。

8.根据权利要求1所述的N型硅异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述银电极为银栅电极,所述铝电极的厚度为50-100纳米。

9.一种N型硅异质结太阳能电池,其特征在于,所述N型硅异质结太阳能电池为采用权利要求1-8任一项所述的方法制备形成的N型硅异质结太阳能电池。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1