背照式图像传感器的制作方法

文档序号:15383971发布日期:2018-09-08 00:20阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提出一种背照式图像传感器,包括:半导体材料层;位于半导体材料层的光电二极管;转移晶体管、浮置扩散区、源跟随晶体管、复位晶体管;其中,所述光电二极管为P型掺杂区域;所述源跟随晶体管为鳍式场效应晶体管,所述源跟随晶体管的沟道区区域为横梁结构,所述横梁结构具有顶面和两个侧面,源跟随晶体管的栅极覆盖所述顶面和两个侧面的至少其中一面;所述源跟随晶体管为NMOS晶体管,由于通过N型掺杂区域隔离源跟随晶体管底部的P型掺杂区域与光电二极管的P型掺杂区域,降低了工艺难度,并且由于源跟随晶体管底部的P型掺杂区域与光电二极管的P型掺杂区域间距相对较大,可以有效避免两者连通,从而保证图像传感器性能。

技术研发人员:赵立新;李杰
受保护的技术使用者:格科微电子(上海)有限公司
技术研发日:2017.12.27
技术公布日:2018.09.07

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