技术特征:
技术总结
提供了包括二维材料的装置,所述装置包括:基底;第一电极,位于基底上;绝缘图案,位于基底上;第二电极,位于绝缘图案的上端上;二维(2D)材料层,位于绝缘图案的侧表面上;栅极绝缘层,覆盖2D材料层;以及栅电极,接触栅极绝缘层。绝缘图案在与基底基本垂直的方向上从第一电极延伸。2D材料层包括与绝缘图案的侧表面基本平行的至少一个原子层的2D材料。
技术研发人员:朴台镇;金真范;金奉秀;李圭弼;洪亨善;黄有商
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.09.04
技术公布日:2019.03.05