显示面板的制造方法及其光罩与流程

文档序号:17737359发布日期:2019-05-22 03:20阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请提供一种显示面板的制造方法及其光罩,制造方法包括:提供第一基板;在所述第一基板上设置栅极层;在所述第一基板和所述栅极层上设置栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层上设置源极层和漏极层;通过一光罩,在所述源极层和漏极层之间形成沟道区;其中,所述光罩具有沟道区图案,其对应于所述源极层和所述漏极层至少之一的位置具有补光图案,通过所述补光图案,所述光罩的光线可达到所述沟道区。

技术研发人员:张合静;卓恩宗
受保护的技术使用者:惠科股份有限公司
技术研发日:2018.12.29
技术公布日:2019.05.21
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