1.一种辉光放电离子源装置,其特征在于,包括:
电极部,包括阳极和阴极,所述阳极加载正电压,所述阴极加载负电压;所述阳极的顶部和所述阴极的底部之间形成真空状态的放电间隙,用于辉光放电;
所述阴极的底部设有阴极孔,顶部设有试剂入口,所述试剂入口与所述阴极孔相通,所述阴极孔与所述放电间隙相通;
所述阳极设有真空腔,为真空环境,用于存放被测物质;所述阳极的顶部设有真空差分孔,底部设有与所述真空腔相通的物料入口;所述真空差分孔的一端与所述放电间隙相通,另一端与所述真空腔相通;
绝缘部,一端连接所述阳极的顶部,另一端连接所述阴极的底部,将所述阳极和所述阴极隔开。
2.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述阳极和所述阴极之间存在大于100伏的直流电压。
3.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述阴极孔的长度和直径之比范围为10:1~5:1。
4.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述试剂入口通过密封管道连接针阀的一端,所述针阀另一端连接试剂气体存储容器;所述试剂气体存储容器为储水密封罐或气瓶;
所述针阀用于调节所述密封管道内的气体流量。
5.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述放电间隙的高度方向的精度由所述绝缘部的高度的精度保证。
6.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述绝缘部与所述电极部相接的两端分别设有密封槽,所述密封槽内置密封圈。
7.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述阳极和所述阴极之间为可拆卸连接。
8.根据权利要求7所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述阳极和所述阴极之间采用螺栓连接。
9.根据权利要求8所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述阳极和所述阴极之间通过绝缘套由螺栓连接;
所述绝缘套为圆柱形,一端沿径向延伸出压耳,另一端穿过所述阴极,所述压耳与所述阴极压紧;
所述绝缘套中心沿轴向设有螺孔,螺栓穿过所述螺孔与所述阳极连接。
10.根据权利要求1-9任一所述的辉光放电离子源装置,其特征在于,所述电极部为非金属材料,所述非金属材料的硬度上应大于聚四氟乙烯材料的硬度;
所述绝缘部为聚醚醚酮或酚醛树脂或石墨材质。