一种芯片旋转搬运装置的制作方法

文档序号:16316765发布日期:2018-12-19 05:30阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种芯片旋转搬运装置,包括转盘、设置在转盘上的用于对芯片进行定位和将芯片从真空吸嘴上取下的定位脱离座以及用于驱动转盘转动来带动定位脱离座转动的旋转驱动机构;其中,所述定位脱离座为多个,多个定位脱离座沿着转盘的圆周方向分布,每个定位脱离座包括固定板、设置在固定板上的用于对芯片进行支撑的支撑件、用于对芯片的一组侧面进行定位的第一定位组件、用于对芯片的另一组侧面进行定位和限位的第二定位组件以及用于驱动第一定位组件和第二定位组件运动的定位驱动机构,该芯片旋转搬运装置在对芯片进行搬运的过程中不需要对芯片进行重复定位,因此具有搬运效率高的优点。

技术研发人员:王开来;赖汉进;袁孟辉
受保护的技术使用者:广州明森科技股份有限公司
技术研发日:2018.07.19
技术公布日:2018.12.18
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