半导体片芯单颗化方法和装置与流程

相关申请的交叉引用

本申请要求受益于2012年11月7日提交的美国临时申请no.61/723,548的优先权，其是当前共同待决的，并且完全并入此处。

本申请还要求受益于2013年1月9日提交的美国临时申请no.61/750,520的优先权，其是当前共同待决的，并且完全并入此处。

本申请另外要求受益于2013年3月7日提交的美国临时申请no.61/774,081的优先权，其是当前共同待决的，并且完全并入此处。

本发明总的来说涉及电子学领域，并且更具体地，涉及用于形成半导体的方法和装置。

背景技术

在过去，半导体行业采用多种方法和设备来从其上制造了片芯(die)的半导体晶片单颗化(singulate)单独的半导体片芯。通常，使用被称作“划片或切片”的技术来利用金刚石切割轮沿着形成在晶片上各片芯之间的划片网格或单颗化线，部分地或完全地切割穿过晶片。为了允许切片轮的对准和宽度，每一划片网格常常具有大的宽度，通常为大约一百五十(150)微米，这消耗了较大部分的半导体晶片。另外，在半导体晶片上划片每一单颗化线所需的时间可能花费一小时或更多。这样的时间降低了生产设施的吞吐量和制造能力。

已经开发了其它方法，包括热激光分离(tls)、激光烧蚀切片、等离子切片等，作为对划片的替代。与划片以及其它替代工艺相比，等离子切片是一种有前景的工艺，因为其支持更窄的划片线，增加了吞吐量，并且可以以变化且灵活的模式单颗化片芯。然而，等离子切片具有制造实现挑战。这些挑战包括与晶片背面层(诸如，背金属层)的不兼容，因为蚀刻工艺已经不能有效地从单颗化线移除或分离背面层。从划片线移除或分离背面层是促进后续工艺(诸如，拾取及放置以及组装工艺)所必要的。

因此，期望有从半导体晶片单颗化片芯的方法，其从单颗化线内移除或分离背面层。方法是成本有效的以及使对所分开的片芯的损坏或污染最小化将是有益的。

概述

根据本公开的一个实施例，提供了一种单颗化晶片的方法，包括：提供具有多个片芯的晶片，所述多个片芯形成在所述晶片上并且彼此以间隔分开，其中所述晶片具有相反的第一主表面和第二主表面，并且其中沿着所述第二主表面形成材料层；将所述晶片放置到第一载体基板上，其中所述材料层与所述第一载体基板相邻近；通过所述间隔对所述晶片进行单颗化，以形成单颗化线，其中单颗化包括停止在所述材料层附近；以及施加局部化的压力到所述第一主表面或所述第二主表面中的至少一个，以在所述单颗化线中分开所述材料层。

根据本公开的一个实施例，提供了一种用于从晶片分离片芯的装置，包括：用于将所述晶片保持在载体基板上的结构，其中所述半导体晶片具有多个单颗化线，所述单颗化线终止于所述晶片上的材料层附近；以及用于施加局部化的压力通过所述载体基板到所述晶片的结构。

附图简要描述

图1示出了根据本发明的晶片的一个实施例的减化的平面图；

图2-5示出了根据本发明一实施例的、图1的晶片的实施例在从晶片单颗化片芯的工艺中的不同阶段的部分截面图；

图6示出了图1的晶片在根据本发明另一实施例的装置内的工艺阶段的截面图；

图7示出了图5或图6的晶片的实施例在根据本发明一实施例工艺的稍后阶段的部分截面图；

图8示出了根据本发明第二实施例的晶片的截面图；

图9示出了根据本发明的该第二实施例在后续工艺之后的顶视图；

图10示出了根据本发明的该第二实施例在后续工艺之后的截面图；

图11示出了根据本发明的该第二实施例在另外工艺之后的截面图；

图12示出了根据本发明的该第二实施例在进一步工艺之后的截面图；

图13示出了根据本发明的该第二实施例在制造的稍后阶段的截面图；

图14示出了根据替代制造工艺的第二实施例的截面图；

图15示出了根据本发明另外的实施例的图10的晶片；

图16示出了根据本发明的该另外的实施例在进一步工艺之后的截面图；

图17示出了根据本发明的该另外的实施例在稍后制造阶段的截面图；以及

图18示出了根据本发明另外实施例的用于单颗化背层材料的工艺的流程图。

出于图示的简化和清楚的目的，附图中的元素并不必然按比例绘制，并且在不同附图中相同的附图标记表示相同的元素。另外，出于简化说明的目的，省略了已知的步骤和元件的说明和细节。为图的清楚起见，装置结构的某些区域(诸如，掺杂区或电介质区)可能被示出为具有大体直线边沿和角状的角部。然而，本领域技术人员将理解，由于掺杂剂的扩散和激活或者层的形成，这些区域的边沿通常可能不是直线的，并且角部可以不是精确成角度的。此外，术语“主表面”，在结合半导体区、晶片或基板使用时，意指半导体区、晶片或基板的形成与另一材料(诸如，电介质、绝缘体、导体或多晶半导体)连接的表面。主表面可以具有在x、y和z方向变化的形貌(topography)。

具体实施方式

图1是图示地示出了在较后的制造步骤中的晶片10的简化的平面图。在一个实施例中，晶片10可以是半导体衬底。晶片10包括多个半导体片芯，诸如片芯12、14、16和18，其形成在半导体晶片10上或作为半导体晶片10的一部分。片芯12、14、16和18在晶片10上以间隔彼此分隔开，单颗化线(诸如，划片线或单颗化线13、15、17和19)要形成或限定在所述间隔中。如本领域中公知的，晶片10上的全部半导体片芯通常在全部侧边上通过其中要形成划片线或单颗化线(诸如，单颗化线13、15、17和19)的区域彼此分开。片芯12、14、16和18可以是任何种类的包括半导体装置的电子装置，所述半导体装置诸如二极管、晶体管、分立装置、传感器装置、光学装置、集成电路，或本领域普通技术人员已知的其它装置。在一个实施例中，晶片10已经完成晶片加工，包括形成下文中所述的背面层。

图2示出了根据第一实施例的在片芯单颗化方法中的早期步骤中的晶片10的放大截面图。在一个实施例中，晶片10附接到载体基板、转移带、或载体带30，其便利于在多个片芯被单颗化之后支撑所述多个片芯。这些载体带是本领域技术人员公知的。在一个实施例中，载体带30可以附接到框架40，框架40可以包括框架部分或多个部分401和402。如所示出的，载体带30可以附接到框架部分401的表面4010以及到框架部分402的表面4020。

在所示的截面中，晶片10可以包括体基板11(诸如，硅衬底)，其可以包括相反的主表面21和22。在其它实施例中，体基板11可以包括其它半导体材料，诸如，异质结半导体材料。在一个实施例中，可以沿着部分主表面21，在部分主表面21中，在部分主表面21上，或者在部分主表面21上方，形成接触垫(contactpad)24以提供基板11内形成的结构和接下来的层级的组件或外部元件之间的电触点。例如，可以形成接触垫24以接收接合线或夹具，其可以随后附接到接触垫24，或者，接触垫24可以被形成来接收焊料球、凸块或其它类型的附接结构。接触垫24通常可以是金属或其它导电材料的。通常，可以在主表面21上或覆在主表面21上地形成电介质材料26，诸如，毯式沉积的电介质层，来作为用于晶片10的钝化层。在一个实施例中，电介质材料26可以是以比基板11慢的速率蚀刻的材料。在一个实施例中，当基板11是硅时，所述电介质材料26可以是氧化硅、氮化硅或聚酰亚胺。

在一个实施例中，可以在电介质材料26(以及可以形成在电介质材料26下的其它电介质层)中形成开口，以露出下面的接触垫24的表面以及要在其中形成单颗化线13、15、17和19的基板11的表面。在一个实施例中，可以使用图案化的光致抗蚀剂层以用于利用蚀刻工艺形成开口。如图2中所示以及根据本实施例，晶片10还包括在晶片10的主表面22上或主表面22上面形成的材料层28。在一个实施例中，层28可以是导电的背金属层。在一个实施例中，层28可以是多层金属系统，诸如，钛/镍/银、钛/镍/银/钨、铬/镍/金、铜、铜合金、金，或本领域技术人员已知的其它材料。在另一实施例中，层28可以是晶片背面涂层(wbc)膜，诸如，片芯附接涂层或膜。在一个实施例中，层28可以形成为具有或设有在至少某些相邻片芯之间的缝隙、间隔或通道。在另外的实施例中，所述缝隙基本上与晶片10的相反侧面上的将在其中形成单颗化线13、15、17、19的相应间隔对准。在另一实施例中，层28与至少某些片芯的边沿分开。

图3示出了在单颗化工艺期间晶片10在后续步骤的放大截面图。在图3中，示出了等离子或干法蚀刻单颗化工艺。应理解，也可以使用其它单颗化工艺。在一个实施例中，晶片10可以安装在载体带或膜30上，然后可以将其置于蚀刻装置300(诸如，等离子蚀刻装置)内。在一个实施例中，可以通过所述开口蚀刻基板11以形成或限定从主表面21延伸的单颗化线或开口13、15、17和19。可以利用以比电介质和/或金属高得多的速率选择性地蚀刻硅的化学物质(如箭头31所一般性地表示的)进行所述蚀刻工艺。在一个实施例中，可以利用通常称作bosch工艺的工艺来蚀刻晶片10。在一个实施例中，可以在深反应离子蚀刻系统中利用bosch工艺蚀刻晶片10。在一个实施例中，单颗化线13、15、17和19的宽度可以为从大约五微米至大约二十微米。由于所述蚀刻选择性，这样的宽度足以确保形成单颗化线13、15、17和19的开口可以形成完全穿过基板11，停止在层28上或层28附近，如图4所一般性地示出的。在一个实施例中，层28可以用作用于等离子蚀刻单颗化工艺的停止层。在一个实施例中，可以利用bosch工艺在大约五至大约三十分钟内形成单颗化线13、15、17和19。

图5示出了晶片10在后续步骤的放大截面图。在一个实施例中，框架40可以置于保持装置63或支撑结构63上。在一个实施例中，支撑结构63可以包括底座(一个或多个)或支架(一个或多个)631，其被配置来提供允许晶片10以及带30在后续的工艺期间扩展而不接触支撑结构63的缝隙632、凹陷632或井632或其它结构。在一个实施例中，框架40可以利用真空或夹持结构可逆转地附接到支撑结构63。

在一个实施例中，通过机械装置61将层28分开，所述机械装置61诸如触针610或转轮620，如图5中所示。在一个实施例中，表面21自由浮置(即，井632是空气隙)，如图5中所示。在另一实施例中，表面21可以与柔性支撑结构(诸如，聚酰亚胺或各种柔性聚合物)接触。在一个实施例中，机械装置61被配置来提供小区域或局部化的压力点623到晶片10上。在一个实施例中，机械装置61可以被配置为具有大致是片芯12、14、16和19的宽度的一半的半径。在另一实施例中，机械装置61可以被配置为具有大致等于片芯12、14，16和19的宽度的半径。在一个实施例中，机械装置61的半径可以被选择为大致片芯12、14、16和19的双倍尺寸或更大。机械装置61可以配置有压力、速度和对准控制。此外，机械装置61可以配置有快速连接断开装置611以允许简化从主装置移除机械装置61，这改善了工艺灵活性。机械装置61可以由金属、橡胶、有机固体材料(例如，塑料)、陶瓷、复合材料、其组合、或本领域普通技术人员已知的其它材料制成。在所示的实施例中，转轮620可以沿着带30经过，施加足够的压力以分开层28，同时使对于片芯12、14、16和19的任何不利的影响最小化。在一个实施例中，可以使用一个以上的机械装置61来分开层28。

图6示出了晶片10在作为图5的替代实施例的后续的工艺步骤的截面图。在一个实施例中，可以在板结构710上形成多个机械装置71。机械装置71可以类似于机械装置61。在一个实施例中，机械装置71可以为触针，其被配置来提供局部化的压力点到晶片10上。在一个实施例中，板结构710可以靠向带30放置，施加足够的压力以分开层28。在一个实施例中，板结构710可以如箭头712所示地旋转。在另一实施例中，框架40可以在板结构710之上如箭头714所示地旋转，或在板结构710之上如箭头716和718所示地水平地前后移动，以分开层28。如图7大体示出的，在后续的步骤中，作为另外的组装工艺的一部分，可以利用例如拾取及放置装置81，从载体带30移除片芯12、14、16和18。在一个实施例中，可以在拾取及放置步骤之前将载体带30暴露于uv光源，以降低带的粘附性。

图8示出了根据第二实施例的晶片100的部分截面图。在一个实施例中，基板100可以是与半导体晶片10类似的半导体晶片，并且可以具有多个片芯或半导体片芯12、14、16和18。片芯12、14、16和18在基板100上彼此通过间隔分隔开，单颗化线(诸如，划片线或单颗化线13、15、17和19)要形成或限定在所述间隔中。片芯12、14、16和18可以是任何种类的电子装置，包括，半导体装置，诸如，二极管、晶体管、分立装置、传感器装置、光学装置、集成电路或本领域普通技术人员已知的其它装置。

在一个实施例中，晶片100已经完成了包括形成背面层281的晶片加工。在一个实施例中，背面层281是连续的膜。根据本实施例的方法被配置用于处理在晶片100的背面上具有较厚的层的晶片。发现在某些具有较厚背面材料的晶片中，在分离工艺期间形成的裂缝会不希望地传播或蔓延到片芯的有源区中，这可能导致装置失效。在一个实施例中，层281可以是利用例如模印(stencil)、丝网印刷和/或旋涂技术形成的晶片背面涂层或wbc。作为示例，wbc可以是片芯附接粘合剂材料，其具有从大约5微米到大约50微米的厚度。在一个实施例中，wbc可以是具有大约20微米的厚度的片芯附接粘合剂材料。层281可以被配置来便利于片芯12、14、16和18到接下来的层级的组件(诸如，引线框或印刷电路板)的附接。在另一实施例中，层281可以是背金属层，其可以具有大于大约2微米或3微米的厚度。在一个实施例中，层281可以是钛/镍/金/锡(ti/ni/au/sn)背金属结构，其可以具有大于大约3微米的厚度。如本领域技术人员将理解的，是否使用本实施例可以不仅取决于存在的材料的厚度，而且还取决于存在的材料种类。在一个实施例中，层281可以形成为具有或设有在至少某些相邻片芯之间的缝隙、间隔或通道。在另外的实施例中，所述缝隙等基本上与晶片10的相反面上的将在其中形成单颗化线13、15、17、19的相应间隔对准。在另一实施例中，层281与至少某些片芯的边沿分开。

图9示出了晶片100在后续的工艺之后的顶视图，其中形成了单颗化线或开口13、15、17和19。在一个实施例中，晶片100可以安装在载体带30上，层281靠着载体带30。在一个实施例中，载体带30被安装到框架40。然后，晶片100可以放置到蚀刻装置中，如图3中所示，以形成或限定单颗化线13、15、17和19。图10示出了晶片100在限定单颗化线13、15、17和19之后的截面图。在一个实施例中，单颗化线13、15、17和19结束或终止于与层281相邻或临近处，或停止在层281上。

图11示出了晶片100在另外的工艺之后的截面图。在一个实施例中，载体膜或基板310放置在正面表面或与层281相反的表面上面。在一个实施例中，载体膜310可以是具有与载体带30类似特性的载体带、与载体带30相比具有较轻粘合剂的载体带、保护膜、或本领域普通技术人员已知的其它材料。在一个实施例中，载体膜310交迭到载体40上，如图11中所示。可以移除载体带30以露出层281。在可选的步骤中，可以使用机械工具365(诸如，划片装置)来形成划片线267，其大体与单颗化线13、15、17和19对准。

图12示出了晶片100在后续步骤的截面图。在一个实施例中，框架40可以放置到保持装置63或支撑结构63上。在一个实施例中，支撑结构63可以包括一个或多个底座或一个或多个支架631，其被配置来提供允许晶片100以及膜310在后续的工艺期间扩展而不接触支撑结构63的缝隙632、凹陷632或井632或其他结构。在一个实施例中，框架40可以利用真空或夹持结构可逆转地附接到支撑结构63。

在一个实施例中，如图12中所示，通过机械装置61将层281分开，所述机械装置61诸如触针610或转轮620。在一个实施例中，层281自由浮置，如图12中所示。在另一实施例中，层281可以与柔性支撑结构(诸如，聚酰亚胺或各种柔性聚合物)接触。在一个实施例中，机械装置61被配置来提供减小区域的或局部化的压力点623到晶片10上。在一个实施例中，机械装置61可以被配置为具有大致是片芯12、14、16和19的宽度的一半的半径。在另一实施例中，机械装置61可以被配置为具有大致等于片芯12、14、16和19的宽度的半径。在一个实施例中，机械装置61的半径可以被选择为大致片芯12、14、16和19的双倍尺寸或更大。机械装置61可以配置有压力、速度和对准控制。此外，机械装置61可以配置有快速连接断开装置611以允许简化从主装置移除机械装置61，这改善了工艺灵活性。机械装置61可以由金属、橡胶、有机固体材料(例如，塑料)、陶瓷、复合材料、其组合、或本领域普通技术人员已知的其它材料制成。在所示的实施例中，转轮620可以沿着带301经过，施加足够的压力以分开层281，同时使对于片芯12、14、16和19的任何不利的影响最小化。在一个实施例中，可以使用一个以上的机械装置61来分开层281。

图13示出了晶片100在后续制造步骤的截面图。在一个实施例中，载体带320放置在背表面或与层281相邻的表面上，以及可以从相反的面移除载体膜310。在一个实施例中，载体带320交迭到框架40上。在一个实施例中，框架40以及载体带320和晶片100可以放置在帮助伸展或扩展载体带320的机械装置内，以更好地便利于例如拾取和放置步骤。在一个实施例中，框架40可以放置在夹持部816和818之间，如图13中所一般性地示出的。在一个实施例中，台阶或支架部821可以放置或附接到夹持部818上，以提供用于扩展或延展载体带320的结构。该扩展效应可以增加晶片100上相邻片芯之间的距离以更便利于各片芯从载体带320的移除。在一个实施例中，可以将载体带320暴露于uv光以降低带的粘性，以使片芯的移除更容易。

图14示出了晶片100在作为图12的替代实施例的后续的工艺步骤的截面及透视图。在一个实施例中，可以在板结构710上形成多个机械装置71。机械装置71可以类似于机械装置61。在一个实施例中，机械装置71可以为触针，其被配置来提供局部化的压力点到晶片100上。在一个实施例中，板结构710可以放置靠向膜310，施加足够的压力以分开层281。在一个实施例中，板结构710可以如箭头712所示地旋转。在另一实施例中，框架40可以在板结构710之上如箭头714所示地旋转，或在板结构710之上如箭头716和718所示地水平地前后移动，以分开层281。在后续的步骤中，可以利用例如图13中所说明和一般性地示出的方法，作为另外的组装工艺的一部分，从载体带移除片芯12、14、16和18。在一个实施例中，可以在拾取及放置步骤之前将载体带暴露于uv光源，以降低带的粘性。应理解，在拾取和放置之前，可以将另外的载体带放置为与层281相邻，并且可以移除载体膜310。

图15示出了作为替代实施例的晶片100在结合图10说明的工艺处理之后的截面图。在一个实施例中，载体膜310放置为上覆正面表面或与层281相反的表面。在一个实施例中，载体膜310交迭到载体40上，如图15中所示。在本实施例中，载体带30在适当的位置被保留，以用于另外的工艺处理。应当注意，图15表示理想化的图像，并且载体膜310和载体带30可以彼此接触；可选地，可以在载体膜310和载体带30之间增加另外的释放层(未示出)。

图16示出了晶片100在后续步骤的截面图。在一个实施例中，框架40可以置于保持装置731或支撑结构731上。在一个实施例中，支撑结构731可以被配置为包括允许晶片100以及带30在后续的工艺处理期间扩展而不接触支撑结构731的缝隙732、凹陷732或井732或其他结构。可以加热或冷却支撑结构631以加热或冷却层30。对于层30，支撑结构631可以具有可调节的真空或气压。在一个实施例中，可以利用真空或夹持结构将框架40可逆转地附接到支撑结构731。在可选的实施例中，可以在井732内放置压缩层733以在层281的单颗化期间提供另外的弹性的、阻性的或反作用的力。在一个实施例中，压缩层733可以是橡胶垫或加压的隔膜结构。

在一个实施例中，通过机械装置81(诸如，触针810)，如图16中所示，分开层281，该机械装置通过膜310施加到晶片100的正面。根据本实施例，晶片100放置在带30和膜310之间地进行层281的单颗化。机械装置81被配置来沿着晶片100的正面提供，其足以使单颗化线13、15、17和19内裂缝或分离线传播。在一个实施例中，机械装置81被配置来提供小区域的或局部化的压力点823到晶片100上。在一个实施例中，触针810可以被配置为具有大致是片芯12、14、16和18的宽度的一半的半径。在另一实施例中，触针810可以被配置为具有大致等于片芯12、14、16和18的宽度的半径。在一个实施例中，触针810的半径可以选择为大致为片芯12、14、16和18的双倍尺寸或更大。机械装置81可以被配置有压力、速度和对准控制。此外，机械装置81可以配置有快速断开装置811以允许简化从主装置移除机械装置81，这改善了工艺灵活性。机械装置81可以由金属、橡胶、有机固体材料(例如，塑料)、陶瓷、复合材料、其组合、或本领域普通技术人员已知的其它材料制成。在一个实施例中，可以使用一个以上机械装置81来分开层281。

图17示出了晶片100在后续制造步骤的截面图。在一个实施例中，可以从晶片100的正面移除载体膜310，留下在适当的位置的载体带30。在一个实施例中，框架40以及载体带30和晶片100可以放置到帮助伸展或扩展载体带30的机械装置中以更便利于例如拾取和放置步骤。在一个实施例中，框架40可以放置在夹持部816和818之间，如图17所大体示出的。在一个实施例中，台阶或支架部821可以放置或附接到夹持部818上，以提供用于扩展或延展载体带320的结构。该扩展效应可以增加晶片100上相邻片芯之间的距离以更便利于各片芯从载体带30的移除。在一个实施例中，可以将载体带30暴露于uv光以降低带的粘性以使片芯的移除更容易。

图18示出了根据另一实施例的用于将厚背面材料单颗化的流程图。将利用在图10在已经单颗化之后开始的晶片100实施例说明图18。应理解，这样的单颗化可以是其中单颗化终止于临近背面层281处的任何方法。在步骤1300中，将载体膜310施加或附接到晶片100的正面，载体带30与层281相邻。在本实施例中，载体膜310可以选择为，与载体带30和晶片100之间的粘接强度相比，载体膜310和晶片100之间具有较高粘接强度。在一个实施例中，可以选择粘接强度的差以在层281被单颗化或分开之后随后移除载体带30时更好地将片芯保持在适当的位置。载体带30被选择为具有足以从单颗化线移除材料而不将片芯从载体膜310拉离或损坏各片芯上的其余层281材料的粘附强度。

在可选的步骤1301中，施加局部化的压力到晶片100的至少一面以在单颗化线内的层281中引起裂缝、裂缝线、分离线。在一个实施例中，可以使用触针611。在另一实施例中，可以使用加压的液体或气体。在一个实施例中，局部化的压力可以施加到晶片100的正面。在另一实施例中，局部化的压力可以施加到晶片100的背面。在另外的实施例中，局部化的压力可以施加到晶片100的两面。

在步骤1302中，可选地，可以将载体带30暴露到uv光源，然后移除晶片100。在一个实施例中，步骤1302期间载体带30的移除从单颗化线13、15、17和19移除材料，通过载体膜310和载体带30之间的粘附强度之差促进该移除。在一个实施例中，可以促进所述材料的移除而无需延展载体带或使用触针来分开背金属或背层，但是如果在移除载体带30之前通过触针分离的话，金属的移除将要求较低的粘接力。

在步骤1303中，可以施加新的载体带到晶片100的背面，然后在步骤1304中可以从晶片100的正面移除载体膜310。然后可以使晶片100经受另外的处理。

发现与仅在晶片的一面上使用载体带相比，本实施例产生改善的结果。根据本实施例，在背面材料的单颗化期间，在晶片的两面上放置载体带层。本实施例改善了单颗化的背面材料的质量，降低了由于单颗化线传播到片芯有源区中而导致的产率损失。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据一个实施例，一种单颗化晶片(例如，元件10、100)的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的晶片，所述多个片芯形成在所述晶片上并且彼此通过间隔分开，其中所述晶片具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中沿着第二主表面形成材料层(例如，元件28、281)。该方法包括将所述晶片放置到第一载体基板(例如，元件30)上，其中所述材料层与第一载体基板相邻。该方法包括通过所述间隔对晶片进行单颗化以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)，其中单颗化包括停止在材料层附近。该方法包括施加局部化的压力(例如，元件61、71、710、81)到第一主表面或第二主表面中的至少一个以在单颗化线中分开所述材料层。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另一实施例，一种从晶片(例如，元件10、100)单颗化片芯的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的晶片，所述多个片芯形成在所述晶片上并且彼此通过间隔分开，其中所述晶片具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中沿着第二主表面形成材料层(例如，元件28、281)。该方法包括将所述晶片放置到第一载体基板(例如，元件30)上，其中该材料层与第一载体基板相邻；通过所述间隔对晶片进行单颗化以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)，其中所述单颗化线在完全地穿通所述材料层之前终止。该方法包括将晶片放置到第二载体基板(例如，元件310)上，其中所述材料层与第二载体基板相反。所述方法包括沿着第二载体基板移动机械装置以在单颗化线中分开所述材料层。

在前述方法的一个实施例中，将晶片放置到第一载体基板上可以包括将晶片放置到第一载体带上，并且将晶片放置到第二载体基板上可以包括将晶片放置到第二载体带上。在另一实施例中，移动机械装置可以包括移动至少一个触针。在另外的实施例中，提供所述晶片可以包括提供具有上覆第二主表面的晶片背面涂层的半导体晶片。在另外的实施例中，单颗化所述晶片可以包括等离子蚀刻所述晶片。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外的实施例，一种单颗化基板(例如，元件10、100)的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的基板，所述多个片芯形成在所述基板上并且通过间隔彼此分开，其中所述基板具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中上覆第二主表面地形成材料层(例如，元件28、281)。该方法包括放置载体带(例如，元件30)到所述材料层上。该方法包括通过所述间隔对基板进行等离子蚀刻以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)，其中所述单颗化线停止在所述材料层附近。该方法包括与所述材料层相反地放置载体膜(例如，元件310)到所述基板上。所述方法包括利用机械装置对所述第一主表面施加局部化的压力以分开所述材料层。

在前述方法的一个实施例中，施加局部化的压力可以包括利用至少一个触针施加局部化的压力。在另一实施例中，提供所述基板包括提供具有形成为上覆所述第二主表面的晶片背面涂层的半导体晶片。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外实施例，一种形成电子装置的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的晶片(例如，元件10、100)，所述多个片芯形成在所述晶片上并且彼此通过间隔分开，其中所述晶片具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中沿着所述第二主表面形成材料层(例如，元件28、281)，并且其中所述材料层放置在第一载体基板上。所述方法包括通过所述间隔对所述晶片单颗化以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)。该方法包括将晶片放置到第二载体基板(例如，元件310)上，其中所述材料层与第二载体基板相反。所述方法包括沿着第一或第二载体基板中的一个移动机械装置以在单颗化线中分开所述材料层。

在前述方法的一个实施例中，将晶片放置到第一载体基板上可以包括将晶片放置到第一载体带上，并且将晶片放置到第二载体基板上可以包括将晶片放置到第二载体带上。在另一实施例中，移动所述机械装置可以包括以第一载体基板和第二载体基板两者附接到所述晶片的方式移动所述机械装置。在一另外的实施例中，移动机械装置可以包括移动至少一个载体基板。在另外的实施例中，移动所述机械装置可以包括沿着所述第二载体基板移动至少一个触针。在另外的实施例中，移动所述机械装置可以包括在所述第一载体带被放置得靠着压缩层的同时移动所述机械装置。在另一实施例中，放置所述晶片到第二载体基板上可以包括将所述晶片放置到第二载体基板上，其中所述第二载体基板具有比第一载体基板高的粘接强度。在另外的实施例中，一个或多个前述方法可以还包括在移动所述机械装置之后移除所述第一载体基板，其中移除所述第一载体基板移除所述材料层在所述单颗化线中的部分。在一个实施例中，移除所述第一载体基板可以包括移除所述第一载体基板而在第一载体带被移除之前不延展所述第一载体带或第二载体带。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外的实施例，一种用于从晶片(例如，元件10、100)分离片芯(例如，元件12、14、16、18)的装置包括：用于将所述晶片保持在载体基板上的结构，其中所述半导体晶片具有多个单颗化线，所述单颗化线临近于晶片上的材料层终止；以及用于施加局部化的压力(例如，元件61、71、81)通过所述载体基板到所述晶片的结构。

在前述的装置的一个实施例中，所述半导体晶片具有蚀刻通过所述半导体晶片的多个单颗化线。在另一实施例中，所述单颗化线等离子蚀刻通过所述半导体晶片。在另外的实施例中，所述用于施加局部化的压力的结构可以被配置来相对于所述晶片移动。在另外的实施例中，所述用于施加局部化的压力的结构可以被配置来旋转。在另外的实施例中，所述用于施加局部化的压力的结构包括一个以上的触针。在一个实施例中，所述用于保持的结构可以包括压缩层(例如，元件733)。在另一实施例中，所述压缩层包括加压的隔膜结构。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外的实施例，一种单颗化基板的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的基板(例如，元件10、100)，所述多个片芯形成在所述基板上并且彼此通过间隔分开，其中所述基板具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中形成上覆第二主表面的材料层(例如，元件28、281)。该方法包括放置载体带(例如，元件30)到所述材料层上。该方法包括通过所述间隔对基板进行等离子蚀刻以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)，其中所述单颗化线终止在所述材料层附近。所述方法包括利用机械装置(例如，元件61、71、81)施加局部化的压力到所述第二主表面以分开所述材料层。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外的实施例，一种单颗化基板的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的基板(例如，元件10、100)，所述多个片芯形成在所述基板上并且彼此通过间隔分开，其中所述基板具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中形成上覆第二主表面的材料层(例如，元件28、281)。该方法包括放置第一载体带(例如，元件30)到所述材料层上。该方法包括通过所述间隔对基板进行等离子蚀刻以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)，其中所述单颗化线终止在所述材料层附近。所述方法包括：与所述材料层相反地放置第二载体带(例如，元件310)到所述基板上；以及移除所述第一载体带以在单颗化线中分开所述材料层。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外的实施例，一种单颗化基板的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的基板(例如，元件10、100)，所述多个片芯形成在所述基板上并且彼此通过间隔分开，其中所述基板具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中形成上覆第二主表面的材料层(例如，元件28、281)。该方法包括放置第一载体带(例如，元件30)到所述材料层上。该方法包括通过所述间隔对基板进行等离子蚀刻以形成单颗化线(例如，元件13、15、17、19)，其中所述单颗化线终止在所述材料层附近。该方法包括将第二载体带(例如，元件310)与所述材料层相反地放置到所述基板上。所述方法包括：在基板附接到所述第一和第二载体带两者的同时，利用机械装置(例如，61、71、81)施加局部化的压力到基板的一个主表面以在单颗化线中分开所述材料层。

从全部前述内容，本领域技术人员可以确定，根据另外的实施例，一种单颗化基板的方法包括：提供具有多个片芯(例如，元件12、14、16、18)的基板(例如，元件10、100)，所述多个片芯形成在所述基板上并且彼此通过间隔分开，其中所述基板具有相反的第一和第二主表面(例如，元件21、22)，并且其中形成上覆第二主表面的材料层(例如，元件28、281)。该方法包括放置第一载体带(例如，元件30)到所述材料层上。该方法包括通过所述间隔对基板进行等离子蚀刻以形成单颗化线，其中所述单颗化线终止在所述材料层附近。该方法包括将第二载体带(例如，元件310)与所述材料层相反地放置到所述基板上。所述方法包括移除所述第一载体带以在单颗化线中分开所述材料层。

考虑到全部上述内容，显然公开了新颖的方法和装置。包括放置在其主表面上具有材料层的基板到载体带上；以及形成通过所述基板的单颗化线以露出所述材料层在所述单颗化线内的部分。将第二载体带施加到所述基板的正面，在基板在两面上都有载体带层同时使用向基板的正面提供局部化的压力的机械装置来从基板的背面分开所述材料层。所述方法提供了有效、可靠的并且成本有效的用于将包括背层(诸如，较厚的背金属层或wbc层)的基板单颗化的工艺等。

尽管利用具体的优选实施例以及示例实施例说明了本发明的主题，但是前述的附图及其说明仅描述了该主题的典型实施例，并因此不应被认为是对其范围的限制。显然，对于本领域技术人员许多替代方案以及变型将是明显的。例如，可以使用其它形式的可移除的支撑材料代替载体带。

如下面的权利要求所反映的，发明性的方面可以在于少于前面公开的单个实施例的全部特征。因此，在此将下面说明的权利要求并入到该“具体实施方式”部分中，每一权利要求其自身作为本发明的分立的实施例。此外，如本领域技术人员将理解的，尽管此处说明的某些实施例包含了某些不被包括在其它实施例中的其它特征，但是不同实施例的特征的组合也是在本发明的范围内的，并且意图来形成不同实施例。