本发明涉及一种电子装置的制造装置及制造方法。
背景技术：
：：近期，基于移动性的电子装置被广为使用。作为移动用电子装置，除了移动电话等小型电子设备以外，最近还广为使用着平板个人计算机(tabletpc)。如上所述的移动式电子设备为了支持多样的功能而包含显示装置，以将图像或视频等视觉信息提供给用户。随着用于驱动显示装置的其他部件的小型化，显示装置在电子装置中所占的比例趋于逐渐增加。尤其，近期随着电子装置的设计的多样化，柔性显示装置及用于制造柔性显示装置的制造装置的必要性正在增加。技术实现要素：本发明的目的在于提供一种包含弯曲特性得到提高的导电图案的电子装置。本发明的又一目的在于提供如下的电子装置的制造装置：在一个腔室内利用一个靶旋转体而形成具有包含互不相同的沉积物质的多个层的导电图案。根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置可以包括：平台，用于支撑基板；靶旋转体，布置于所述基板上；腔室，收容所述平台及所述靶旋转体。所述靶旋转体可以包括第一靶部和第二靶部。第一靶部可以位于沿着所述靶旋转体的所述一方向延伸的第一区域，并供应所述第一沉积物质。第二靶部可以与所述第一靶部连接，且位于与所述靶旋转体的所述第一区域相邻的第二区域，并供应所述第二沉积物质。所述第一沉积物质及所述第二沉积物质可以在随着所述靶旋转体以沿着所述一方向延伸的旋转轴为中心进行旋转而被定义的多个模式下被供应。所述多个模式可以包括：第一模式，所述第一靶部面对所述基板，并且所述第一沉积物质被供应至所述基板；第二模式，所述第二靶部面对所述基板，并且所述第二沉积物质被供应至所述基板。所述多个模式还可以包括：第三模式，所述第一靶部的一部分与所述第二靶部的一部分同时面对所述基板。在所述第三模式下，所述第一靶部的一部分可以将所述第一沉积物质提供到所述基板上，并且所述第二靶部的一部分将所述第二沉积物质提供到所述基板上。在所述第一模式下的所述靶旋转体的旋转速度和在所述第二模式下的所述靶旋转体的旋转速度可以彼此不同，或者彼此相同。所述靶旋转体可以以具有外侧面及内侧面的圆筒形状提供。所述电子装置的制造装置可以包括：收容于被所述靶旋转体的所述内侧面定义的内部空间的磁体。所述磁体可以被所述靶旋转体包围而布置。所述磁体可以位于所述靶旋转体的所述内侧面中的与所述基板相邻的区域。所述磁体能够以所述旋转轴为中心而沿着所述靶旋转体的所述内侧面而旋转。所述电子装置的制造装置还可以包含旋转驱动部及固定部。所述旋转驱动部可以使所述靶旋转体以所述旋转轴为中心进行旋转。所述固定部可以布置于所述旋转驱动部和所述腔室之间，并将所述旋转驱动部及所述靶旋转体固定在所述腔室。所述旋转驱动部可以分别连接于将所述靶旋转体的所述外侧面和所述内侧面连接的一侧部以及与所述一侧部对向的另一侧部。所述靶旋转体还可以包括第三靶部，所述第三靶部位于所述第一靶部及所述第二靶部之间，并且对应于与所述靶旋转体的所述第一区域及所述第二区域相邻的第三区域，且可以供应第三沉积物质。所述靶旋转体可以被提供为多个，而且所述靶旋转体可以相隔预定间距而平行地排列。根据本发明的一实施例的电子装置可以包括：包含弯曲部的柔性基板；以及导电图案，至少一部分被提供于所述弯曲部上。所述导电图案可以包括：第一导电图案层，包括第一沉积物质；第二导电图案层，被提供到所述第一导电图案层上，并且包括与所述第一沉积物质不同的所述第二沉积物质；以及混合层，被提供于所述第一导电图案层及所述第二导电图案层之间，并包含所述第一沉积物质及所述第二沉积物质。所述混合层的厚度与所述导电图案的厚度之比可以大于0且0.05以下。所述导电图案可以包括：感测电极，包括彼此以预定间距相隔而布置的第一感测电极和第二感测电极。所述柔性基板包括薄膜元件层、显示元件层、薄膜封装层，所述导电图案可以布置于所述薄膜封装层上。本发明可以提供根据一实施例的弯曲特性得到提高的电子装置。根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置可以缩短工艺时间。附图说明图1a、图1b以及图1c是根据本发明的一实施例的电子装置的示意性的立体图。图2a是对应于图1a的i-i'线的示意性的导电图案的一剖面图。图2b是将图2a的aa'放大而示出的导电图案的一剖面图。图3是根据本发明的一实施例的电子装置的示意性的立体图。图4是根据本发明的一实施例的电子装置中包含的一像素的剖面图。图5是示意性地示出包含在本发明的一实施例的电子装置中的触摸屏面板的平面图。图6是根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置的示意图。图7是根据本发明的一实施例的靶旋转体的立体图。图8a及图8b是靶旋转体的示意性的剖面图。图9a及图9b是根据本发明的一实施例的靶旋转体的剖面图。图10a至图10d是根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置的示意性的一剖面图。图11是根据本发明的另一实施例的靶旋转体的剖面图。图12是根据本发明的另一实施例的电子装置的制造装置的示意性的一剖面图。符号说明fb：柔性基板cp：导电图案tsp：触摸屏面板dp：柔性显示面板1000：腔室rt：靶旋转体t1：第一靶部t2：第二靶部m1：第一沉积物质m2：第二沉积物质sr：供应区域de：沉积区域具体实施方式本发明可以实施多样的变换，并可以具有多种实施形态，以下在附图中示出特定的实施例，并在本文中进行详细的说明。然而其目的并不在于使本发明局限于特定的公开形式，应当理解的是，本发明包含本发明的思想以及技术范围所包含的所有的变换、等同物以及替代物。应当理解的是，本申请中，“包括(包含)”或“具有”等术语只用于指定说明书中记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或它们的组合的存在，而并非预先排出一个或一个以上的其他特征或数字、步骤、操作、构成要素、部件或它们的组合物的存在或附加可能性。此外，当提到层、膜、区域、板等构件位于另一构件“之上(上方)”时，这不仅包括位于另一构件“紧上方”的情形，还包括其中间设有又一构件的情形。相反，当提到层、膜、区域、板等构件位于另一构件“之下(下方)”时，这不仅包括位于另一构件“紧下方”的情形，还包括其中间设有又一构件的情形。在对附图进行说明时，针对类似的构成要素使用了类似的参照标号。在附图中，结构物的尺寸是为了确保本发明的明确性而比实际放大示出的尺寸。诸如“第一”、“第二”等的术语用于描述多样的构成要素，但是此类构成要素不应该受到以上术语的限制。以上术语仅用来将一个构成要素与另一构成要素区分开。例如，在不脱离本发明的权利范围的前提下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，类似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表述在文脉上没有明确的其他含义的前提下包含复数的表述。以下，参照附图对本发明的实施例进行详细的说明。图1a、图1b、图1c是根据本发明的一实施例的电子装置的示意性的立体图。参照图1a、图1b及图1c，根据本发明的一实施例的电子装置10可以包含柔性(flexible)基板fb及导电图案cp。导电图案cp可以在柔性基板fb上沿着第一方向dr1层叠。柔性基板fb只要是通常被使用的即可，不受特别的限制，其可以包含塑料、有机高分子等。构成柔性基板fb的有机高分子可以为聚对苯二甲酸乙二酯(pet：polyethyleneterephthalate)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen：polyethylenenaphthalate)、聚酰亚胺(polyimide)、聚醚砜(polyethersulfone)等。根据本发明的一实施例的电子装置10可以以第一模式或第二模式进行操作。柔性基板fb可以包含沿着第二方向dr2延伸的弯曲部bf及非弯曲部nbf。弯曲部bf在第二模式下以沿着第二方向dr2延伸的弯曲轴bx为基准而被弯曲，并且在第一模式下可以被展开。弯曲部bf与非弯曲部nbf连接。非弯曲部nbf在第一模式及第二模式下不会发生弯曲。导电图案cp沿着与第二方向dr2交叉的第三方向dr3延伸。导电图案cp的至少一部分被提供在弯曲部bf上。“弯曲”可以表示柔性基板fb等借助外力而被弯曲成特定形态的情形。参照图1a，在第一模式下，电子装置10的弯曲部bf可以被展开。参照图1b，在第二模式下，柔性基板fb及导电图案cp的至少一部分可以被弯曲(bending)。第二模式包含第一弯曲模式及第二弯曲模式。参照图1b，根据本发明的一实施例的电子装置10可以在第一弯曲模式下以弯曲轴bx为基准而沿着某一方向弯曲。电子装置10在第一弯曲模式下可以是被内侧弯曲的产物。以下，将电子装置10以弯曲轴bx为基准而被弯曲时的、被弯曲而彼此相向的导电图案cp之间的距离小于被弯曲而彼此相向的柔性基板fb之间的距离的情形定义为内侧弯曲(innerbending)。在被内侧弯曲时，弯曲部bf可以具有第一曲率半径r1。参照图1c，根据本发明的一实施例的电子装置10在第二弯曲模式下可以以弯曲轴bx为基准而以与图1b中的弯曲的方向相反的方向弯曲。电子装置10在第二弯曲模式下可以是被外侧弯曲的产物。以下，将电子装置10以弯曲轴bx为基准而被弯曲时的、被弯曲而彼此相向的柔性基板fb之间的距离小于被弯曲而彼此相向的导电图案cp之间的距离的情形定义为外侧弯曲(outerbending)。在被外侧弯曲时，弯曲部bf可以具有第二曲率半径r2。第二曲率半径r2可以与第一曲率半径r1相同，也可以与第一曲率半径r1不同。在图1b及图1c中，将电子装置10以弯曲轴bx为基准而被弯曲时，被弯曲而彼此相向的柔性基板fb之间的距离恒定的情形作为示例而示出，但是并不局限于此，被弯曲而彼此相向的柔性基板fb之间的距离可以不恒定。此外，在图1b及图1c中，将电子装置10以弯曲轴bx为基准而被弯曲时，被弯曲而彼此相向的柔性基板fb的面积彼此相同的情形作为示例而示出，但是并不局限于此，被弯曲而彼此相向的柔性基板fb的面积可以彼此不同。图2a是对应于图1a的i-i'线的示意性的导电图案的一剖面图，而且图2b是将图2a的aa'放大而示出的导电图案的一剖面图。参照图1a至图1c、图2a及图2b，导电图案cp的至少一部分可以被提供于弯曲部bf上。导电图案cp具有多个晶粒(grain)。晶粒gr可以被定义为将成分原子等有规律地排列而制造的结晶粒。晶粒gr可以具有大约10纳米(nm)至大约100纳米(nm)的晶粒大小(grainsize)。导电图案cp只要是通常被使用的即可，不受特别的限制，例如，可以包含金属、金属的合金以及透明导电性氧化物(transparentconductingoxide)中的至少一种。晶粒gr可以是金属的晶粒、合金的晶粒以及透明导电性氧化物的晶粒中的至少一种。金属只要是通常被使用的即可，不受特别的限制，例如，可以是包含al、cu、ti、mo、ag、mg、pt、pd、au、ni、nd、ir及cr中的至少一种的金属。透明导电性氧化物只要是通常被使用的即可，不受特别的限制，例如，可以是包含铟锡氧化物(ito：indiumtinoxide)、铟锌氧化物(izo：indiumzincoxide)、锌(zno：zincoxide)以及铟锡锌氧化物(itzo：indiumtinzincoxide)中的至少一种的透明导电性氧化物。导电图案cp可以包含沿着第一方向dr1层叠的多个导电图案层cpl。导电图案cp例如还可以包含两个以上的导电图案层cpl。在本发明的一实施例中，导电图案cp可以包含第一导电图案层cpl1及第二导电图案层cpl2。第二导电图案层cpl2可以被提供到第一导电图案层cpl1上。第一导电图案层cpl1及第二导电图案层cpl2可以分别由彼此不同的物质构成。第一导电图案层cpl1及第二导电图案层cpl2各自的厚度可以彼此相同，也可以彼此不同。例如，第一导电图案层cpl1可以包含al，而且第二导电图案层cpl2可以包含ti。分别包含在第一导电图案层cpl1及第二导电图案层cpl2中的第一晶粒gr1和第二晶粒gr2彼此不连接。即，第一晶粒gr1和第二晶粒gr2可以在第一导电图案层cpl1和第二导电图案层cpl2之间的边界处彼此混合而被布置。以下，将在第一导电图案层cpl1和第二导电图案层cpl2之间的边界处混合有第一晶粒gr1和第二晶粒gr2的层定义为混合层cplm。混合层cplm是第二导电图案层cpl2连续地形成在第一导电图案层cpl1上的过程中第一晶粒gr1和第二晶粒gr2部分混合的层。混合层cplm的厚度可以相对于导电图案cp的厚度以大约大于0且0.05以下的比率提供。图3是根据本发明的一实施例的电子装置的示意性的立体图。参照图3，根据本发明的一实施例的电子装置100可以包含触摸屏面板tsp及柔性显示面板dp。触摸屏面板tsp可以在柔性显示面板dp上沿着第一方向dr1层叠。如在上文中提到，根据本发明的一实施例的电子装置100可以以第一模式或第二模式进行操作。柔性显示面板dp及所述触摸屏面板tsp中的至少一个可以包含导电图案cp。导电图案cp可以包含多个导电图案层。图4是根据本发明的一实施例的电子装置中包含的一像素的剖面图。以下，将柔性显示面板dp为有机发光显示面板的情形作为示例而进行说明，但是并不局限于此，柔性显示面板可以是液晶显示面板(liquidcrystaldisplaypanel)、等离子体显示面板(plasmadisplaypanel)、电泳显示面板(electrophoreticdisplaypanel)、微机电系统(mems)显示面板(microelectromechanicalsystemdisplaypanel)及电润湿显示面板(electrowettingdisplaypanel)等。参照图1a至图1c、图4，柔性显示面板dp可以包含柔性基板fb1及提供于柔性基板fb1上的导电图案cp。参照图4，柔性显示面板dp的一个像素可以包含用于驱动有机发光元件oel的薄膜晶体管(tft)。在本发明的一实施例中，图示并说明了包含在一个像素中的一个薄膜晶体管(tft)，但是并不局限于此，在一个像素中可以包含多个薄膜晶体管。薄膜晶体管(tft)包含：控制电极ce，接收控制信号；输入电极ie，接收数据信号；半导体图案sm，响应于控制信号而将数据信号传递给输出电极oe；以及输出电极oe，输出数据信号。第一电极el1与薄膜晶体管(tft)的输出电极oe连接。第二电极el2被施加共同电压，而且有机发光元件oel的发光层eml可以根据薄膜晶体管(tft)的输出信号而发射光，据此提供图像。下文中针对第一电极el1及第二电极el2进行更为具体的描述。柔性显示面板dp可以包含：薄膜元件层tel，包含薄膜晶体管(tft)；显示元件层del，提供于薄膜元件层tel上，并包含有机发光元件oel；以及封装层sl，提供于显示元件层del上。在柔性基板fb1上可以提供有半导体图案sm，半导体图案sm由半导体材料形成，而且可以作为薄膜晶体管tft的活性层而工作。半导体图案sm包含输入区域ia、输出区域oa、提供于输入区域ia和输出区域oa之间的沟道部ca。半导体图案sm可以选择无机半导体或有机半导体而形成。输入区域ia及输出区域oa可以通过在半导体材料中掺杂n型杂质或p型杂质而形成。半导体图案sm上提供有第一绝缘层il1。第一绝缘层il1可以覆盖半导体图案sm。第一绝缘层il1可以由有机绝缘物或无机绝缘物构成。在第一绝缘层il1上提供有控制电极ce。控制电极ce可以形成为覆盖对应于半导体图案sm的沟道部ca的区域。控制电极ce可以包含多个层。在控制电极ce及第一绝缘层il1上可以提供有第二绝缘层il2。第二绝缘层il2覆盖控制电极ce。第二绝缘层il2可以由有机绝缘物或无机绝缘物构成。在第二绝缘层il2上可以提供有输入电极ie和输出电极oe。输出电极oe可以借助形成于第一绝缘层il1及第二绝缘层il2的第一连接孔ch1而与半导体图案sm的输出区域oa接触，并且输入电极ie借助形成于第一绝缘层il1及第二绝缘层il2的第二连接孔ch2而与半导体图案sm的输入区域ia接触。输入电极ie和输出电极oe可以包含多个层。在输入电极ie和输出电极oe上提供有钝化层(passivationlayer)pl，钝化层pl可以执行保护薄膜晶体管(tft)的保护膜的的功能，还可以执行将其上表面平坦化的平坦化膜的功能。在钝化层pl上提供有第一电极el1。第一电极el1例如可以是正极。第一电极el1可以通过形成于钝化层pl的第三连接孔ch3而连接到薄膜晶体管tft的输出电极de。在钝化层pl上提供有用于划分发光层eml的像素定义膜pdl。像素定义膜pdl用于暴露第一电极el1的上表面。有机发光元件oel提供于被像素定义膜pdl包围的区域。有机发光元件oel包含第一电极el1、空穴输送区域htr、发光层eml、电子输送区域etr及第二电极el2。第一电极el1具有导电性。第一电极el1可以是像素电极或正极。第一电极el1可以包含多个层。第一电极el1可以是透射型电极、半透射型电极或反射型电极。在第一电极el1上可以布置有有机层。有机层包含发光层eml。有机层还可以包含空穴输送区域htr及电子输送区域etr。空穴输送区域htr被提供在第一电极el1上。空穴输送区域htr可以包含空穴注入层、空穴输送层、缓冲层、电子阻挡层中的至少一种。空穴输送区域htr可以具有由单一物质构成的单层结构、由多个彼此不同的物质构成的单层结构或者由多个彼此不同的物质构成的具有多个层的多层结构。发光层eml提供于空穴输送区域htr上。发光层eml可以具有由单一物质构成的单层结构、由多个彼此不同的物质构成的单层结构或者由多个彼此不同的物质构成的具有多个层的多层结构。发光层eml只要是通常使用的物质即可，不受特别的限制，例如，可以由发出红色光、绿色光、蓝色光的物质构成，并可以包含荧光物质或磷光物质。此外，发光层eml可以包含主体(host)及掺杂剂。电子输送区域etr提供于发光层eml上。电子输送区域可以包含空穴阻挡层、电子输送层、电子注入层中的至少一种，但是并不局限于此。第二电极el2提供于电子输送区域etr上。第二电极el2可以是共同电极或负极。第二电极el2可以包含多个层。第二电极el2可以是透射型电极、半透射型电极或反射型电极。在有机发光元件oel为正面发光型的情况下，第一电极el1可以是反射型电极，而且第二电极el2可以为透射型电极或半透射型电极。在有机发光元件oel为背面发光型的情况下，第一电极el1可以是透射型电极或半透射型电极，而且第二电极el2可以为反射型电极。在有机发光元件oel中，随着第一电极el1和第二电极el2分别被施加电压，从第一电极el1注入的空穴(hole)通过空穴输送区域htr而被移动到发光层，并且从第二电极el2注入的电子经由电子输送区域etr而被移动到发光层eml。电子和空穴在发光层eml再结合而生成激子(exciton)，并且激子从激发态下降到基态并进行发光。在第二电极el2上提供有封装层sl。封装层sl覆盖第二电极el2。封装层sl可以包含有机层及无机层中的至少一种层。封装层sl例如可以是薄膜封装层。封装层sl用于保护有机发光元件oel。在根据本发明的一实施例的电子装置100中，控制电极ce、输入电极ie、输出电极oe、第一电极el1、第二电极el2中的至少某一个可以为图示于图2a的导电图案cp。即，控制电极ce、输入电极ie、输出电极oe、第一电极el1、第二电极el2中的至少某一个可以是包括包含多个第一晶粒的第一导电图案层和包含第二晶粒的第二导电图案层。图5是示意性地示出包含在本发明的一实施例的电子装置中的触摸屏面板的平面图。参照图1a至图1c、图3至图5，触摸屏面板tsp被提供于柔性显示面板dp上。触摸屏面板tsp可以被提供于封装层(图4的sl)上。触摸屏面板tsp可以识别用户的直接触摸、用户的间接触摸、物体的直接触摸或物体的间接触摸。如果发生直接触摸或间接触摸，则例如在感测电极te所包括的第一感测电极tx及第二感测电极rx之间发生电容的变化。随着电容变化，被施加到第一感测电极tx的感测信号可以延迟而提供到第二感测电极rx。触摸屏面板tsp可以从感测信号的延迟值检测出触摸坐标。对根据本发明的一实施例的触摸屏面板tsp而言，虽然将以电容方式驱动的情形作为示例而进行了说明，但是并不局限于此，触摸屏面板tsp还可以以电阻膜方式得到驱动。此外，触摸屏面板tsp可以以自容感测(selfcap)方式或互容感测(mutualcap)方式中的任意一种方式得到驱动。触摸屏面板tsp可以包含提供于柔性显示面板dp上的导电图案cp。导电图案cp可以包含下文中描述的感测电极te、第一桥bd1、第二桥bd2、第一连接排线tl1、第二连接排线tl2、第一扇出排线po1及第二扇出排线po2。感测电极te提供于封装层sl上。尽管没有图示，但是在感测电极te及封装层sl之间还可以提供有独立的柔性基板。感测电极te可以包含多个层。感测电极te包含第一感测电极tx及第二感测电极rx。第一感测电极tx及第二感测电极rx分别彼此电绝缘。第一感测电极tx及第二感测电极rx分别大致地具有菱形、正方形、矩形、圆形或者非正规的形状(例如，树突(dendrite)结构等树枝相互交织的形状)等多样的形状。第一感测电极tx及第二感测电极rx分别可以具有网孔形状。参照图5，第一感测电极tx及第二感测电极rx可以被提供在彼此相同的层上。第一感测电极tx及第二感测电极rx可以分别被提供在封装层sl上。第一感测电极tx可以沿着第二方向dr2及第三方向dr3相隔地提供。沿着第二方向dr2相隔的第一感测电极tx可以借助第一桥bd1而连接。第一桥bd1可以由多个层构成。第二感测电极rx可以沿着第二方向dr2及第三方向dr3相隔地提供。沿着第三方向dr3相隔的第二感测电极rx可以借助第二桥bd2而连接。第二桥bd2可以被提供在第一桥bd1上。第二桥bd2可以由多个层构成。尽管未图示，在第二桥bd2及第一桥bd1之间可以提供有绝缘层。连接排线tl1、tl2与感测电极te电连接。连接排线tl1、tl2可以由多个层构成。连接排线tl1、tl2包含第一连接排线tl1及第二连接排线tl2。第一连接排线tl1可以与第一感测电极tx及第一扇出排线po1连接。第二连接排线tl2可以与第二感测电极rx及第二扇出排线po2连接。扇出排线po1、po2与连接排线tl1、tl2及焊盘部pd1、pd2连接。扇出排线po1、po2可由多个层构成。扇出排线po1、po2包含第一扇出排线po1及第二扇出排线po2。第一扇出排线po1与第一连接排线tl1及第一焊盘部pd1连接。第二扇出排线po2与第二连接排线tl2及第二焊盘部pd2连接。焊盘部pd1、pd2与感测电极te电连接。焊盘部pd1、pd2可以由多个层构成。焊盘部pd1、pd2包含第一焊盘部pd1及第二焊盘部pd2。第一焊盘部pd1与第一扇出排线po1连接。第一焊盘部pd1可以与第一感测电极tx电连接。第二焊盘部pd2与第二扇出排线po2连接。第二焊盘部pd2可以与第二感测电极rx电连接。在本发明的一实施例中，示出了第一感测电极tx及第二感测电极rx被提供到彼此相同的层上的情形，然而本发明并不局限于此，第一感测电极tx及第二感测电极rx还可以被提供到彼此不同的层上。例如，第一感测电极tx可以被提供到封装层sl上，并且在第一感测电极tx上可以提供有绝缘层。第二感测电极rx可以提供于绝缘层上。以下，参照附图而对根据本发明的一实施例的用于制造电子装置10的电子装置制造装置进行说明。以下，为了便于说明，针对上文中已经说明过的构成要素使用相同的附图标号，并省略针对上述的构成要素的重复的说明。图6是根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置的示意图，图7是根据本发明的一实施例的靶旋转体的立体图。参照图1a至图1c、图6及图7，根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置可以包含腔室1000、平台st、靶旋转体rt、旋转驱动部rp及固定部fp。在本发明的一实施例中，在腔室1000内进行用于将导电图案cp形成到柔性基板fb上的沉积工艺。腔室1000收容平台st、靶旋转体rt、旋转驱动部rp、固定部fp。柔性基板fb可以被提供到平台st上。平台st可以固定并支撑柔性基板fb。在布置有柔性基板fb的平台st上布置有靶旋转体rt。靶旋转体rt可以从柔性基板fb相隔预定间距而布置。靶旋转体rt可以对柔性基板fb供应沉积物质。参照图7，靶旋转体rt可以具有沿着第三方向dr3延伸的圆柱形状。靶旋转体rt可以以沿着第三方向dr3延伸的旋转轴rx为中心进行旋转。靶旋转体rt可以包含沿着第三方向dr3延伸的主体部bp及垂直于第三方向dr3并连接于主体部bp的侧部sp。靶旋转体rt的侧部sp彼此相隔与沿着第三方向dr3延伸的主体的长度相当的距离而彼此相向。主体部bp的外部表面可以被划分为沿着第三方向dr3而延伸的第一区域ar1及与第一区域ar1相邻的第二区域ar2。从靶旋转体rt的第一区域ar1及第二区域ar2提供彼此不同的沉积物质。即，靶旋转体rt的主体部bp可以包括：第一靶部t1，对应于第一区域ar1，并且提供第一沉积物质；第二靶部t2，对应于第二区域，并提供与第一沉积物质m1不同的第二沉积物质m2。本实施例中，示出了第二区域ar2的面积大于第一区域ar1的面积的情形，然而并不局限于此，第一区域ar1和第二区域ar2的面积之比可以根据需求而变得不同。旋转驱动部rp分别连接于靶旋转体rt的侧部，从而使靶旋转体rt以旋转轴rx为中心进行旋转。旋转驱动部rp可以调节靶旋转体rt的旋转速度。固定部fp布置于旋转驱动部rp和腔室1000之间，而且可以将旋转驱动部rp及靶旋转体rt固定在腔室1000。图8a及图8b是靶旋转体的示意性的剖面图。参照图7、图8a及图8b，靶旋转体rt可以被提供为具有预定的内部空间的圆筒形状。靶旋转体rt的主体部bp可以具有向外部露出的外侧面os以及与外侧面os对向并定义预定的内部空间的内侧面is。在第一靶部t1的外侧面os可以布置有第一沉积物质m1，并且在第二靶部t2的外侧面os可以布置有第二沉积物质m2。尽管未图示，第一沉积物质m1可以从预定的内部空间注入到第一靶部t1，而且第二沉积物质m2可以从预定的内部空间注入到第二靶部t2。在本发明的一实施例中，多个磁体mg可以被提供于预定的内部空间。多个磁体mg可以分别沿着第三方向dr3延伸。如果观察平行于由第一方向dr1及第二方向dr2定义的平面的靶旋转体rt的剖面，磁体mg可以从靶旋转体rt的旋转轴rx所经由的中心偏离并偏向于内侧面is的一部分上而得到布置。磁体mg中的一部分可以具有彼此不同的极性。在图8a及图8b中，将布置有具有彼此相同的极性的两个磁体mg1和布置于两个磁体之间且具有与两个磁体不同的极性的一个磁体mg2的情形作为示例进行了示出，但是磁体的数量并不局限于此，可以提供有两个以上。此外，至少一个磁体可以具有与其余的磁体中的某一个磁体不同的极性。借助注入于腔室1000内的等离子体气体而生成的离子被施加于靶旋转体rt的电压而加速，并使沉积物质溅射。从沉积物质溅射的电荷粒子m1-p可以沿着因磁体mg而形成的磁力线mf而被捕获。据此，可以实现对柔性基板fb的特定的部位集中执行沉积工艺。图9a及图9b是根据本发明的一实施例的靶旋转体的剖面图。参照图9a，随着靶旋转体rt以旋转轴rx(参照图7)为中心沿着顺时针方向或逆时针方向旋转，第一靶部t1和第二靶部t2的位置可能会变更。此时，磁体mg的位置可以固定而不被改变。参照图9b，靶旋转体rt的位置被固定，而磁体mg可以移动而改变其位置。磁体mg可以以旋转轴rx作为中心沿着靶旋转体rt的内侧面is进行顺时针或逆时针方向旋转。此时，可以实现随着磁体mg移动而调节提供沉积物质的方向。然而，并不局限于此，磁体mg还可以在靶旋转体rt移动的期间改变其位置。图10a至图10d是根据本发明的电子装置的制造装置的示意性的一剖面图，是示意性地示出在柔性基板fb上形成导电图案cp的方法的图。在图10a至图10d中，以示例方式示出了从靶旋转体rt供应沉积物质的供应区域sr及从供应区域sr供应的沉积物质所沉积的柔性基板fb的沉积区域er。当提到从靶旋转体rt供应的沉积物质以辐射状提供至柔性基板fb时，供应区域sr可以被定义在靶旋转体rt中的与柔性基板fb相向的一部分。沉积区域er可以根据供应区域sr的面积而确定，而且沉积区域er可以是柔性基板fb的一部分或者是柔性基板fb的整个面。第一沉积物质m1及第二沉积物质m2可以在随着靶旋转体rt以旋转轴rx为中心进行旋转而被定义的多个模式中得到供应。图10a示出了第一靶部t1与柔性基板fb相向、且第一沉积物质m1被供应至柔性基板fb的第一模式，图10c示出了第二靶部t2与柔性基板fb相向、且第二沉积物质m2被供应至柔性基板fb的第二模式。图10b示出第一靶部t1的一部分和第二靶部t2的一部分同时与柔性基板fb相向、且第一沉积物质m1及第二沉积物质m2被供应至柔性基板fb的第三模式。以下，在图10a至图10c中，示例性地示出了随着时间的流逝而以第一模式、第三模式、第二模式的顺序改变模式的实施例进行说明。在第一模式、第二模式、第三模式下，靶旋转体rt的旋转速度可以彼此不同。但是并不局限于此，在第一模式、第二模式、第三模式下，靶旋转体rt的旋转速度可以彼此相同，或者可以只在第一模式、第二模式、第三模式中的某一个模式下不同。参照图10a，在第一模式下，第一靶部t1可以在柔性基板fb上提供第一沉积物质m1。其结果，如图10b所示，在柔性基板fb上形成包含第一沉积物质m1的第一导电图案层cpl1。在形成第一导电图案层cpl1之后，靶旋转体rt通过顺时针方向旋转或逆时针方向旋转而从第一模式改变为第三模式。此时，第一靶部t1的一部分和第二靶部t2的一部分成为供应区域sr。随着从第一靶部t1的一部分供应第一沉积物质m1，并从第二靶部t2的一部分供应第二沉积物质m2，在第一导电图案层cpl1上可以同时沉积有第一沉积物质m1和第二沉积物质m2。结果，如图10c所示，在第一导电图案层cpl1上形成第一沉积物质m1和第二沉积物质m2所混合而形成的混合层cplm。混合层cplm限定于靶旋转体rt旋转的期间内形成。参照图10c，靶旋转体rt可进行旋转而从第三模式变至第二模式。第二靶部t2可以将第二沉积物质m2提供到混合层cplm上。其结果，如图10d所示，在混合层cplm上形成包含第二沉积物质m2的第二导电图案层cpl2。在导电图案cp中，混合层cplm的厚度可以相对于导电图案cp的整体厚度以大约大于0且0.05以下的比率提供。在本实施例中，图示并说明了如下的情形：第二靶部t2的表面积被提供为大于第一靶部t1的表面积，因此第二导电图案层cpl2比第一导电图案层cpl1形成得厚。但是并不局限于此，第一导电图案层cpl1及第二导电图案层cpl2的厚度可以根据需求而通过改变第一靶部t1和第二靶部t2的表面积之比而进行调节。另外，靶旋转体rt可以在各个模式下以多样的方式被驱动。例如，靶旋转体rt可以在各个模式下连续地旋转，或者在暂时停止之后进行旋转。此外，靶旋转体rt的各个模式下的旋转速度可以恒定，或者可以根据时间而改变。此外，靶旋转体rt在各个模式下的旋转方向可以不同，可以为一个方向或者两个方向。此外，在第一模式、第二模式、第三模式下使靶旋转体rt的旋转速度变得不同，从而可以使第一导电图案层cpl1、混合层cplm、第二导电图案层cpl2的厚度形成为不同。根据本发明的一实施例的电子装置的制造装置可以在一个腔室1000内利用一个靶旋转体rt而形成具有包含互不相同的沉积物质的多个层的导电图案cp，因此能够减少腔室1000之间的移动时间，从而可以缩短工艺时间。此外，通过在一个腔室1000内形成具有多个层的导电图案cp，可以防止在多个层之间形成金属氧化物，据此，多个层之间的粘接力变得优良，并且多个层之间的面电阻特性可以得到提高。其结果，可以提供一种包含弯曲特性得到提高的导电图案cp的电子装置10、100。图11是根据本发明的另一实施例的靶旋转体的剖面图。参照图11，根据本发明的另一实施例的靶旋转体rt-1的主体部bp可以包括：第一靶部t1，对应于第一区域ar1且提供第一沉积物质m1；第二靶部t2，对应于第二区域ar2且提供第二沉积物质m2；第三靶部t3，对应于第三区域ar3且提供第三沉积物质m3。第三靶部t3可以位于第一靶部t1和第二靶部t2之间。第三沉积物质m3可与第一沉积物质m1及第二沉积物质m2不同，或者可以与第一沉积物质m1或第二沉积物质m2相同。在本实施例中，图示为第一靶部t1、第二靶部t2以及第三靶部t3的面积彼此相同，但是并不局限于此，第一靶部t1、第二靶部t2以及第三靶部t3的面积之比可以根据需求而变得不同。随着从靶旋转体rt-1提供第一沉积物质至第三沉积物质m1、m2、m3，可以在一个腔室1000内利用一个靶旋转体rt-1而容易地制造在柔性基板fb上由多个层构成的导电图案cp。图12是根据本发明的另一实施例的电子装置的制造装置的示意性的一剖面图。参照图12，根据本发明的另一实施例的电子装置的制造装置可以包含多个靶旋转体。在图12中，图示了第一靶旋转体rt1及第二靶旋转体rt2在柔性基板fb上彼此以预定间距相隔而布置的情形，但是并不局限于此，靶旋转体的数量根据柔性基板fb的大小而变得不同。从第一靶旋转体rt1供应沉积物质的第一供应区域sr1与沉积物质沉积于柔性基板fb的第一沉积区域er1对应，而且从第二靶旋转体rt2供应沉积物质的第二供应区域sr2与沉积物质沉积于柔性基板fb的第二沉积区域er2对应。第一沉积区域er1及第二沉积区域er2可以相当于柔性基板fb的整个沉积区域，而且其面积之比可以彼此不同。以上，以本发明的优选实施例为基准而进行了说明，然而本
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：中的熟练的技术人员或者具有本
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：的基本知识的人均可以理解，在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想及
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：的范围内，能够对本发明实现多样的修订及改变。因此，本发明的技术范围并不局限于详细的说明中记载的内容，而是应当通过权利要求书中的范围而被确定。当前第1页12当前第1页12